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Übersicht

Piezoscantische für 2 bis 6 Achsen

Piezosysteme der Referenzklasse

  • PICMA® Piezoaktoren für höchste Zuverlässigkeit
  • Reibungs- und spielfreie Festkörperführungen (Flexures)
  • Kurze Ansprech- und Einschwingzeiten im Millisekundenbereich
  • Optionale kapazitive Positionssensoren mit höchster Linearität
  • Optionale Parallelkinematik für hohe Dynamik in allen Bewegungsachsen
  • Optionale Parallelmetrologie für aktive Fehlerkompensation
Piezoscanner P-733.2
XY preisgünstig

Preisgünstige 2-Achsen-Piezoscanner (XY)

Die schnellen XY-Piezoscanner für geringe Lasten werden häufig für Microstepping-Verfahren eingesetzt. Durch schnelle, gezielte Bewegungen verbessern sie die Auflösung optischer Systeme. Dazu gehören abbildende Verfahren in der Kameratechnik oder die Bilderkennung z. B. für Biometrie oder Dokumentarchivierung.

  • DMS-Positionssensoren optimiert für hohe Linearität
  • Serielle und parallelkinematische Designs
  • Hochdynamisch durch Direktantrieb, preisgünstige Herstellungsverfahren
Klasse*Stellweg [µm]Auflösung [nm]Nichtlinearität [%]Resonanzfrequenz [Hz]
XY-Piezoscanner
Preisgünstiges OEM-System mit flacher Bauform
A20150,32250
Schneller XY-Piezoscanner
Preisgünstiges OEM-Produkt für Imaging
A4 × 40,4 (ungeregelt)

Hochdynamischer XY-Piezoscanner
OEM-Produkt für Imaging-Aufgaben zur Erhöhung der optischen Auflösung
A15 × 150,1 (ungeregelt)

1850
X/Y/Z NanoCube®

NanoCube®: Preisgünstig positionieren in bis zu 3 Achsen (X/Y/Z)

Der NanoCube® ist ein preisgünstiger Allrounder in der Nanopositioniertechnik. Die Anwendungen liegen in der Probenjustage, Handling in der Mikrosystemtechnik, Probenmanipulation, Faserpositionierung und Photonik.

  • Modularer Aufbau mehrachsiger Systeme
  • DMS-Positionssensoren optimiert für hohe Linearität
Klasse*AchsenStellweg [µm]Auflösung [nm]Nichtlinearität [%]
XZ- und XY-Nanopositionierer
Kompaktes zweiachsiges Piezosystem für die Nanopositionierung
AAX, Y (X, Z)100 × 10020,1
NanoCube® XYZ-System
Kompaktes mehrachsiges Piezosystem für die Nanopositionierung und Faserjustage
AAX, Y, Z100 × 100 × 10010,1
Lineares Piezopositioniersystem
Kompaktes und preisgünstiges Linearsystem
AAX10020,1
Piezohubtisch
Kompakter Nanopositionierer
AAZ10020,1
XY Piezo-Nanopositioniersystem
Kompakt, mit Apertur
AAX, Y100 × 10050,4
X/Y/Z PIHera

PIHera: Modulare Positionierer mit Stellwegen bis 1,5 mm (X/Y/Z)

Die Piezoscanner der PIHera Familie zeigen exemplarisch eine Erfolgsgeschichte der Nanopositioniersysteme von PI. Ihr kompakter Aufbau macht sie universell einsetzbar. Ihr Design erlaubt den seriellen Aufbau von mehrachsigen Systemen zu einem sehr günstigen Preis. Anwendungen liegen z. B. in der optischen Messtechnik, der Biotechnologie oder der Rasterkraftmikroskopie.

  • Hochpräzise Piezopositioniersysteme mit Stellwegen bis zu 1500 μm
  • Kapazitive Positionssensoren für höchste Positioniergenauigkeit und Stabilität

Klasse*AchsenStellweg [µm]Auflösung [nm]Nichtlinearität [%]
PIHera Piezokreuztisch
Hochpräziser XY-Nanopositionierer mit variablen Stellwegen
AAA

X, Y

50 × 50 bis 1500 × 15000,2 b is 3,50,02 bis 0,03
PIHera Vertikaler Präzisionspositionierer
Variabel in Stellweg und Achskonfiguration
AAAZ50 bis 2500,1 bis 0,50,02
PIHera Linearer Präzisionspositionierer
Variabel in Stellweg und Achskonfiguration
AAAX50 bis 15000,2 bis 30,02 bis 0,03
XY-Probenscanner

XY-Probenscanner für die Mikroskopie

Speziell für die Mikroskopie ausgelegte piezobasierte Positionierer und Scanner sind durch ihre typische flache Bauform leicht in bestehende Aufbauten zu integrieren. Je nach Aufgabenstellung variiert das Antriebssystem von besonders dynamisch für Tracking-Anwendungen bis zu langen Stellwegen für die Superresolution-Mikroskopie.

