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Übersicht

Integrierte Piezoaktoren

Sub-Millisekunden-Ansprechzeit und Sub-Nanometer-Auflösung

  • Gehäuse mit mechanischen Adaptern zur elektrischen Isolation, einfachen Integration und zum Schutz des Aktors vor den Umgebungsbedingungen
  • Mechanische Vorspannung ermöglicht dynamischen Betrieb
  • Flexure Festkörpergelenks-
    führungen für geradlinige Bewegung
  • Im Flexure integrierte mechanische Hebelübersetzung für große Stellwege
  • DMS-Sensoren für Wiederholgenauigkeiten von nur wenigen Nanometern
Piezoaktor

Anwendungen

Die mechanische Integration von Piezoaktoren erleichtert deren Anwendung. Um Zugkräfte am Piezoelement, die bei dynamischen Anwendungen durch die Trägheit der bewegten Last unweigerlich auftreten, zu vermeiden, ist es erforderlich, das Piezoelement mit einer mechanischen Vorspannung zu versehen. Dies kann in mechanischen Gehäusen erfolgen oder durch Festkörpergelenke. Letztere übernehmen zusätzlich die Führung oder Umlenkung der Bewegungsrichtung oder erhöhen den Stellweg durch eine Hebelübersetzung. PI bietet mit vorgespannten, integrierten Piezoaktoren eine Integrationsstufe zwischen dem reinem Piezoelement und dem Piezopositioniersystem für einfache Zustellaufgaben.

PiezoMove® Hebelaktoren

PiezoMove® Hebelaktoren: geführte Aktoren mit Stellwegen bis 2 mm

Geführte und vorgespannte Multilayer-Piezoaktoren mit Hebelübersetzung werden eingesetzt für Ventile, Pumpen, Mikro- und Nanoliterdosierung, aktive Schwingungsisolierung, Probenhandling und Imprinttechniken in Mikrofluidtechnik, Biotechnologie, Medizintechnik, Mechatronik, Adaptronik, Lasertechnik oder Messtechnik.

  • Mechanische Führung, Vorspannung und Hebelübersetzung für Stellwege bis 2 mm
  • Versionen mit DMS-Sensoren für Wiederholgenauigkeiten von nur wenigen Nanometern

  • Preisgünstige OEM-Lösungen zur Integration, auch für hohe Stückzahlen
Klasse*Stellweg [µm]Auflösung [nm]Nichtlinearität [%]Achsen
PiezoMove® Linearaktor mit Führungen
Mit optionalem Sensor
AA100 bis 4002 bis 120,1 bis 0,3Z
PiezoMove® Linearaktor mit hoher Steifigkeit
Mit Führung für Stellwege bis 1 mm
AA100 bis 10002 bis 70,5 bis 1,5X
Preisgünstiger PiezoMove® Linearaktor
Reibungsfreie Führung und Stellwege bis 0,5 mm
A100 bis 5006 bis 100,2Z
Kompakter PiezoMove® Linearaktor
Preisgünstig, mit 300 µm Stellweg
A300

Z
Vorgespannte PICMA®

Kompakte Aktoren: Vorgespannte PICMA® Piezo-Linearaktoren

Anwendungen mit gleichzeitig hohen Anforderungen an Präzision und Dynamik gibt es unter anderem in der Fluid- und Dosiertechnik oder bei der präzisen Justage von Spaltbreiten in der Optik oder Fertigungstechnik. Ausführungen für Vakuum bis 10-9 hPa sind verfügbar.

  • Sub-Millisekunden-Ansprechzeit und Sub-Nanometer-Auflösung
  • Versionen mit DMS-Positionssensor verfügbar

  • Wassergeschützte Versionen verfügbar
Stellweg [µm]Resonanzfrequenz [Hz]Druck / Zugkraft [N]SensorAuflösung [nm]Spannungsbereich [V]Nichtlinearität [%]
Piezoaktoren
Für kleine und mittlere Lasten
15, 30, 4522000 bis 850050 / 1

-20 bis 120

Vorgespannte Piezoaktoren
Für kleine und mittlere Lasten
15, 30, 4522000 bis 1200050 / 10

