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Übersicht

NEXLINE® Piezomotoren

Hochlast-Piezoschreitantriebe für bis zu 6 Bewegungsachsen

  • Mechanisch einfach integrierbar, kompakte Bauform
  • Selbsthemmend im Ruhezustand: keine Halteströme, keine Erwärmung im Stillstand, kein Energieverbrauch und kein Regelzittern
  • Flexibel auslegbare Kräfte, Haltekraft bis 800 N
  • Geschwindigkeit bis 1 mm/s
  • Auflösung bis <1 nm
Piezomotor

Anwendungen

Die NEXLINE® Piezomotoren basieren auf sehr stabilen und leistungsfähigen Scher- und Klemmaktoren. Der verwendete PiezoWalk® Schreitantrieb basiert ausschließlich auf Haftreibungskontakten mehrerer Piezoaktoren auf einem Läufer. Für den Vorschub heben die Aktoren physikalisch vom Läufer ab, wodurch kein Verschleiß auftritt und keine Partikel generiert werden. PiezoWalk® Antriebe besitzen die für Piezoantriebe typische hohe Auflösung von weniger als einem Nanometer.

NEXLINE® Piezomotoren besitzen besonders hohe Kräfte und Steifigkeiten. Sie halten die Zielposition stabil und können im Bereich von wenigen Mikrometern Schwingungen mit Nanometer-Auflösung dynamisch kompensieren. Sie sind darüber hinaus für Versteller und Aktoren im Vakuum bis 10-9 hPa geeignet und können für sechsachsige Hexapodsysteme eingesetzt werden.

Linearaktoren

NEXLINE® Linearaktoren

  • Optionaler interner Positionssensor mit Nanometer-Auflösung
  • Hohe Flexibilität an Stellbereichen und Antriebskräften

  • Kundenspezifische Auslegung möglich
AchsenStellweg [mm]Druck / Zugkraft [N]Motor / Antrieb
NEXLINE® OEM-Linearaktor
Nanopositionierung über große Stellwege, PiezoWalk® Prinzip
X1050

PiezoWalk Antrieb

NEXLINE® Linearaktor
Nanopositionierung über große Stellwege, mit hohen Kräften, PiezoWalk® Prinzip
X20300PiezoWalk Antrieb
Parallelkinematiken

NEXLINE® Versteller: Parallelkinematiken mit bis zu 6 Bewegungsachsen

AchsenKlasse*SensorMotor / Antrieb
Hochsteifer Z-Versteller mit NEXLINE® Piezoantrieb
Hochpräzise vertikale Positionierung, mit kapazitiven Sensoren
ZAAAInkrementell, DirektmetrologiePiezoWalk Antrieb
Kraftvolle NEXLINE® Hub- und Kipp-Plattform
Nanometergenau für die Halbleiterindustrie, zur Waferjustage
ZAAAInkrementell, DirektmetrologiePiezoWalk Antrieb
UHV-kompatibler Miniatur-Hexapod
Hochpräzise Positionierung auch in starken Magnetfeldern
X, Y, Z, ΘX, ΘY, ΘZAAAInkrementellPiezoWalk Antrieb
Motion Controller

Digitale Motion Controller für NEXLINE®

  • Digitale und analoge Schnittstellen
  • Modulares System für bis zu 6 Achsen und Hexapoden

  • Modulares System zur Kombination mit anderen Antriebssystemen
Digitaler Piezocontroller
Modulares System mit bis zu 6 Achsen für höchste Präzision
Digitaler Motion-Controller
Für NEXLINE® Piezoschreitantriebe
*   AAA   Referenzklasse
  AA Präzisionsklasse
  A Standardklasse

  

Technologie

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