Hexapoden mit PiezoWalk® Schreitantrieb

Hochpräzise unter schwierigen Umgebungsbedingungen

Gerade in der Halbleiterinspektion oder der Mikromontage sind hochpräzise Mehrachsenpositionierer mit hoher Steifigkeit gefordert. Durch die flexible Auswahl an parallelkinematischer Designs können nahezu alle Anforderungen an Präzision und Baugröße mit den Hexapoden von PI umgesetzt werden.