-20 bis 120

Vorgespannte Piezoaktoren
Mit Positionssensor-Option
15 bis 9018000 bis 60001000 / 50– / DMS0,3 bis 1,8-20 bis 120

Vorgespannte Piezoaktoren
Für hohe Lasten und Kräfte
15 bis 9018000 bis 6000

800 / 300

0,15 bis 0,9-20 bis 120

Vorgespannte Piezoaktoren
Für hohe Lasten und Kräfte mit Positionssensor
15 bis 9018000 bis 6000800 / 300DMS0,3 bis 1,8-20 bis 120
Vorgespannte Piezoaktoren
Für hohe Lasten und Kräfte
15 bis 9018000 bis 60003000 / 7000,15 bis 0,9-20 bis 120
Vorgespannte Piezoaktoren
Für hohe Lasten und Kräfte mit Positionssensor
15 bis 9018000 bis 60003000 / 700DMS0,3 bis 1,8-20 bis 120
Gekapselte PICMA® Stack Piezoaktoren
Für raue Industrieumgebungen
17, 3660000 bis 35000bis 3000 / 0– / DMS

-20 bis 120

Vorgespannte PICA

Hochlastaktoren: Vorgespannte, kompakte PICA Piezo-Linearaktoren

Hochdynamische Anwendungen mit gleichzeitig hohen Anforderungen an Präzision und Krafterzeugung gibt es unter anderem im Präzisionsmaschinenbau, bei der Materialbearbeitung und –formung oder der aktiven Kompensation von Schwingungen. Ausführungen für Vakuum bis 10-9 hPa, besonders hohe oder tiefe Betriebstemperaturen sind verfügbar.

  • Sub-Millisekunden-Ansprechzeit und Sub-Nanometer-Auflösung
  • Kompakte Edelstahlgehäuse mit variablen Endstücken

  • Versionen mit DMS-Positionssensor verfügbar
Stellweg [µm]Resonanzfrequenz [Hz]Druck / Zugkraft [N]SensorAuflösung [nm]Spannungsbereich [V]Nichtlinearität [%]
PICA Power Piezoaktor
Vorgespannte Piezoaktoren (HVPZT) mit Sensoroption
15 bis 18017000 bis 45002000 / 300– / DMS0,3 bis 2,4bis 10000,2
PICA Power Piezoaktor
Vorgespannte Piezoaktoren (HVPZT) mit Sensoroption
15 bis 18017000 bis 30004500 / 500– / DMS0,3 bis 3,6bis 10000,2
PICA Power Piezoaktoren
Vorgespannte Hochlast-Piezoaktoren (HVPZT) mit Sensoroption
15 bis 18014000 bis 400012500 / 2000– / DMS0,3 b is 2,4bis 10000,2
PICA Power Piezoaktoren
Vorgespannte Hochlast-Piezoaktoren (HVPZT) mit Sensoroption
15 bis 18014000 bis 280030000 / 3500– / DMS0,3 bis 3,6bis 10000,2
*   AAA   Referenzklasse
  AA Präzisionsklasse
  A Standardklasse

  

PICMA® Bender Biegeaktoren

PICMA® Bender Multilayer-Biegeaktoren mit Positionssensor

  • Bimorpher Aufbau für symmetrische Auslenkung
  • Sub-Millisekunden-Ansprechzeit und Sub-Nanometer-Auflösung
  • Einfache Montage
Stellweg [µm]Resonanzfrequenz [Hz]Spannungsbereich [V]
PICMA® Multilayer-Biegeaktoren
mit Positionssensoren
160 bis 16002540 bis 195±30
Disk-Translatoren

Vorgespannte Disk-Translatoren

  • Bimorpher Aufbau für symmetrische Auslenkung
  • Hohe Dynamik
  • Flacher Aufbau, einfache Montage
Stellweg [µm]Resonanzfrequenz [Hz]Druck / Zugkraft [N]Auflösung [nm]Spannungsbereich [V]
Disk Translators
Bimorph Piezo Actuators with High Dynamics
50 bis 2001100 bis 250020 / 100,5 bis 2bis -1000
Motion Controller

Motion Controller und Verstärker

PI bietet vom gehausten digitalen Motion Controller bis hin zur OEM-Platine ein breites Spektrum von Möglichkeiten zur Ansteuerung von integrierte Piezoaktoren:

Welche Ansteuerung
passt?
 
