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Übersicht

Kapazitive und inkrementelle Piezosensoren

Nanometrologie in Nanopositioniersystemen

  • Berührungslose Wegmessung
  • Für Anwendungen mit höchsten Genauigkeitsanforderungen
  • Direkte Positionsmessung kompensiert mechanische Abweichungen: Direktmetrologie
Kapazitive und inkrementelle Piezosensoren

Anwendungen

PI setzt in seinen Nanopositionierern der Referenzklasse kapazitive und inkrementelle Sensoren zur berührungslosen Positionsmessung ein. Die wichtigsten Kenndaten für die Auswahl des geeigneten Verfahrens sind Linearität, Auflösung (Sensitivität), Stabilität, Bandbreite und nicht zuletzt die Kosten. Wichtig ist außerdem die Fähigkeit, die Bewegung der Plattform direkt aufzunehmen, sodass jede Positionsänderung der bewegten Plattform relativ zum Grundkörper unmittelbar vom Controller erfasst wird. Damit sind Genauigkeiten unterhalb eines Nanometers möglich.

Produkte
Kapazitive Sensoren
Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich
PISeca Kapazitive Sensoren
Einelektrodensensoren mit hervorragender Positionsauflösung
PISeca OEM Positionssensor
Kapazitiver Einelektrodensensor und Auswerteelektronik im Paket
PISeca Sensorauswertung
Für kapazitive Einelektroden-Sensoren
Technologie

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