Präzise bewegen und positionieren durch hochauflösende Messtechnik

Externes Interferometer vs. Interner Sensor

Jonas Schansker, Entwicklungingenieur Sensorik bei PI, beschreibt in einem Whitepaper die Regelung von PI Positionierern mittels externem Zygo-Interferometer. Er erläutert dabei den Versuchsaufbau, zeigt die Messergebnisse bei Einsatz des Interferometers im Vergleich mit denen des internen Sensors und geht auf die Anwendbarkeit des Messverfahrens mittels Intreferometer und Ausnahmen ein. 

Lesen Sie mehr dazu im neuen Whitepaper „Regelung von PI Positionierern mittels externem Zygo-Interferometer“!

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Whitepaper: Regelung von PI Positionierern mittels externem Zygo-Interferometer

Version / Datum
WP4017E 2018-11
Version / Datum
WP4017D 2018-11
Dokumentsprache
pdf - 637 KB
pdf - 1 MB





Über den Autor

Kathrin Mössinger

Global Campaign Manager, Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

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