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Übersicht

Präzisionskreuztische

Für die Probenpositionierung in Mikroskopie oder industrieller Fertigung

  • Lasten bis >100 kg
  • Viele Varianten der Motorisierung: Schrittmotoren, DC-Motoren, bürstenlose Motoren, magnetische Direktantriebe
  • Piezomotoren ersetzen Elektromotoren in Mikroskopverstellern
  • Optionale direkte Positionsmessung mit Linearencoder mit Auflösungen bis < 1 nm
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Anwendungen

Kreuztische dienen der Probenpositionierung oder dem Rasterscan in zwei Ebenen. Hauptsächliches Anwendungsgebiet ist die Topologiemessung. Mikroskoptische bewegen z. B. biologische Proben unter dem Objektiv. Dabei kommt es auf Präzision, Stabilität und Dynamik für hohe Durchsatzraten an. Dieselben Anforderungen ergeben sich auch für industrielle Messverfahren wie der Weißlichtinterferometrie, nur dass dort die Proben wesentlich größer und schwerer sein können (z. B. LCD-Bildschirme).

Mikroskoptische

Mikroskoptische mit Piezomotoren

Passend auf gängige Mikroskope bekannter Hersteller wie Nikon, Zeiss, Leica und Olympus bietet PI XY-Tische für Superresolution-Mikroskopie, Tiling oder automatisierte Scanning-Mikroskopie an. Modellabhängig setzt PI Piezomotoren als Antrieb ein. Dadurch entsteht eine durchgehend flache Bauform ohne Flanschmotoren und Spindelkanäle, wodurch die Integration wesentlich vereinfacht wird. Spezielle Ansteuerungskonzepte erlauben stabile Verfahrgeschwindigkeiten von wenigen Mikrometern bis mehreren hundert Millimetern pro Sekunde.

  • Stabile Positionierung, Selbsthemmung des Antriebs in Ruhe
  • Kompakte und flache Bauform erlaubt freien Zugang zur Probe
  • Passende Piezo-Scantische für XYZ- und Z-Probenpositionierung verfügbar
Klasse*Stellweg [mm]Auflösung [nm]Last [kg]Geschwindigkeit [mm/s]Motor / Antrieb
PILine® Kreuztischsystem mit Controller und Joystick
Stabil, dynamisch, flach
AA

100 × 75 oder 135 × 85

1005120

Ultraschall-Piezomotor

Kreuztisch mit Linearmotoren
Flach und schnell, direkte Positionsmessung
AA25 × 251005100Ultraschall-Piezomotor
Mikroskopiekreuztisch
Kompakt, stabil, großer Stellweg
A25 × 255Handantrieb, optional Motoren
Industrielle XY-Scanner

Industrielle Scanner für Inspektions- und Mikroskopieaufgaben

Die Führungs- und Positioniergenauigkeit dieser Kreuztische wird vor allem in der industriellen Messtechnik benötigt. Anwendungsgebiete sind industrielle Oberflächenmesstechniken wie Topologiemessungen an Werkstücken und Optiken oder Strukturmessungen an Halbleiterwafern. Die hohen Traglasten ermöglichen die Montage weiterer Achsen, z. B. von Drehverstellern, Hubmodulen und Kippverstellern auf der Plattform.

  • Stabile Plattformen mit Elektromotoren
  • Stellwege bis 100 mm, optional mit Linearencoder

  • Minimale Ebenheitsabweichung
Klasse*Stellweg [mm]Auflösung [nm]Last [kg]Geschwindigkeit [mm/s]Motor / Antrieb
Metrology Cross StageAAA / AA102 × 1025 bis 20020

35 bis 240

DC-, Schritt-, magnetischer Linearmotor
PIglide LC Linearversteller mit Luftlager
Hochleistungs-Nanopositioniersystem mit günstigem Preis
AAA150 x 150Bis 1151000PIMag® Linear Motor
PIglide HS Planarscanner mit Luftlager
XY Positioniersystem mit 1 nm Auflösung
AAA500 x 1000Bis 1151000PIMag® Linear Motor
Cross StageAA350 × 3005030100Schrittmotor
3-Achsen-Präzisions-Positioniersystem
Parallelkinematik in X, Y, θZ mit besonders hoher Haltekraft
AA20 × 20

15020DC-Motor
*   AAA   Referenzklasse
  AA Präzisionsklasse
  A Standardklasse

  

Technologie

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