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Übersicht

Piezomotoren

Mechanisch einfach integrierbar, kompakte Bauform

  • Selbsthemmend im Ruhezustand: Keine Halteströme, keine Erwärmung im Stillstand, kein Energieverbrauch und kein Regelzittern
  • Vakuumtaugliches und nichtmagnetisches Funktionsprinzip
  • Integrationsstufen vom preisgünstigen OEM-Antrieb über Präzisionsversteller bis zu 6-achsigen Parallelkinematiken
PI Multi-Axis Combination

Anwendungen

Piezomotoren kombinieren die für piezokeramische Aktoren typischen Eigenschaften der hohen Steifigkeit und Positionsauflösung mit theoretisch unbegrenzten Stellwegen. Sie können in der Anwendung klassische Motor-Spindel-Kombinationen oder direkte magnetische Antriebe ersetzen. Das ist vor allem dann interessant, wenn die Anwendung einen nur geringen Bauraum bietet oder eine hohe Auflösung erfordert. Je nach Aufgabenstellung hat PI mehrere Piezomotortechnologien entwickelt, die beispielsweise hohe Geschwindigkeiten bis zu 500 mm/s oder hohe Kräfte bis 800 N bieten.

Schnell: PILine® Motoren

PILine® Motoren

PILine® Positionierversteller

  • Integrierte Linearencoder zur direkten Positionsbestimmung
  • Kompakte und flache Bauformen für platzsparende Integration

  • Drehtische mit >360° Verstellbereich und Geschwindigkeiten bis >720°/s
AchsenKlasse*SensorMotor / Antrieb
PILine® Linearversteller
Kompakter Versteller mit Ultraschall-Piezomotor
XAAInkrementeller Encoder, DirektmetrologieUltraschall-Piezomotor
Schneller Mikrostelltisch
Flache Bauform, Linearencoder
XAAInkrementeller Encoder, DirektmetrologieUltraschall-Piezomotor
Rotationstisch mit flacher Bauform
Versteller mit Ultraschall-Piezomotor und zentraler Öffnung
ΘZAAInkrementeller Encoder, DirektmetrologieUltraschall-Piezomotor
Schneller Miniatur-Rotationstisch
Mit Piezo-Ultraschallmotor
ΘZAAInkrementeller Encoder, DirektmetrologieUltraschall-Piezomotor
Klein: Trägheitsantriebe

Piezoträgheitsantriebe

PIShift OEM-Antriebe: Klein und preisgünstig

  • Haltekraft bis 10 N, Geschwindigkeit bis 10 mm/s, Auflösung bis <1 nm
  • Einfache Integration mit externer Führung und externem Positionssensor

  • Hohe Flexibilität an Stellbereichen und Montageinterfaces
AchsenDruck / Zugkraft [N]Stellweg [mm]Geschwindigkeit [mm/s]Motor / Antrieb
Linearaktor mit PIShift Piezomotor
Preisgünstig und leicht integrierbar
X7135Trägheitsantrieb
Linearaktor mit PIShift Piezomotor
Preisgünstig und leicht integrierbar
X7355Trägheitsantrieb

PiezoMike Linearaktoren mit hoher Stabilität

  • 22 N Vorschubkraft mit Selbsthemmung
  • UHV-Versionen bis 10-9 hPa
  • Positionsgeregelte Varianten erhältlich
AchsenDruck / Zugkraft [N]Stellweg [mm]Geschwindigkeit [mm/s]Motor / Antrieb
PiezoMike Linearaktor
Minimale Abmessungen, hohe Kräfte, stabile Positionierung
X227,5 bis 260,06Trägheitsantrieb
PiezoMike Linearaktor
Minimale Abmessungen, hohe Kräfte, stabile Positionierung, Vakuum bis 10-9 hPa
X227,5 bis 260,06Trägheitsantrieb
PiezoMike Linearaktor
Mit Positionssensor für den geregelten Betrieb
X227,5 bis 130,06Trägheitsantrieb

