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Übersicht

Präzisionslinearversteller

Stellwege von wenigen Millimetern bis 1 m

  • Große Auswahl an Verstellern für verschiedene Genauigkeiten, Belastungen oder Baugrößen
  • Viele Varianten der Motorisierung: Schrittmotoren, DC-Motoren, bürstenlose Motoren (BLDC), magnetische Direktantriebe
  • Piezomotoren ersetzen Elektromotoren in Kleinstverstellern
  • Optionales effizientes ActiveDrive Antriebskonzept für hohe Leistungen
praezisionslinearversteller-lps-65

Anwendungen

PI bietet ein breites Spektrum an Linearverstellern für jede denkbare Anwendung. Für Bewegungen und Positionierungen in mehreren Achsen können die Versteller auch kombiniert werden. Dabei spielt es keine Rolle, welche Antriebskonzepte eingesetzt werden, da sich die Achsen über eine >> einheitliche Software ansteuern lassen. Für mehrachsige Anwendungen können darüber hinaus >> Kreuztische oder parallelkinematische >> Hexapoden mit bis zu 6 Freiheitsgraden der Bewegung eingesetzt werden.

Piezomotoren

Linearversteller mit Piezomotoren

>> Piezoelektrische Linearmotoren ermöglichen Versteller mit kleinsten Abmessungen. Der Direktantrieb vermeidet mechanische Komponenten wie Getriebe und Spindeln und ist daher zuverlässig und hochauflösend bis auf einzelne Nanometer. Je nach Antriebsprinzip werden hohe Geschwindigkeit, hohe Kräfte und/oder hohe Auflösung erreicht.

  • Vakuumtaugliches und nichtmagnetisches Funktionsprinzip
  • Selbsthemmend, kein Energieverbrauch und keine Wärmeerzeugung im Stillstand

  • Linearencoder zur direkten Positionsbestimmung ohne mechanisches Spiel
Klasse*Stellweg [mm]Auflösung [nm]Geschwindigkeit [mm/s]Druck / Zugkraft [N]Motor / Antrieb
Q-Motion® Miniatur Linearversteller
Kleinster Linearversteller mit Positionsregelung, hoher Auflösung und günstigem Preis
AA12 bis 321 bis 4101Piezoelektrischer Trägheitsantrieb
Q-Motion® Miniatur Linearversteller
Piezomotoren für kleine Abmessungen, hohe Auflösung und günstigen Preis
AA6,5 bis 261 bis 4101Piezoelektrischer Trägheitsantrieb
Miniatur-Positionierer
Mit <1 Nanometer Sensorauflösung
AAA150,5 bis 1501010PiezoWalk Antrieb
PILine® Linearversteller
Kompakter Versteller mit Ultraschall-Piezomotor
AA18100 / 4002002Ultraschall-Piezomotor
Q-Motion® Präzisions-Linearversteller
Hohe Kräfte und kleine Bauform durch Piezomotoren
AA13 bis 261108Piezoelektrischer Trägheitsantrieb
Linearpositionierer mit höchster Präzision
NEXACT® Piezoschreitantrieb mit Sub-Nanometer-Encoderauflösung
AAA13 bis 520,51010PiezoWalk Antrieb
Präzisionstisch mit Piezolinearmotor
Flach, schnell, selbsthemmend
AA251004002,5Ultraschall-Piezomotor
Schneller Mikrostelltisch
Flache Bauform, Linearencoder
AA501003506Ultraschall-Piezomotor
Kompakt

Kleine Präzisions-Linearversteller

Kompakte Antriebslösungen sind für automatisierte Ablaufe in vielen Bereichen von der Mikrobearbeitung im Präzisionsmaschinenbau bis hin zur Photonikfertigung unerlässlich. Sowohl für Testsysteme als auch zum Einsatz im Produktionsprozess sind diese Kleinverstellerserien hervorragend geeignet. Unterschiedliche Motorisierungen, Positioniergenauigkeit und Stellwege bieten vielfältige Einsatzmöglichkeiten.

