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Q-522 Q-Motion® Miniatur Linearversteller

Piezomotoren für kleine Abmessungen, hohe Auflösung und günstigen Preis

PI Q-522
    • Nur 22 mm breit und 10 mm hoch
    • Direkte Positionsmessung mit inkrementellem Encoder mit bis zu 1 nm Auflösung (optional)
    • Bis zu 2 nm kleinste Schrittweite
    • XY-Montage ohne Adapter
    • Rotationsversteller Q-622 ohne Adapter montierbar
    • Geeignet für Vakuum bis 10-6 hPa, Versionen bis 10-9 hPa verfügbar

Mikrostelltisch der Präzisionsklasse

Q-Motion®-Versteller zeichnen sich durch extrem kleine Bauform und hohe Positionsauflösung im Nanometerbereich aus. Das piezomotrische Antriebsprinzip und dessen elektrische Ansteuerung ist preisgünstig und kann kundenspezifisch ausgelegt werden

PIShift Piezo-Trägheitsantriebe

Selbsthemmend im Ruhezustand, dadurch keine Wärmeentwicklung, kein Servozittern. Geschwindigkeit bis 10 mm/s. 1 N Haltekraft, 1 N Vortriebskraft

Direktes Messprinzip

Versionen mit berührungslos messendem optischen Linearencoder verfügbar. Auflösung versionsabhängig 4 nm oder 1 nm. Versionen mit Encoder besitzen einen Referenzschalter

Vakuum und nichtmagnetische Umgebung

Alle Q-Motion®-Versteller sind für den Betrieb im Hochvakuum bis 10-6 hPa geeignet. Darüber hinaus sind Ultrahochvakuum-Varianten für 10-9 hPa verfügbar. Auf Anfrage sind nichtmagnetische Versionen verfügbar

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Für Messtechnik, Mikroskopie, Mikromanipulation, Biotechnologie und Automatisierung

