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P-611.Z Piezohubtisch

Kompakter Nanopositionierer

PI P-611.Z
    • Kompakt: Grundfläche 44 mm x 44 mm
    • Stellweg 100 µm
    • Auflösung bis 0,2 nm
    • Besonders kostengünstige Systeme
    • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
    • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
    • X-, XY-, XZ- und XYZ-Versionen

Spezifikationen

P-611.ZS

P-611.Z0

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

Z

Z

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

DMS

-

Stellweg bei -20 bis +120V, ungeregelt

120

120

µm

min. (20 % / -0 %)

Stellweg, geregelt

100

-

µm

Auflösung, ungeregelt

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung, geregelt

2

-

nm

typ.

Linearitätsabweichung

0,1

-

%

typ.

Wiederholgenauigkeit

<10

-

nm

typ.

Verkippung θZ (Bewegung in Z)

±5

±5

µrad

typ.

Verkippung θX (Bewegung in Z)

±20

±20

µrad

typ.

Verkippung θY (Bewegung in Z)

±5

±5

µrad

typ.

Mechanische Eigenschaften

Steifigkeit

0,45

0,45

N/µm

±20 %

Resonanzfrequenz unbelastet

460

460

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet, 30 g

375

375

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet, 100 g

265

265

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit

15 / 10

15 / 10

N

max.

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Elektrische Kapazität

1,5

1,5

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient

1,9

1,9

µA/(Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium, Stahl

Aluminium, Stahl

Abmessungen

44 mm × 44 mm × 27 mm

44 mm × 44 mm × 27 mm

Masse

176

176

g

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensoranschluss

LEMO

LEMO

Spannungsanschluss

LEMO

LEMO

Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker.

Systemeigenschaften

Systemkonfiguration: P-611.ZS und E-665.SR Controller mit 30g Last
Kleinsignalbandbreite: 40 Hz
Einschwingzeit (10 % Schrittweite): 25 ms

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI P-611.ZS Drawing PI P-611.Z Diagramm

Bestellinformation

P-611.Z0Nanopositionier-Hubtisch, 110 µm, ohne Sensor

P-611.ZSNanopositionier-Hubtisch, 100 µm, DMS-Sensor


Sonderausführungen auf Anfrage.

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Zubehör

Verwandte Produkte

Fachartikel und Links

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch PZ253
P-611 Nanopositioniersysteme mit DMS-Sensor / ohne Sensor
PDF 1.2 M 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png Technical Note P611T0006
Unpacking and Handling of P-611 Nanopositioning Systems
PDF 162 K 2014-07-29 EN
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt P-611.XZ • P-611.2
XZ- und XY-Nanopositionierer kompaktes zweiachsiges Piezosystem für die Nanopositionierung
PDF 794 K
fileadmin/images/filelist/zip.png P-611.Z STEP
ZIP 200 K