  • Stellwege bis 100 mm
  • Verschiedene Motorisierung

  • Verstellerbreite ab 22 mm
Klasse*Stellweg [mm]Auflösung [nm]Geschwindigkeit [mm/s]Motor / AntriebSensor
Kompakter Linearstelltisch
XY(Z)-Kombinationen mit vielen Antriebs- und Stellwegvarianten
AA5 bis 257 bis 501 bis 2DC-Motor, SchrittmotorInkrementeller Encoder
Linear StageAA13 bis 52110,4 bis 5DC-Motor, SchrittmotorInkrementeller Encoder
Kompakter Linearstelltisch
Kompakt und sehr schnell mit direkter Positionsmessung
AA2510020DC-MotorInkrementeller Encoder, Direktmetrologie
Micro StageAAA13 bis 52508DC-Motor, SchrittmotorInkrementeller Encoder, Direktmetrologie
Linear StageA26 bis 10250013 bis 20DC-Motor, SchrittmotorInkrementeller Encoder
Hochpräzisions-Linearversteller
Kompakter Versteller mit direkter Positionsmessung
AAA25 bis 5010050

DC-Motor

Inkrementeller Encoder, Direktmetrologie

Q-Motion® Miniatur Linearversteller
Kleinster Linearversteller mit Positionsregelung, hoher Auflösung und günstigem Preis
AA12 bis 321 bis 410Piezoelektrischer TrägheitsantriebLinearencoder
Q-Motion® Miniatur Linearversteller
Piezomotoren für kleine Abmessungen, hohe Auflösung und günstigen Preis
AA6,5 bis 261 bis 410Piezoelektrischer TrägheitsantriebLinearencoder
Miniatur-Positionierer
Mit <1 Nanometer Sensorauflösung
AAA150,5 bis 15010PiezoWalk AntriebPIOne Encoder, Direktmetrologie
PILine® Linearversteller
Kompakter Versteller mit Ultraschall-Piezomotor
AA18100 / 400200Ultraschall-PiezomotorInkrementeller Encoder, Direktmetrologie
Lasten bis 200 N

Linearversteller für mittlere Lasten bis 200 N

Die Anwendungen sind breit gefächert und reichen von der Prozessautomatisierung über industrielle Testsysteme bis zu Aufgaben der Qualitätssicherung. Diese Verstellerserien positionieren zuverlässig Lasten im mittleren Bereich von 50 bis zu 200 N. Die vielen Varianten können ideal für die jeweilige Situation ausgewählt werden.

  • Vorgespannte Präzisionsgewindespindeln oder Kugelumlaufspindeln für hohe Geschwindigkeit und Zyklenzahlen
  • Variable Stellwege von 25 bis 600 mm

  • XY- und XYZ-Kombinationen
Klasse*Stellweg [mm]Auflösung [nm]Geschwindigkeit [mm/s]Druck / Zugkraft [N]Motor / Antrieb
Präzisions-Lineartisch
Kompakte Bauform, für Lasten bis 10 kg
AAA / AA26 bis 1021 bis 16,50,05 bis 2060DC-Getriebemotor, Schrittmotor
Hochpräziser Linearversteller
Hohe Ablaufgenauigkeit
AAA / AA52 bis 1551 bis 16,50,05 bis 4580DC-Getriebemotor, Schrittmotor
Präzisions-Mikrostelltisch
Preiswert und flexibel, für hohe Lasten, Präzisionsgewindespindel
A25 bis 20018 bis 2502,5 bis 1050DC-Motor, ActiveDrive, Schrittmotor
Präzisions-Mikrostelltisch
Preiswert und flexibel, für hohe Lasten, Präzisionsgewindespindel
AA25 bis 20012 bis 25050DC-Motor, ActiveDrive, Schrittmotor
Hochlast-Präzisionsversteller
Preiswert und flexibel durch viele Antriebs- und Stellwegvarianten für hohe Lasten
A100 bis 30018 bis 2503 bis 1050DC-Motor, ActiveDrive, Schrittmotor
Hochlast-Präzisionsversteller
Preiswert und flexibel durch viele Antriebs- und Stellwegvarianten für hohe Lasten
AA100 to 30012 bis 2503 bis 100100DC-Motor, ActiveDrive, Schrittmotor
Präzisions-Linearversteller
500 mm Stellweg mit hoher Führungsgenauigkeit
AA500500100200ActiveDrive
Translation StageA25 bis 30050013 bis 2050DC-Motor, Schrittmotor
PIMag® Präzisions-Linearversteller
Hohe Geschwindigkeit durch magnetischen Direktantrieb, nanometer Auflösung
AAA50 bis 2301,7500200PIMag® Linearmotor
Präzisions-Linearversteller
Hohe Ablaufgenauigkeit und günstiger Preis
AA50 bis 1509 bis 1251 bis 1550DC-Motor, ActiveDrive, Schrittmotor
Linear StageAAA / AA52 bis 1551,6 bis 507 bis 10080DC-Motor, Schrittmotor
Linear StageAAA / AA155 bis 50850 bis 25075 bis 200200DC-Motor, Schrittmotor
Hohe Geschwindigkeit, hohe Präzision
Hohe Geschwindigkeit, hohe Präzision
AAA / AA16 bis 15550 bis 100020 bis 9060DC-Motor, Schrittmotor
Stellwege bis 1 m

Linearversteller für Stellwege von 300 mm bis 1 m

Industrielle Anwendungen im Produktionsprozess wie z. B. die Laserbearbeitung profitieren von der präzisen Positioniergenauigkeit dieser Versteller. Die variablen Verstellerserien mit geringer Bauhöhe machen sie universell einsetzbar, von Testeinrichtungen bis hin zu Fertigungsstrecken in der Präzisionsautomatisierung.