Q-Motion® Miniatur-Positionierer

  • Linearversteller ab 22 mm × 22 mm, Drehtellerdurchmesser ab 14 mm
  • Integrierte Linearencoder zur direkten Positionsbestimmung ohne mechanisches Spiel mit bis zu 1 nm Auflösung
  • Günstiger Preis
AchsenKlasse*SensorMotor / Antrieb
Q-Motion® Miniatur Linearversteller
Piezomotoren für kleine Abmessungen, hohe Auflösung und günstigen Preis
XAALinearencoderPiezoelektrischer Trägheitsantrieb
Q-Motion® Präzisions-Linearversteller
Hohe Kräfte und kleine Bauform durch Piezomotoren
XAALinearencoderPiezoelektrischer Trägheitsantrieb
SpaceFABX, Y, Z, ΘX, ΘY, ΘZAAAInkrementeller EncoderTrägheitsantrieb
Q-Motion® Miniatur-Rotationsversteller
Minimale Abmessungen: 14 mm Durchmesser des Drehtellers
ΘZAA-Piezoelektrischer Trägheitsantrieb
Q-Motion® Miniatur-Rotationsversteller
Minimale Abmessungen: 22 mm Durchmesser des Drehtellers
ΘZAA-Piezoelektrischer Trägheitsantrieb
Q-Motion® Rotationsversteller
Kompakt durch Piezomotor: 30 mm Durchmesser des Drehtellers
ΘZAA-Piezoelektrischer Trägheitsantrieb
Präzise: NEXACT® Antriebe

NEXACT® Antriebe

Präzise OEM-Antriebe mit geringem Verschleiß

  • Niedrige Ansteuerspannung <48 V
  • Haltekraft bis 10 N, Geschwindigkeit bis 10 mm/s, Auflösung bis <1 nm

  • Hohe Flexibilität an Stellbereichen
AchsenStellweg [mm]Druck / Zugkraft [N]Geschwindigkeit [mm/s]Motor / Antrieb
NEXACT® OEM-Miniaturlinearmotor / -aktor
Kompakt, schnell, mit großem Stellweg, PiezoWalk® Prinzip
X10 bis 1251010PiezoWalk Antrieb

NEXACT® Positionierversteller

  • Vakuumtaugliches und nichtmagnetisches Funktionsprinzip
  • Baugrößen ab 24 mm Breite

  • Integrierte Linearencoder zur direkten Positionsbestimmung ohne mechanisches Spiel
AchsenKlasse*SensorMotor / Antrieb
Miniatur-Positionierer
Mit <1 Nanometer Sensorauflösung
XAAAPIOne Encoder, DirektmetrologiePiezoWalk Antrieb
Linear Piezo StageXAAAPIOne Encoder, DirektmetrologiePiezoWalk Antrieb
NEXACT® Linear Actuator, Linearaktor, Mikromanipulator, Piezostepper
Hochauflösend, mit optionalem Positionssensor
XAAAInkrementeller Encoder, DirektmetrologiePiezoWalk Antrieb
SpaceFABX, Y, Z, ΘX, ΘY, ΘZAAAPIOnePiezoWalk-Antrieb
Kraftvoll : NEXLINE® Antriebe

NEXLINE® Linearaktoren

Kraftvoll und präzise

  • Optionaler interner Positionssensor mit Nanometer-Auflösung
  • Flexibel auslegbare Kräfte, Haltekraft bis 800 N

  • Geschwindigkeit bis 1 mm/s, Auflösung bis <1 nm
AchsenStellweg [mm]Druck / Zugkraft [N]Geschwindigkeit [mm/s]Motor / Antrieb
NEXLINE® OEM-Linearaktor
Nanopositionierung über große Stellwege, PiezoWalk® Prinzip
X10500,6

PiezoWalk Antrieb

NEXLINE® Linearaktor
Nanopositionierung über große Stellwege, mit hohen Kräften, PiezoWalk® Prinzip
X203000,6PiezoWalk Antrieb

NEXLINE® Versteller: Parallelkinematiken mit bis zu 6 Bewegungsachsen

  • Optional vakuumtaugliche und nichtmagnetische Positionierer für hohe Lasten
  • Z-Tip/Tilt Systeme für die präzise Justage hoher Lasten in Inspektionssystemen

  • Hexapoden für die Bewegung und stabile Positionierung in bis zu 6 Achsen
AchsenKlasse*SensorMotor / Antrieb
Hochsteifer Z-Versteller mit NEXLINE® Piezoantrieb
Hochpräzise vertikale Positionierung, mit kapazitiven Sensoren
ZAAAInkrementell, DirektmetrologiePiezoWalk Antrieb
Kraftvolle NEXLINE® Hub- und Kipp-Plattform
Nanometergenau für die Halbleiterindustrie, zur Waferjustage
ZAAAInkrementell, DirektmetrologiePiezoWalk Antrieb
UHV-kompatibler Miniatur-Hexapod
Hochpräzise Positionierung auch in starken Magnetfeldern
X, Y, Z, ΘX, ΘY, ΘZAAAInkrementellPiezoWalk Antrieb
*   AAA   Referenzklasse
  AA Präzisionsklasse
  A Standardklasse

  

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