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P-763 Kompaktes XY-Nanopositioniersystem

Mit freier Apertur

PI P-763
    • Stellweg 200 µm
    • Hohe Positionsstabilität und -auflösung durch kapazitive Sensoren
    • Kleiner Formfaktor mit 70 mm Seitenlänge
    • Große Apertur 30 mm × 30 mm

Nanopositioniersystem der Präzisionsklasse

2 Achsen, serielle Kinematik. Reibungsfreie Festkörpergelenke mit mechanischer Hebelübersetzung. Kapazitive Positionssensoren für bestmögliche Stabilität und Linearität

PICMA® Hochleistungsantrieb

Piezokeramische Aktoren mit vollkeramischer Isolation. Höhere Lebensdauer, unempfindlich gegen Feuchtigkeit und Betriebstemperaturen bis 80 °C

Einsatzgebiete

Probenmanipulation, Probenpositionierung in Forschung und Industrie, auch für Durchlichtanwendungen geeignet

Spezifikationen

P-763.22C

Einheit

Aktive Achsen

X, Y

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitive Sensoren

Stellweg in X, Y, geregelt

200

µm

Auflösung in X, Y, ungeregelt

1

nm

Auflösung in X, Y, geregelt

2

nm

Linearitätsabweichung in X, Y

0,02

%

Wiederholgenauigkeit in X, Y

±5

nm

Mechanische Eigenschaften

Resonanzfrequenz belastet in X

180 Hz (260g)

Hz

Belastbarkeit

10

N

Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA® P-887

Elektrische Kapazität in X, Y

12,8

µF

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium, Stahl

Abmessungen

70 mm × 70 mm × 25 mm

Apertur

30 mm × 30 mm

Kabellänge

1,5

m

Anschluss

Jeweils 1× D-Sub Mix 1-kanalig für X und Y

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI P-763 Drawing

Bestellinformation

P-763.22CKompaktes XY-Nanopositioniersystem mit freier Apertur, 200 µm × 200 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren


Sonderausführungen auf Anfrage.

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Controller / Treiber / Verstärker

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch PZ258D
P-763.22C Kompaktes XY-Nanopositioniersystem mit freier Apertur
PDF 704 K 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt P-763
Kompaktes XY-Nanopositioniersystem mit freier Apertur
PDF 752 K
fileadmin/images/filelist/zip.png PI Press Release P-763
ZIP 257 K