  • Besonders niedriges Profil
  • Hohe Dynamik für effizientere Durchlaufzeiten und höhere Datenerfassungsraten
  • Stabile Positionierung von Objektträgern bis zu Mikrotiterplatten
Klasse*AchsenStellweg [µm]Auflösung [nm]Nichtlinearität [%]
Piezokreuztisch
Flaches XY-Nanopositioniersystem mit großer Apertur
AAA / AAX, Y45 × 45 bis 200 × 2000,2 bis 40,03 / 0,2
PInano® Trak Piezotrackingsystem
Schneller XY(Z)-Tisch für die hochdynamische Mikroskopie
AAX, Y, (Z)

70 × 70 (× 50)

1

PInano® Cap XY(Z)-Piezosystem
Kapazitive Positionsmessung für die Superresolution-Mikroskopie
AAA

X, Y, (Z)

200 × 200 ( × 200)1

PInano® XY(Z)-Piezosystem
Preisgünstiges Nanopositioniersystem für die hochauflösende Mikroskopie
AAX, Y, (Z)200 × 200 ( × 200)1

XY(Z) präzise

2- und 3-Achsen Scanner mit höchster Präzision (XY(Z))

Sowohl in der optischen als auch der nichtoptischen Mikroskopie scannen 2- und 3-achsige Nanopositionierer eine Probe in der Ebene und justieren sie entlang der Messachse. Weitere Einsatzgebiete liegen in der Interferometrie, der 3D-Laserlithographie und in Nanoimprinttechniken.

  • Bewegung in X und Y
  • Optimierte Ablaufgenauigkeit
  • Parallelkinematik mit kapazitiven Sensoren, große Apertur
Klasse*AchsenStellweg [µm]Auflösung [nm]Nichtlinearität [%]
XY(Z)-Piezonanopositionierer
Hochpräzise XY(Z) Scannerfamilie mit Apertur
AAAX, Y, (Z) 30 × 30 ( × 10) bis 100 ×100 ( × 10)0,1 bis 0,30,03
XY-Piezoscanner
Hochdynamisch, höchste Ablaufgenauigkeit, mit Apertur
AAAX, Y100 × 1000,30,03
Mehrachsen-Piezoscanner
Hochdynamischer Nanopositionierer / Scanner mit direkter Positionsmessung
AAAX, Y, (Z) außerdem X, Y, (ΘZ)  100 × 100 ( × 20) bis 200 ×200 ( × 20)0,1 bis 20,03
PIMars Nanopositioniertisch
Hochpräzises Nanopositioniersystem für bis zu 6 Achsen
AAAX, Y, Z  45 × 45 × 18 bis 300 × 300 × 3000,2 bis 20,01 bis 0,03
Kompaktes XY-Nanopositioniersystem
Mit freier Apertur
AAAX, Y200 × 20020,02
Hub- und Kipptische

Hub- und Kipp-Piezoscantische mit großer Apertur

Vertikale Positionierer von PI mit großer Apertur sind mit unterschiedlichen Ausstattungen passend für die jeweilige Anwendung erhältlich. Die Hauptanwendungsbereiche sind die verschiedenen mikroskopischen Verfahren zur Justage und Z-Rasterung (Stacking) von Proben.

  • Parallele Kinematik für bestmögliche Präzision bei mehrachsiger Bewegung
  • Spezielle Scantische für handelsübliche Mikroskope verfügbar
Klasse*Stellweg [µm]Auflösung [nm]Resonanzfrequenz [Hz]Sensor
Vertikaler Nanopositionierer
Große Apertur und flache Bauform
AAA / AA1000,5 / 2,5

410

Kapazitiv / SGS
Hochdynamischer Z-Nanostelltisch
Direkte Positionsmessung und Apertur
AAA1000,3700Kapazitiv
Piezo-Hub- und Kipptisch
Hochdynamisch, mit großer Apertur
AAA2000,5610Kapazitiv
XY(Z)-AFM-Scanner

PicoCube® AFM-Scanner für die Rasterkraftmikroskopie (XY(Z))

Die Rasterkraftmikroskopie (AFM) ermöglicht Oberflächenmessungen bis auf atomare Level und dringt damit in Bereiche vor, die sich mit Lichtmikroskopie nicht mehr auflösen lassen. Das Verfahren kann Aufschluss über die Topografie, die chemische Oberflächenbeschaffenheit, Defekte etc. geben. Zu den typischen Einsatzbereichen gehören z. B. Life-Science-Technologien ebenso wie die Materialforschung oder die Halbleiterinspektion.

  • Hohe Dynamik durch Direktantrieb
  • Nichtmagnetische und UHV-Versionen verfügbar
Stellweg [µm]Auflösung [nm]Resonanzfrequenz [Hz]Nichtlinearität [%]Sensor
PicoCube® XY(Z) Piezoscanner
Dynamisches Nanopositioniersystem für die Rastersondenmikroskopie
5 × 5 ( × 5)0,1

3100 in X, Y, 9800 in Z

0,05Kapazitiv
PicoCube® XY(Z)-Piezoscanner
Picometergenau, hohe Bandbreite, für die Rastersondenmikroskopie
1 × 1 × 0.80,02 (ungeregelt)4000 in X, Y, 11000 in Z

Ohne Sensor
6-Achsen-Positionierer

Positionierer mit bis zu 6 Bewegungsachsen

Die differenzielle Ansteuerung der Aktoren für eine Bewegungsrichtung kombiniert mit einem digitalen Motion Controller ermöglicht die Justage von Proben oder Messsonden nicht nur in den linearen Achsen sondern zusätzlich in Kipp- und Drehwinkeln.

  • Bis 800 µm Stellweg
  • Parallelmetrologie für aktive Fehlerkompensation
Klasse*Stellweg [µm]Stellweg angular [µrad]Auflösung [nm]Nichtlinearität [%]
6-Achsen-Piezopräzisionsversteller
Große Stellwege, mit direkter Positionsmessung
AAA 800 × 800 × 2001

2.2 in X,Y, 0.7 in Z

0,01
PIMars 6-Achsen-Piezosystem
Hochpräzises Nanopositioniersystem mit 6 Freiheitsgraden
AAA200 × 200 × 200±50010,01
*   AAA   Referenzklasse
  AA Präzisionsklasse
  A Standardklasse

  

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