In-situ Untersuchung des Wachstums dünner Schichten im Hochvakuum

An Synchrotron-Strahlungsquellen lassen sich Röntgenbeugung und Reflexionen der Strahlung nutzen, um im Rahmen moderner Materialforschung die strukturellen Eigenschaften dünner Filme während der Schichtbildung zu untersuchen. Für eine hochpräzise Positionierung der Proben bieten parallelkinematische Hexapoden beste Voraussetzungen.

In einem kompakten PLD-System (Pulsed Laser Deposition System) übernimmt ein für den Einsatz im Hochvakuum ausgelegte Hexapod die Positionierung der Probe in Relation zu den einfallenden Röntgenstrahlen. Die Probe kann so um ±5° mit einer Auflösung von 0,001° um die X- und Y-Achse geschwenkt werden.

Zum Ausgleich unterschiedlicher Substratdicken lässt sie sich zudem in Richtung der Z-Achse, also senkrecht zur Probenoberfläche, um bis zu 3 mm verschieben. Bewegungen von ±6 mm in X- und Y-Richtung ermöglichen Scans an verschiedenen Stellen der Probenoberfläche. Der kompakte Hexapod ist bei einem Durchmesser von nur 130 mm lediglich 115 mm hoch.

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Success Story: Hexapoden bewähren sich in Teilchenbeschleunigern

Dünnste Schichten in der Valuumkammer aufbringen
SUCCESS STORY pi1118
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