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Q-521 Q-Motion Miniatur Linearversteller

Kleinster Linearversteller mit Positionsregelung, hoher Auflösung und günstigem Preis

PI Q-521
    • Nur 21 mm breit und 10 mm hoch
    • Direkte Positionsmessung mit integriertem inkrementellen Encoder, bis 1 nm Auflösung (optional)
    • Bis zu 1 nm Encoderauflösung
    • Bis zu 2 nm kleinste Schrittweite
    • XY-Montage
    • Geschwindigkeit 10 mm/s
    • Geeignet für Vakuum bis 10-6 hPa, Versionen bis 10-9 hPa verfügbar

Mikrostelltisch der Präzisionsklasse

Q-Motion-Versteller zeichnen sich durch extrem kleine Bauform und hohe Positionsauflösung im Nanometerbereich aus. Das piezomotrische Antriebsprinzip und dessen elektrische Ansteuerung ist preisgünstig und kann kundenspezifisch ausgelegt werden

PIShift Piezo-Trägheitsantriebe

Selbsthemmend im Ruhezustand, dadurch keine Wärmeentwicklung, kein Servozittern. Geschwindigkeit bis 10 mm/s. 1 N Haltekraft, 1 N Vortriebskraft

Direktes Messprinzip

Versionen mit berührungslos messendem optischen Linearencoder verfügbar. Auflösung versionsabhängig 4 nm oder 1 nm. Versionen mit Encoder besitzen einen Referenzschalter

Vakuum und nichtmagnetische Umgebung

Alle Q-Motion-Versteller sind für den Betrieb im Hochvakuum bis 10-6 hPa geeignet. Darüber hinaus sind Ultrahochvakuum-Varianten für 10-9 hPa verfügbar. Auf Anfrage sind nichtmagnetische Versionen verfügbar

Einsatzgebiete

Industrie und Forschung. Für Messtechnik, Mikroskopie, Mikromanipulation, Biotechnologie und Automatisierung

Spezifikationen

Vorläufige
Daten

Q-521.130

Q-521.140/
Q-521.14U

Q-521.230

Q-521.240/
Q-521.24U

Q-521.330

Q-521.340/
Q-521.34U

Q-521.x00/
Q-521.x0U

Einheit

Bewegung
und Positionieren

12 mm Stellweg,
Auflösung 4 nm

12 mm Stellweg,
Auflösung 1 nm,

UHV-Version
Q-521.14U

22 mm Stellweg, Auflösung 4 nm

22 mm Stellweg,
Auflösung 1 nm,

UHV-Version
Q-521.24U

32 mm Stellweg,
Auflösung 4 nm

32 mm Stellweg,
Auflösung 1 nm,

UHV-Version
Q-521.34U

12 mm bis 32 mm
Stellweg, ungeregelt,
UHV-Versionen
Q-521.x0U

Aktive Achse

X

X

X

X

X

X

X

Stellweg

12

12

22

22

32

32

12 bis 32

mm

Integrierter
Sensor

Linear-
encoder

Linear-
encoder

Linear-
encoder

Linear-
encoder

Linear-
encoder

Linear-
encoder

-

Sensor-
auflösung

4

1

4

1

4

1

-

nm

Kleinste
Schrittweite

8

2

8

2

8

2

-

nm

Unidirektionale
Wiederhol-
genauigkeit
über den
kompletten
Stellweg

25

25

25

25

30

30

-

nm

Bidirektionale
Wiederhol-
genauigkeit
über den
kompletten
Stellweg

40

40

40

40

50

50

-

nm

Unidirektionale
Wiederhol-
genauigkeit
über 100 µm
Stellweg

12

12

12

12

12

12

-

Bidirektionale
Wiederhol-
genauigkeit
über 100 µm
Stellweg

24

24

24

24

24

24

-

nm

Neigen / Gieren 
über den
vollen Stellweg

100

100

100

100

100

100

100

µrad

Neigen / Gieren
über
100 µm Stellweg

1

1

1

1

1

1

1

µrad

Maximale
Geschwindigkeit*

10

10

10

10

10

10

10

mm/s

Mechanische
Eigenschaften

Belastbarkeit

10

10

10

10

10

10

10

N

Druck- / Zugkraft

1

1

1

1

1

1

1

N

Länge

30

30

32,2

32,2

42,2

42,2

30 bis 42,2

mm

Breite

21

21

21

21

21

21

21

mm

Höhe

10

10

10

10

10

10

10

mm

Antriebs-
eigenschaften

Motortyp

Piezo-
elektrischer
Trägheits-
antrieb

Piezo-
elektrischer
Trägheits-
antrieb

Piezo-
elektrischer
Trägheits-
antrieb

Piezo-
elektrischer
Trägheits-
antrieb

Piezo-
elektrischer
Trägheits-
antrieb

Piezo-
elektrischer
Trägheits-
antrieb

Piezo-
elektrischer
Trägheits-
antrieb

Anschlüsse
und
Umgebung

Betriebs-
temperatur
bereich

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

0 bis 40

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Kabellänge

1

1

1

1

1

1

1

m

Stecker

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

D-Sub

Empfohlener Controller

E-871,
E-873

E-871,
E-873

E-871,
E-873

E-871,
E-873

E-871,
E-873

E-871,
E-873

E-870

* Typische Geschwindigkeit bei einer Ansteuerfrequenz von 20 kHz

Zeichnungen / Bilder

PI Q-51.140 Drawing PI Q-521.240 Drawing PI Q-51.340 Drawing

Bestellinformation

Q-521.100Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 12 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb,
1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb,
vakuumkompatibel bis 10-6 hPa

Q-521.130Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa

Q-521.140Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa

Q-521.14UQ-Motion Miniatur-Linearversteller, 12 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 30 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

Q-521.200Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 22 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb,
1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb,
vakuumkompatibel bis 10-6 hPa

Q-521.230Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa

Q-521.240Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- /Zugkraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa

Q-521.24UQ-Motion Miniatur-Linearversteller, 22 mm Stellweg, Linearencoder, 1 nm Auflösung, 1 N Druck- /Zugkraft, Abmessungen 21 × 32 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

Q-521.300Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 32 mm Stellweg, ohne Positionssensor für ungeregelten Betrieb,
1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb,
vakuumkompatibel bis 10-6 hPa

Q-521.330Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa

Q-521.340Q-Motion Miniatur-Linearversteller, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- /Zugkraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-6 hPa

Q-521.34UQ-Motion Miniatur-Linearversteller, 32 mm Stellweg, Linearencoder, 4 nm Auflösung, 1 N Druck- /Zugkraft, Abmessungen 21 × 42 × 10 mm (B × L × H), piezoelektrischer Trägheitsantrieb, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

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Q-Motion Miniatur Linearversteller, kleinster Linearversteller mit Positionsregelung, hoher Auflösung und günstigem Preis
PDF 854 K
fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch MP145D
Q-521 Q-Motion Miniatur-Linearversteller, piezoelektrischer Trägheitsantrieb
PDF 2.6 M 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/zip.png PI miCos Press Release Q-521
ZIP 3.6 M
fileadmin/images/filelist/zip.png Q-521 STEP
ZIP 1.6 M 2016-01-25