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P-753 LISA Linearaktor und Positioniertisch

Dynamisch und positionsstabil

PI P-753.1CD
    • Geführter Stelltisch und Aktor zugleich
    • Stellweg bis 38 µm
    • Auflösung 0,05 nm
    • Besonders schnelles Ansprechverhalten durch Direktantrieb
    • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren

Spezifikationen

P-753.1CD

P-753.2CD

P-753.3CD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X

X

X

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg, geregelt

12

25

38

µm

Auflösung, ungeregelt / geregelt

0,05

0,1

0,2

nm

typ., voller Stellweg

Linearitätsabweichung, geregelt

0,03

0,03

0,03

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

±1

±2

±3

nm

typ.

Neigen / Gieren

±5

±7

±10

µrad

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

45

24

16

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz, unbelastet

5,6

3,7

2,9

kHz

±20 %

Resonanzfrequenz, belastet, 200 g

2,5

1,7

1,4

kHz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

100 / 20

100 / 20

100 / 20

N

max.

Tragfähigkeit (vertikaler / horizontaler Betrieb)

10 / 2

10 / 2

10 / 2

kg

max.

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

1,5

3,1

4,6

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

12

15

15

µA / (Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Stahl

Stahl

Stahl

Abmessungen

44 mm × 30 mm × 15 mm

62 mm × 30 mm × 15 mm

80 mm × 30 mm × 15 mm

Masse

0,16

0,215

0,26

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

D-Sub Spezial

Die Auflösung von PI Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Piezoverstärkermodul
Versionen mit LEMO-Stecker sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.x1C.
Vakuumversionen bis 10-9 hPa sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.xUD.
Nichtmagnetische Versionen sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.xND.

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI P-753.1 Drawing PI P-753.2 Drawing PI P-753.3 Drawing

Bestellinformation

Versionen mit D-Sub-Stecker

P-753.1CDLISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 12 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

P-753.2CDLISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 25 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

P-753.3CDLISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 38 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

 

Versionen mit LEMO-Stecker

P-753.11CLISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 12 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

P-753.21CLISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 25 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

P-753.31CLISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 38 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

 

Vakuumversionen

P-753.1UDLISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 12 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-753.2UDLISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 25 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-753.3UDLISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 38 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa


Nichtmagnetische Versionen sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.xND.

Sonderausführungen auf Anfrage.

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Verwandte Produkte

Fachartikel und Links

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fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch PZ254D
P-753 LISA Hochdynamische Piezo-Nanopositioniersysteme
PDF 891 K 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt P-753
LISA Linearaktor und Positioniertisch dynamisch und positionsstabil
PDF 840 K
fileadmin/images/filelist/zip.png P-753 STEP
ZIP 415 K