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P-630 Hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem

1 Achse mit großer Apertur

PI P-630
    • Resonanzfrequenz bis 3,25 kHz
    • Stellwege bis 80 µm
    • Schmale und flache Bauform
    • Apertur mit 30 mm Durchmesser

Nanopositionierer der Referenzklasse

1 Achse. Reibungsfreie Festkörpergelenke, direkt getrieben. Kapazitiver Positionssensor für bestmögliche Stabilität und Linearität

PICMA® Hochleistungsantrieb

Piezokeramische Aktoren mit vollkeramischer Isolation. Höhere Lebensdauer, unempfindlich gegen Feuchtigkeit und Betriebstemperaturen bis 80 °C

Einsatzgebiete

Präzisionspositionierung in Industrie und Forschung von optischen Elementen oder Objekten im Strahlengang, Mikrofertigung und -strukturierung, Scanningaufgaben. Vakuumoption möglich

Spezifikationen

P-630.XCD

P-631.XCD

Einheit

Aktive Achsen

X

X

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt

45

90

µm

Stellweg, geregelt

40

80

µm

Auflösung, ungeregelt

0,1

0,1

nm

Auflösung, geregelt

0,2

0,2

nm

Linearitätsabweichung, geregelt

0,02

0,02

%

Wiederholgenauigkeit über den gesamten Stellweg

±2

±3

nm

Neigen / Gieren

±5

±5

µrad

Geradheit / Ebenheit

50

50

nm

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in Stellrichtung

5,5

5

N / µm

Resonanzfrequenz, unbelastet

3250

2850

Hz

Resonanzfrequenz, belastet, 60 g

1600

1200

Hz

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

10

10

N

Belastbarkeit

10

10

N

Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA® P-887

PICMA® P-885; P-887

Elektrische Kapazität

6,4

12,6

µF

Dynamischer Stromkoeffizient

20

20

µA / Hz × µm

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

0 bis 40

0 bis 40

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Abmessungen

102 mm × 50 mm × 18 mm

102 mm × 50 mm × 18 mm

Masse

300

320

g

Kabellänge

1,5

1,5

m

Sensor- / Spannungsanschluss

D-Sub Spezialstecker (einachsig, kapazitiv)

D-Sub Spezialstecker (einachsig, kapazitiv)

Empfohlene Controller / Verstärker

E-709.CRpreisgünstiger Digitalcontroller

E-709.CHG Digitalcontroller für hohe Dynamik und schnelles Einschwingen

E-753.1CDDigitalcontroller für hohe Auflösung und Linearität

E-709.CRpreisgünstiger Digitalcontroller

E-709.CHG Digitalcontroller für hohe Dynamik und schnelles Einschwingen

E-753.1CDDigitalcontroller für hohe Auflösung und Linearität

Zeichnungen / Bilder

PI P-630 Drawing PI P-630 Diagramm PI P-630 Diagramm

Bestellinformation

P-630.XCDLineares Piezo-Nanopositioniersystem mit Apertur, 40 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor

P-631.XCDLineares Piezo-Nanopositioniersystem mit Apertur, 80 µm, Direktmetrologie, kapazitiver Sensor


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Controller / Treiber / Verstärker

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Downloads

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P-630, P-631 Piezo-Nanopositioniersysteme mit Apertur und kapazitivem Sensor
PDF 683 K 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png Kurzanleitung / Short Instructions PZ240EKDK
P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme / Piezo Positioning Systems
PDF 984 K 3.0.0 DE / EN
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