Spezifikationen

Vorläufige
Daten

Q-522.030

Q-522.040 /
Q-522.04U

Q-522.130

Q-522.140 /
Q-522.14U

Q-522.230

Q-522.240 /
Q-522.24U

Q-522.x00 /
Q-522.x0U

Einheit

Bewegung
und
Positionieren

6,5 mm Stellweg, Auflösung
4 nm

6,5 mm Stellweg, Auflösung
1 nm,

UHV-Version
Q-522.04U

13 mm Stellweg, Auflösung
4 nm

13 mm Stellweg, Auflösung
1 nm,

UHV-Version
Q-522.14U

26 mm Stellweg, Auflösung
4 nm

26 mm Stellweg, Auflösung
1 nm,

UHV-Version
Q-522.24U

6,5 mm bis 26 mm Stellweg, ungeregelt, UHV-Versionen
Q-522.x0U

Aktive Achse

X

X

X

X

X

X

X

Stellweg

6,5

6,5

13

13

26

26

6,5 bis 26

mm

Integrierter
Sensor

Linear-
encoder

Linear-
encoder

Linear-
encoder

Linear-
encoder

Linear-
encoder

Linear-
encoder

-

Sensor-
auflösung

4

1

4

1

4

1

-

nm

Kleinste
Schrittweite

8

2

8

2

8

2

-

nm

Unidirektionale Wiederhol-
genauigkeit
über den
kompletten
Stellweg

25

25

25

25

30

30

-

nm

Bidirektionale Wiederhol-
genauigkeit
über den
kompletten
Stellweg

40

40

40

40

50

50

-

nm

Unidirektionale Wiederhol-
genauigkeit
über 100 µm Stellweg

12

12

12

12

12

12

-

Bidirektionale Wiederhol-
genauigkeit
über 100 µm
Stellweg

24

24

24

24

24

24

-

nm

Neigen / Gieren
über den
vollen
Stellweg

100

100

100

100

100

100

100

µrad

Neigen / Gieren
über 100 µm
Stellweg

1

1

1

1

1

1

1

µrad

Maximale Geschwindigkeit*

10

10

10

10

10

10

10

mm/s

Mechanische
Eigenschaften

Belastbarkeit

10

10

10

10

10

10

10

N

Druck- / Zugkraft

1

1

1

1

1

1

1

N

Länge

22

22

32

32

42

42

22 bis 42

mm

Breite

32

32

32

32

32

32

22

mm

Höhe

10

10

10

10

10

10

10

mm

Antriebs-
eigenschaften

Motortyp

Piezo-
elektrischer Trägheit-
santrieb

Piezo-
elektrischer Trägheit-
santrieb

Piezo-
elektrischer Trägheit-
santrieb

Piezo-
elektrischer Trägheit-
santrieb

Piezo-
elektrischer Trägheit-
santrieb

Piezo-
elektrischer Trägheit-
santrieb

Piezo-
elektrischer Trägheit-
santrieb

Anschlüsse und
Umgebung

Betriebs-
temperatur-
bereich

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Masse, inkl. Verkabelung

107

107

118

118

128

128

68 bis 88

g

Kabellänge

1

1

1

1

1

1

1

m

Stecker

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

Empfohlener Controller

E-871, E-873

E-871, E-873

E-871, E-873

E-871, E-873

E-871, E-873

E-871, E-873

E-870

* Typische Geschwindigkeit bei einer Ansteuerfrequenz von 20 kHz
Die Verstellerserie Q-522 ersetzt die Serie LPS-22.

Zeichnungen / Bilder

PI Q-522 PI Q-522.14U PI PIShift Piezomotor Stages PI Multi-Axis Combination PI Q-522.000 Drawing PI Q-522.040 Drawing PI Q-522.100 Drawing PI Q-522.140 Drawing PI Q-522.200 Drawing PI Q-522.240 Drawing

Bestellinformation

Q-522.000Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 6,5 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 22 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Q-522.00UQ-Motion Miniatur-Linearversteller, 6,5 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 22 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

Q-522.030Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 6,5 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 22 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Q-522.040Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 6,5 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 22 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Q-522.04UQ-Motion Miniatur-Linearversteller, 6,5 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 22 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

Q-522.100Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 13 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Q-522.10UQ-Motion Miniatur-Linearversteller, 13 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

Q-522.130Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 13 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Q-522.140Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 13 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Q-522.14UQ-Motion Miniatur-Linearversteller, 13 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

Q-522.200Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 26 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Q-522.20UQ-Motion Miniatur-Linearversteller, 26 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 22 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

Q-522.230Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 26 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 32 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Q-522.240Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 26 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- /Zugkraft, Abmessungen 32 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb

Q-522.24UQ-Motion Miniatur-Linearversteller, 26 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- /Zugkraft, Abmessungen 32 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

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Controller / Treiber / Verstärker

Zubehör

  • PI Q-122.000
    Q-122 Adapterwinkel für die vertikale Montage von Q-522 Miniatur-Linearverstellern mit 6,5 bis 26 mm Stellweg
  • Q-101.AP1 Adapterplatte Für Q-Motion® Versteller auf Breadboards mit 25-mm- oder 1-Zoll-Raster

Verwandte Produkte

Technologie

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch MP134D
Q-522 Q-Motion Miniatur-Linearversteller, piezoelektrischer Trägheitsantrieb
PDF 1.8 M 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png Kurzanleitung / Short Instructions MP139EK
Q-5xx, Q-6xx PIShift Versteller / PIShift Stages
PDF 1.1 M 2.0.0 DE / EN
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt Q-522
Q-Motion Miniatur Linearversteller Piezomotoren für kleine Abmessungen, hohe Auflösung und günstigen Preis
PDF 1.4 M
fileadmin/images/filelist/zip.png PI miCos Press Release Products Q-522 Q-622
ZIP 6.1 M
fileadmin/images/filelist/zip.png Q-522 STEP
ZIP 4.8 M