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P-620.2 – P-629.2 PIHera Piezokreuztisch

Hochpräziser XY-Nanopositionierer mit variablen Stellwegen

PI P-621.2
    • Stellwege 50 bis 1800 µm
    • Auflösung bis 0,1 nm
    • Positioniergenauigkeit 0,02 %
    • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
    • X-, XY-, Z-, XYZ-Versionen

Spezifikationen

P-620.2CD
P-620.2CL

P-621.2CD
P-621.2CL

P-622.2CD
P-622.2CL

P-625.2CD
P-625.2CL

P-628.2CD
P-628.2CL

P-629.2CD
P-629.2CL

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

X, Y

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Kapazitiv

Stellweg in X, Y bei -20 bis 120 V, ungeregelt

60

120

300

600

950

1800

µm

min. (20 % / -0 %)

Stellweg in X, Y, geregelt

50

100

250

500

800

1500

µm

Auflösung in X, Y, ungeregelt

0,1

0,2

0,4

0,5

0,5

2

nm

typ.

Auflösung in X, Y, geregelt

0,2

0,4

0,7

1,4

3,5

3,5

nm

typ.

Linearitätsabweichung in X, Y

0,02

0,02

0,02

0,03

0,03*

0,03**

%

typ.

Wiederholgenauigkeit in X, Y

±2

±2

±2

±5

±10

±14

nm

typ.

Neigen / Gieren

±3

±3

±3

±3 / ±5

±20 / ±5

±30 / ±5

µrad

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit in X,Y

0,22

0,25

0,2

0,1

0,05

0,1

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz in X, unbelastet

575

420

225

135

75

60

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz in Y, unbelastet

800

535

300

195

105

100

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz in X, belastet, 50 g

270

285

180

120

60

55

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz in Y, belastet, 50 g

395

365

215

150

85

85

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz in X, belastet,100 g

285

220

160

105

55

50

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz in Y, belastet, 100 g

300

285

175

125

75

80

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

10 / 5

10 / 8

10 / 8

10 / 8

10 / 8

10 / 8

N

max.

Belastbarkeit

10

10

10

10

10

10

N

max.

Querbelastbarkeit

10

10

10

10

10

10

N

max.

Antriebseigenschaften

Piezokeramik

PICMA®
P-883

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-887

PICMA®
P-888

Elektrische Kapazität in X, Y

0,35

1,5

3,1

6,2

19

52

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient in X, Y

0,9

1,9

1,9

1,6

3

4,3

µA / (Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Abmessungen

30 mm × 30 mm × 21,5 mm

40 mm × 40 mm × 25 mm

50 mm × 50 mm × 25 mm

60 mm × 60 mm × 25 mm

80 mm × 80 mm × 25 mm

100 mm × 100 mm × 40 mm

Masse

0,195

0,295

0,348

0,43

0,7

1,37

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

CD-Versionen: D-Sub Spezial

CL-Versionen: LEMO

X: untere Achse; Y: obere Achse.
Versionen ohne Sensor sind unter den Bestellnummern P-62x.20L erhältlich; Betriebstemperaturbereich -20 bis 150 °C. Spannungsanschluss LEMO.
Vakuumversionen bis 10-9 hPa sind unter den Bestellnummern P-62x.2UD erhältlich.
Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Rauschen mit Digitalcontroller E-710.
* Mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,05 %.
** Mit Digitalcontroller. Mit analogen Controllern 0,08 %.

Empfohlene Controller / Verstärker für CD-Versionen

E-610 Controller / Verstärker, E-625 Controller (Tischgerät), E-665 Leistungsstarker Controller (Tischgerät), E-712 Digitaler Piezocontroller (modular), E-725 Mehrkanaliger Digitalcontroller (Tischgerät), E-761 Digitaler Piezocontroller (PCI-Karte).

Empfohlener Controller / Verstärker für CL-Versionen

E-500 Modulares Piezocontrollersystem mit Verstärkermodul E-505 (1 je Achse, hohe Leistung) und Regler E-509.

Empfohlener Controller / Verstärker für 0L-Versionen (ungeregelt)

E-500 Modulares Piezocontrollersystem mit Verstärkermodul E-505 (1 je Achse, hohe Leistung).

Zeichnungen / Bilder

PI P-62x.2 Drawing

Bestellinformation

Versionen mit D-Sub-Stecker

P-620.2CDPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 50 µm × 50 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

P-621.2CDPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

P-622.2CDPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 250 µm × 250 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

P-625.2CDPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 500 µm × 500 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

P-628.2CDPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 800 µm × 800 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

P-629.2CDPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 1500 µm × 1500 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker

 

Versionen mit LEMO-Stecker

P-620.2CLPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 50 µm × 50 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

P-621.2CLPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

P-622.2CLPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 250 µm × 250 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

P-625.2CLPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 500 µm × 500 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

P-628.2CLPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 800 µm × 800 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

P-629.2CLPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 1500 µm × 1500 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, LEMO-Stecker

 

PIHera Linearpositionierer ohne Positionssensor

P-621.20LPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 60 µm × 60 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

P-621.20LPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 120 µm × 120 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

P-622.20LPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 300 µm × 300 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

P-625.20LPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 600 µm × 600 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

P-628.20LPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 1000 µm × 1000 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

P-629.20LPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 1800 µm × 1800 µm, ohne Sensoren, LEMO-Stecker

 

PIHera Linearpositionierer vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-620.2UDPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 50 µm × 50 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-621.2UDPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-622.2UDPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 250 µm × 250 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-625.2UDPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 500 µm × 500 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-628.2UDPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 800 µm × 800 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

P-629.2UDPräzises PIHera XY-Nanopositioniersystem, 1500 µm × 1500 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10-9 hPa

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Verwandte Produkte

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PIHera Piezokreuztisch hochpräziser XY-Nanopositionierer mit variablen Stellwegen
PDF 872 K
fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch PZ234D
P-620, P-621, P-622, P-625, P-628, P-629 PIHera Piezotische mit kapazitiven Sensoren
PDF 1 M 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png Kurzanleitung / Short Instructions PZ240EKDK
P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme / Piezo Positioning Systems
PDF 984 K 3.0.0 DE / EN
fileadmin/images/filelist/zip.png P-62x.2 STEP
ZIP 1011 K
fileadmin/images/filelist/zip.png PI Press Release P-620 PIHera
ZIP 991 K