  • Modellabhängig: Abdeckung der Mechanik zum Schutz vor Staub und Schmutz
  • Kombinationen unterschiedlicher Motorisierungen und variable Stellwege

  • Hohe Steifigkeit und mechanische Stabilität
Klasse*Stellweg [mm]Auflösung [nm]Geschwindigkeit [mm/s]Druck / Zugkraft [N]Motor / Antrieb
Hochlast-Präzisionsversteller
Preiswert und flexibel durch viele Antriebs- und Stellwegvarianten für hohe Lasten
A100 bis 30018 bis 2503 bis 1050DC-Motor, ActiveDrive, Schrittmotor
Präzisions-Linearversteller
500 mm Stellweg mit hoher Führungsgenauigkeit
AA500500100200ActiveDrive
Hochlast-Präzisionsversteller
Preiswert und flexibel durch viele Antriebs- und Stellwegvarianten für hohe Lasten
AA100 to 30012 bis 2503 bis 100100DC-Motor, ActiveDrive, Schrittmotor
Linear StageAAA / AA155 bis 50850 bis 25075 bis 200200DC-Motor, Schrittmotor
High Precision StageAAA / AA52 bis 30510035 bis 90100DC-Motor, Schrittmotor
Hochpräzisions-Linearversteller
Hohe Ablaufgenauigkeit, große Stellwege, viele Motorvarianten
AAA / AA102 bis 30620 bis 5006 bis 10080DC-Motor, ActiveDrive, BLDC-Motor und Schrittmotor
PIglide LC Linearversteller mit Luftlager
Hochleistungs-Nanopositioniersystem mit günstigem Preis
AAA100 bis 40011000100PIMag® Linear Motor
Linear StageAAA / AA155 bis 106050 bis 25050 bis 150260 bis 400DC-Motor, Schrittmotor
Präzise

Hochpräzisions-Linearversteller der Referenzklasse

Die Anwendungsbereiche dieser Verstellerserien gehören zu den anspruchsvollsten in der Präzisionspositionierung. Dazu zählen die Inspektion von Wafern in der Halbleiterindustrie, Justage und Integration in Testvorrichtungen in der Photonikfertigung, oder auch Mess- und Inspektionsaufgaben in der Qualitätssicherung.

  • Hervorragende Langzeitstabilität durch hochsteife Grundprofile
  • Hochpräzise Komponenten wie Kreuzrollenführungen und spielfreie Kugelumlaufspindeln

  • Optional direkte Positionsmessung mit Linearencoder
Klasse*Stellweg [mm]Auflösung [nm]Geschwindigkeit [mm/s]Druck / Zugkraft [N]Motor / Antrieb
Linear StageAAA / AA52 bis 1551,6 bis 507 bis 10080DC-Motor, Schrittmotor
Linear StageAAA / AA155 bis 50850 bis 25075 bis 200200DC-Motor, Schrittmotor
Hohe Geschwindigkeit, hohe Präzision
Hohe Geschwindigkeit, hohe Präzision
AAA / AA16 bis 15550 bis 100020 bis 9060DC-Motor, Schrittmotor
High Precision StageAAA / AA52 bis 30510035 bis 90100DC-Motor, Schrittmotor
Hochpräzisions-Linearversteller
Hohe Ablaufgenauigkeit, große Stellwege, viele Motorvarianten
AAA / AA102 bis 30620 bis 5006 bis 10080DC-Motor, ActiveDrive, BLDC-Motor und Schrittmotor
Linear StageAAA / AA155 bis 106050 bis 25050 bis 150260 bis 400DC-Motor, Schrittmotor
Linearpositionierer mit höchster Präzision
NEXACT® Piezoschreitantrieb mit Sub-Nanometer-Encoderauflösung
AAA13 bis 520,51010PiezoWalk Antrieb
PIMag® Präzisions-Linearversteller
Hohe Geschwindigkeit durch magnetischen Direktantrieb, nanometer Auflösung
AAA50 bis 2301,7500200PIMag® Linearmotor
PIglide LC Linearversteller mit Luftlager
Hochleistungs-Nanopositioniersystem mit günstigem Preis
AAA100 bis 40011000100PIMag® Linear Motor
Magnetische Direktantriebe

PIMag® Hochgeschwindigkeitstische mit Direktantrieb

Insbesondere industrielle Anwendungen nutzen die Zuverlässigkeit und hervorragende Präzision von Positionierern und Scannern mit magnetischem Direktantrieb. Ihre hohe Dynamik sorgt für hohe Durchsatzraten bei automatisierten Aufgaben im Bereich von Testsystemen z. B. in der Halbleiterindustrie. Sie steigern auch die Effizienz beispielsweise in Elektronik-fertigungslinien oder der Laserbearbeitung.