PiezoMove® / PICMA®
ohne Sensoren
U <120 V
PICA
ohne Sensoren
U <1000 V
PiezoMove® / PICMA®
mit DMS-Sensoren

PICA
mit DMS-Sensoren

mittlere Dynamik,
mittlere Lasten
>> E-836
>> E-610
E-420 >> E-610
>> E-625
E-420
mittlere Dynamik,
mittlere Lasten,
hohe Stückzahlen
>> E-831 >> E-462
schnelle Schalt-
anwendungen
 
>> E-617
>> E-618
>> E-506
>> E-481
 
 
>> E-500
 
 
>> E-481
 
 
hohe Lasten
(>100 kg)
E-420 E-420

Verstärker und Controller für PICMA® Stack/Chip Multilayer-Aktoren

Piezoverstärker für >> PICMA® Multilayer-Piezoaktoren bieten eine Ausgangsspannung bis 130 V. Verstärker mit hohem Ausgangsstrom ermöglichen einen dynamischen Betrieb der Aktoren und präzise Positionierung mit geringem Leistungsbedarf.

Spannungsbereich [V]Spitzenstrom [mA]KanäleSensor
Piezoverstärker / Servocontroller
1-Kanal-OEM-Modul mit optionaler Positionsregelung
1801

Kapazitiv, SGS

Piezoverstärkermodul
Preisgünstige OEM-Module mit separatem Netzteil
-30 bis 1301001
Kompakter Piezoverstärker / OEM-Modul
Piezoaktoren dynamisch betreiben mit preisgünstigen, rauscharmen Verstärkern
-30 bis 1301001
3-Kanal-Piezoverstärker
Für ungeregelte Piezosysteme und Aktoren ohne Positionssensor
-20 bis 120203
Hochleistungs-Piezoverstärker
Industrie- / OEM-Modul mit Energierückgewinnung für dynamische Daueranwendungen
-30 bis 13020001
Hochleistungs-Piezoverstärker / Servocontroller
Hohe Ströme, hochdynamisch
-30 bis 13032001– / DMS / kapazitiv
Piezoverstärkermodul
Für drei Kanäle, Piezocontrollersystem E-500
-30 bis 1301403– / DMS / kapazitiv
Piezoverstärkermodul
Hohe Leistung, Piezocontrollersystem E-500
-30 bis 1302000, 100001– / DMS / kapazitiv
Piezoverstärkermodul
Hohe Leistung durch Energierückgewinnung, Piezocontroller-System E-500
-30 bis 13020001– / DMS / kapazitiv
Piezo-Ladungsverstärker
Verbessert die Linearität auch ohne Positionsregelung
-30 bis 130200011

Verstärker und Controller für PICA Stack/Power/Thru Aktoren

Piezoverstärker für >> PICA Aktoren bieten einen Spannungshub bis 1100 V, der unipolar oder bipolar zur Verfügung steht. Verstärker mit hohem Ausgangsstrom ermöglichen einen dynamischen Betrieb der Aktoren und präzise Positionierung mit geringerem Leistungsbedarf.

Spannungsbereich [V]Spitzenstrom [mA]KanäleSensor
PICA-Höchstleistungs-Piezoverstärker / Servocontroller
2000 W und hohe Effizienz durch Energierückgewinnung
0 bis ±110020001– / DMS / kapazitiv
PICA Hochleistungs-Piezoverstärker / Servocontroller
Hohe Effizienz durch Energierückgewinnung
0 bis ±110060001– / DMS / kapazitiv
PICA Controller
Modularer Hochleistungs-Piezoverstärker / Controller
3 bis ±11005001, 2- / DMS / kapazitiv
PICA-Piezoverstärkermodul
Hochleistungsmodul mit 1100 V Spannungshub, Piezocontroller-System E-500
3 bis ±110050, 4001– / DMS / kapazitiv
PICA Piezoverstärker
Für Piezosysteme und Aktoren, bis zu drei Achsen
0 to 1100253
PICA Piezoverstärker
Kompaktes Tischgerät oder OEM-Modul
10 bis 10000,51
Technologie

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