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P-750 Piezo-Nanopositioniersystem

Hochlast-Nanopositioniersysteme mit Piezoantrieb und Direktmetrologie

PI P-750
    • Führungsgenauigkeit 1 nm
    • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
    • Belastbarkeit bis 10 kg
    • Auflösung <1 nm
    • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren für höchste Genauigkeit
    • Kurze Ansprechzeit durch Direktantrieb
    • Stellweg 75 µm
    • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Spezifikationen

Stellweg geregelt / ungeregelt

Auflösung geregelt / ungeregelt

Belastbarkeit

Verkippung ΘX, ΘY

Resonanzfrequenz (unbelastet)

P-750.00

– / 75 µm

– / 0,4 nm

100 N

±10 µrad

600 Hz

P-750.20 mit Kapazitivsensor

75 µm / 75 µm

1 nm / 0,4 nm

100 N

±10 µrad

600 Hz

* Dynamischer Stromkoeffizient in μA pro Hertz und μm. Beispiel: Sinusbetrieb mit 30 μm bei 10 Hz erfordert ungefähr 3,8 mA Strom.
** Die Auflösung von PI Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker.

Zeichnungen / Bilder

PI P-750 Drawing

Bestellinformation

P-750.00Hochlast-Nanopositioniersystem, 75 µm Stellweg

P-750.20Hochlast-Nanopositioniersystem, 75 µm Stellweg, kapazitiver Sensor, Direktmetrologie


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Controller / Treiber / Verstärker

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Piezo-Nanopositioniersystem Hochlast-Nanopositioniersysteme mit Piezoantrieb und Direktmetrologie
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