  • Direktantrieb ohne zusätzliche mechanische Komponenten, also weniger Verschleißteile
  • Hohe Geschwindigkeiten von mehreren 100 mm/s

  • Kombinierbar mit hochdynamischen direkt getriebenen Rotationstischen
PIMag® Präzisions-Linearversteller
Hohe Geschwindigkeit durch magnetischen Direktantrieb, nanometer Auflösung
PIglide LC Linearversteller mit Luftlager
Hochleistungs-Nanopositioniersystem mit günstigem Preis
Ultra Precision Linear Stage
Hochdynamischer PIMag®-Lineartisch
Voice-Coil-Direktantrieb mit direkter Positionsmessung
Präzisions-Linearversteller
Hohe Dynamik durch magnetischen Direktantrieb, exzellente Ablaufgenauigkeit
Hubtische

Präzisions-Hubtische

Für Bewegungen in Z stehen spezielle Hubtische zur Verfügung, die möglichst kompakt mit Lineartischen oder Rotationstischen kombiniert werden können. Alternativ zu Hubtischen können Linearversteller über Adapterwinkel für Z-Bewegungen genutzt werden, womit auch längere Stellwege realisiert werden können. Diese Z-Versteller sind speziell für Lasten bis 300 N ausgelegt, so dass sie, wenn nötig, auch noch weitere Verstellerachsen tragen können.

  • Verschiedene Lastklassen
  • Stellwege bis 25 mm

  • Mit integrierten Endschaltern
Klasse*Stellweg [mm]Auflösung [nm]Geschwindigkeit [mm/s]Druck / Zugkraft [N]Motor / Antrieb
Hochlast-Präzisionshubtisch
Kompatibel mit Piezo-Nanopositioniertischen

A

12,5

3 bis 42

0,5 bis 3

120

DC-Motor, ActiveDrive, Schrittmotor
Ultra Precision Elevation StageAAA13136150 bis 200DC-Motor, Schrittmotor
Elevation StageAA13 bis 2620 bis 50bis 2630 bis 55DC-Motor, Schrittmotor
Präzisionshubtisch
z. B. für kompakte XYZ-Kombination mit M-511-Serie
AA12,55 bis 241 bis 320 bis 100DC-Motor, ActiveDrive
Vakuum

Linearversteller für Vakuumanwendungen

Anwendungen im Vakuum und Ultrahoch-Vakuum stellen besonders hohe Anforderungen an bewegte mechanische Komponenten. Schmiermittel sind zu vermeiden oder durch spezielle geeignete zu ersetzen, Antriebs- und Elektronikkomponenten müssen entsprechend ausgelegt werden. Testausrüstung wie eine Vakuumkammer mit Massenspektrometer helfen PI dabei, Vakuumprodukte zu testen und für die individuellen Auslegungen auszulegen.

  • Für Vakua bis 10-9 hPa
  • Piezomotoren für besonders kleine Versteller
  • Kundenspezifische Designs und Modifikationen
Klasse*Stellweg [mm]Auflösung [nm]
Q-Motion® Miniatur Linearversteller
Kleinster Linearversteller mit Positionsregelung, hoher Auflösung und günstigem Preis
AA12 bis 321 bis 4
Q-Motion® Miniatur Linearversteller
Piezomotoren für kleine Abmessungen, hohe Auflösung und günstigen Preis
AA6,5 bis 261 bis 4
Miniatur-Positionierer
Mit <1 Nanometer Sensorauflösung
AAA150,5 bis 150
Hohe Geschwindigkeit, hohe Präzision
Hohe Geschwindigkeit, hohe Präzision
AAA / AA16 bis 15550 bis 1000
Linear StageAAA / AA52 bis 1551,6 bis 50
Q-Motion® Präzisions-Linearversteller
Hohe Kräfte und kleine Bauform durch Piezomotoren
AA13 bis 261
*   AAA   Referenzklasse
  AA Präzisionsklasse
  A Standardklasse

  

Technologie

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