Industrielle optische Inspektion

Flexible Konfiguration – Schnelles Einschwingen – Nanometerauflösung

Die optische Inspektion ist ein wesentliches Verfahren in der industriellen Qualitätssicherung. Optische Inspektionssysteme, die im industriellen Umfeld eingesetzt werden, sollen zuverlässig und wiederholbar für sichere Messergebnisse sorgen und hohe Durchsatzraten ermöglichen. Dies gilt auch für die Bewegung des Werkstücks, der Probe bzw. des Prüflings und für die Positionierung der abbildenden Optik. Dabei müssen die eingesetzten Positioniersysteme flexibel sein, um die Probe über unterschiedliche Stellwege in der Ebene zu verschieben und die optischen Komponenten in der Vertikalen zu bewegen.

Hauptmerkmale der Positionierlösung

Flexible Konfiguration
Hohe Wiederholgenauigkeit und Nanometerpräzision
Hochauflösende Positionssensoren
Vermessen über Auto-Fokus Algorithmen
Fokussieren auf unterschiedliche Brennebenen
Flexible Anpassung an die geforderten Leistungsmerkmale durch PIMag® Motoren
Einfache Integration in die Automatisierungsumgebung durch industrielle EtherCAT® Schnittstelle

Positionierung der abbildenden Optik

  • Hohe Scangeschwindigkeit und schnelles Einschwingen durch magnetischen Tauchspulantrieb
  • Einstellbare Gewichtskraftkompensation für flexible Objektivmassen
  • Hochauflösende, direkt messende Positionssensoren
  • Flexible Auslegung von Antriebskraft und Abmessungen durch PIMag® Voice-Coil-Motoren

Probenpositionierung

  • Hohe Scangeschwindigkeiten durch magnetische Linearmotoren
  • Serielle Achskombinationen für flexibel konfigurierbare Stellwege auf der Probenebene oder integrierte Kreuztische für platzsparendes Design
  • Flexible Auslegung von Antriebskraft und Abmessungen durch PIMag® Linearmotoren
  • Hochauflösende, direkt messende Positionssensoren
    >> V-508 PIMag® Präzisions-Lineartisch

Ansteuerung

  • Optionale industrielle Schnittstelle EtherCAT®
  • Digitale Steuerung mit optimierten Regelalgorithmen für konstante Scangeschwindigkeit, hohe Wiederholgenauigkeit und schnelles Einschwingen
  • Schnelle Sensorsignalverarbeitung für gleichzeitig hohe Geschwindigkeiten bei hoher Auflösung
  • Optionale analoge Eingänge für externe Steuersignale

System in Bewegung

Weitere Branchen und Anwendungen, die von dieser Bewegungslösung profitieren


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