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P-752 Hochpräziser Nanopositioniertisch

Hochdynamischer und stabiler Piezoscanner mit extremer Führungsgenauigkeit

PI P-752
    • Auflösung 0,1 nm
    • Schnelles Ansprechverhalten
    • Stellweg bis 35 µm
    • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
    • Reibungsfreie Festkörperführungen für sehr hohe Ablaufgenauigkeit
    • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Spezifikationen

P-752.11C

P-752.1CD

P-752.21C

P-752.2CD

Einheiten

Toleranz

Aktive Achsen

X

X

X

X

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei -20 bis +120V, ungeregelt

20

20

35

35

µm

min. (20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

15

15

30

30

µm

Auflösung, ungeregelt / geregelt

0,1

0,1

0,2

0,2

nm

typ.

Linearitätsabweichung, geregelt

0,03

0,03

0,03

0,03

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

±1

±1

±2

±2

nm

typ., voller Stellweg

Neigen / Gieren

±1

±1

±1

±1

µrad

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

30

30

20

20

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet

3200

3200

2100

2100

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet, 300 g

980

980

600

600

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

100 / 10

100 / 10

100 / 10

100 / 10

N

max.

Belastbarkeit

30

30

30

30

N

max.

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

2,1

2,1

3,7

3,7

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

17

17

15

15

µA/(Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Stahl

Stahl

Stahl

Stahl

Abmessungen

66 mm × 40 mm × 13,5 mm

66 mm × 40 mm × 13,5 mm

84 mm × 40 mm × 13,5 mm

84 mm × 40 mm × 13,5 mm

Masse

0,25

0,25

0,35

0,35

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

LEMO

D-Sub Spezial

LEMO

D-Sub Spezial

Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker

Empfohlene Controller / Verstärker

LEMO-Stecker: E-500 Controllersystem mit E-505 Hochleistungsverstärker und E-509 Servomodul
D-Sub Spezialstecker: E-610 OEM Controller; E-625 Controller Tischgerät; E-665 Leistungsstarker Controller Tischgerät, E-753 Digitalcontroller

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI P-752.2xx Drawing PI P-752.1xx Drawing PI P-752.11C Diagramm PI P-752.11C Diagramm

Bestellinformation

P-752.11CHochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 15 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

P-752.1CDHochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 15 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker

P-752.21CHochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 30 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker

P-752.2CDHochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 30 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker


Sonderausführungen auf Anfrage.

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Hochpräziser Nanopositioniertisch hochdynamischer und stabiler Piezoscanner mit extremer Führungsgenauigkeit
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