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Übersicht

Einachsige Piezoscantische

Nanopositioniersysteme mit Stellwegen bis 1,5 mm

  • Hervorragende Präzision
  • Für dynamische Anwendungen
  • PICMA® Piezoaktoren für höchste Zuverlässigkeit
  • Optionale kapazitive Positionssensoren für Positioniergenauigkeit
    und Stabilität im Bereich einzelner Nanometer
  • Reibungs- und spielfreie Festkörperführungen (Flexures)
PI P-611.1

Anwendungen

Piezoaktorische Lineartische von PI vereinen nanometergenaue Auflösung und Führungspräzision mit minimalem Übersprechen. Daher sind sie besonders geeignet für Referenzanwendungen in der Messtechnik, für mikroskopische Verfahren, für die Interferometrie oder in Inspektionssystemen für die Halbleiterchip-Herstellung.

Dynamisch

Hochdynamische lineare Positionierer

  • Hervorragende Ablaufgenauigkeit durch Festkörperführungen
  • Hohe Steifigkeit und Dynamik durch direkte Kraftübertragung
  • Sub-Nanometer-Auflösung, Stellwege bis 100 µm
Klasse*Stellweg [µm]Auflösung [nm]Resonanzfrequenz [Hz]Sensor
Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem
1 Achse mit großer Apertur
AAA800,21200Kapazitiv
Piezo-Nanopositioniersystem
Hochlast-Nanopositioniersysteme mit Piezoantrieb und Direktmetrologie
AAA750,4600Kapazitiv (optional)
Hochpräziser Nanopositioniertisch
Hochdynamischer und stabiler Piezoscanner mit extremer Führungsgenauigkeit
AAA300,13200Kapazitiv
LISA Linearaktor und Positioniertisch
Dynamisch und positionsstabil
AAA380,055600Kapazitiv
Linearer Piezoscanner
Kompaktes OEM-System
A4021550DMS
Modular

Modulare Piezosysteme für 1 bis 3 Achsen

  • Nanocube®: Kostengünstig bis 3 Achsen positionieren
  • PIHera: Flexible Stellwege bis 1,5 mm

Klasse*Stellweg [µm]Auflösung [nm]Resonanzfrequenz [Hz]Sensor
PIHera Linearer Präzisionspositionierer
Variabel in Stellweg und Achskonfiguration
AAA50 bis 15000,2 bis 31100 bis 125Kapazitiv
Lineares Piezopositioniersystem
Kompaktes und preisgünstiges Linearsystem
AA1002400SGS
*   AAA   Referenzklasse
  AA Präzisionsklasse
  A Standardklasse
Technologie

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