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Übersicht

Piezo-Z-Scanner

Fokusmotoren für Interferometrie, Bildstabilisierung und Mikroskopie

  • Reibungs- und spielfreie Festkörperführungen (Flexures)
  • PICMA® Piezoaktoren für höchste Zuverlässigkeit
  • Kurze Einschwingzeiten im ms-Bereich
  • Optionale kapazitive Positionssensoren für Positioniergenauigkeit
    und Stabilität im Bereich einzelner Nanometer
Piezo-Z-Scanner P725 mit Fokusmotor

Anwendungen

Vertikale Piezopositionierer werden für die Justage von Optiken in der Lasermesstechnik verwendet, wie auch für die Fokussierung von Proben, Objektiven oder Objektivrevolver in der Mikroskopie oder in Testsystemen. PI bietet für unterschiedlichste Anwendungen Vertikalversteller in verschiedenen Bauformen an.

Kompakt

Kompakte Positionierer für die Vertikale

Flexible Bauformen mit unterschiedlicher Ausstattung decken alle Scanning- und Positionieranwendungen ab, bei denen es auf Dynamik und Präzision ankommt.

  • Für dynamische Anwendungen
  • Stellwege bis 250 µm

Klasse*Stellweg [µm]Auflösung [nm]Resonanzfrequenz [Hz]Sensor
PIHera Vertikaler Präzisionspositionierer
Variabel in Stellweg und Achskonfiguration
AAA50 bis 2500,1 bis 0,51000 bis 360Kapazitiv
Piezohubtisch
Kompakter Nanopositionierer
AA1002460SGS
Piezohubtisch
Kompakter Nanopositionierer mit Apertur
AA1001,5490SGS
Phasenschieber
Hohe Dynamik, hohe Linearität
AA

0,3

0,03

Objektivscanner

PIFOC® Objektivscanner: Mikroskopobjektive nanometergenau fokussieren

Neben allen gängigen Mikroskopieverfahren liegen die Anwendungen auch in der 3D-Lithografie oder der industriellen Oberflächenprüfung mit Weißlicht-Interferometrie (WLI)-Verfahren. Von vielen Modellen sind preisgünstige Scansysteme inklusive digitalem Motion Controller erhältlich.

  • Minimaler Objektivversatz und hervorragende Fokusstabilität durch spielfreie Parallelflexureführung
  • QuickLock Gewindeeinsätze mit unterschiedlichen Gewindemaßen
  • Optional höchste Linearität durch Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
Klasse*Stellweg [µm]Auflösung [nm]Resonanzfrequenz [Hz]Sensor
PIFOC® Hochpräziser Objektivscanner
Schneller Nanopositionierer und -Scanner für Mikroskopobjektive
AAA / AA1000,7 / 5580Kapazitiv / SGS
PIFOC® Objektivscansystem 100 µm
Hochdynamischer Piezoantrieb für Sub-Nanometer-Auflösung
PIFOC® Objektiv-Scanner mit langem Stellweg
Hochpräziser Positionierer und Scanner für Mikroskopobjektive
AAA100 bis 4000,65 bis 1,25470 bis 230Kapazitiv
PIFOC® Objektivscansystem 400 µm
Hochdynamischer Piezoantrieb für Sub-Nanometer-Auflösung
PIFOC® Hochdynamischer Scanner
Nanopositionier- und Scansystem für Mikroskopobjektive
AAA180,21180Kapazitiv
PIFOC® Objektivsscansystem 2000 µm
Nanometer-Auflösung und schnelles Einschwingverhalten
AAA20005

Inkrementeller Encoder
PIFOC® Objektivscanner mit hoher Dynamik
Nanometer-Auflösung für schwere Objektive
AAA4002,5330Kapazitiv
PIFOC® Hochlast Objektivscanner
Hochdynamisches Scansystem mit großem Stellweg für schwere Objektive
AAA1000,41120Kapazitiv
PIFOC® Mikroskoprevolver-Feinstpositionierer
Kompaktes Design, Sub-nm-Auflösung
AA8010215 (bei voller Bestückung)Kapazitiv
Power-PIFOC® Mikroskoprevolver-Versteller
Hochlastsystem mit direkter Metrologie
AAA150

410Kapazitiv
Probenscanner

Probenscanner: Schnelle Z-Probenpositionierung

Z-Stapelaufnahmen für 3D-Imaging oder Fluoreszenzmikroskopie benötigen hohe Präzision und Dynamik. Piezogetriebene Probenscanner sind typischerweise 10- bis 20-mal schneller als konventionelle Schrittmotoren. Dadurch sind effizientere Durchlaufzeiten und höhere Datenerfassungsraten möglich. Auch Funktionen wie Autofokus oder Driftkompensation sind deutlich schneller.

  • Stabile Positionierung von Objektträgern bis zu Mikrotiterplatten
  • Ansprechzeiten im Bereich weniger Millisekunden

  • Minimaler Versatz und hervorragende Fokusstabilität durch spielfreie Parallelflexureführung
Klasse*Stellweg [µm]Auflösung [nm]Resonanzfrequenz [Hz]Sensor
PInano® Z-Mikroskopiescanner
Preisgünstig, mit flachem Profil
AA

100 bis 200

0,2 bis 0,4

Piezoresistiv

PInano® Z-Mikroskopiescanner für Mikrotiterplatten
Große Apertur, flaches Profil, mit Digitalcontroller
AAA / AA2201

Kapazitiv / piezoresistiv
PIFOC® Z-Probenpositionierer
Mit großer Apertur und flacher Bauform
AA100 bis 5002,5 bis 5122 bis 270SGS
PInano® Trak Piezotrackingsystem
Schneller XY(Z)-Tisch für die hochdynamische Mikroskopie
AA

70 × 70 (× 50)

1

Piezoresistiv
PInano® Cap XY(Z)-Piezosystem
Kapazitive Positionsmessung für die Superresolution-Mikroskopie
AAA200 × 200 ( × 200)1

Kapazitiv
PInano® XY(Z)-Piezosystem
Preisgünstiges Nanopositioniersystem für die hochauflösende Mikroskopie
AA200 × 200 ( × 200)1

Piezoresistiv
Hub- und Kipptische

Hub- und Kipp-Piezoscantische mit großer Apertur

Vertikale Positionierer von PI mit großer Apertur sind mit unterschiedlichen Ausstattungen passend für die jeweilige Anwendung erhältlich. Die Hauptanwendungsbereiche sind die verschiedenen mikroskopischen Verfahren zur Justage und Z-Rasterung (Stacking) von Proben.

  • Parallele Kinematik für bestmögliche Präzision bei mehrachsiger Bewegung
  • Spezielle Scantische für handelsübliche Mikroskope verfügbar
Klasse*Stellweg [µm]Auflösung [nm]Resonanzfrequenz [Hz]Sensor
Vertikaler Nanopositionierer
Große Apertur und flache Bauform
AAA / AA1000,5 / 2,5

410

Kapazitiv / SGS
Hochdynamischer Z-Nanostelltisch
Direkte Positionsmessung und Apertur
AAA1000,3700Kapazitiv
Piezo-Hub- und Kipptisch
Hochdynamisch, mit großer Apertur
AAA2000,5610Kapazitiv
*   AAA   Referenzklasse
  AA Präzisionsklasse
  A Standardklasse

  

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