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P-587 6-Achsen-Piezopräzisionsversteller

Große Stellwege, mit direkter Positionsmessung

PI P-587
    • Zum Positionieren und Scannen in X, Y, Z, θX, θY, θZ
    • Linearstellweg 800 µm × 800 µm × 200 µm
    • Rotation bis 1 mrad
    • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
    • Kapazitive Sensoren für höchste Linearität
    • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
    • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
    • Aktive Kompensation in allen 6 Freiheitsgraden

Spezifikationen

P-587.6CD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y, Z, θX, θY, θZ

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Stellweg in X, Y, geregelt

800

µm

Stellweg in Z, geregelt

200

µm

Kippwinkel in θX, θY, geregelt

±0,5

mrad

Kippwinkel in θZ, geregelt

±0,5

mrad

Auflösung in X, Y, ungeregelt / geregelt

0,9 / 2,2

nm

typ.

Auflösung in Z, ungeregelt / geregelt

0,4 / 0,7

nm

typ.

Auflösung in θX, θY, ungeregelt / geregelt

0,05 / 0,1

µrad

typ.

Auflösung in θZ, ungeregelt / geregelt

0,1 / 0,3

µrad

typ.

Linearitätsabweichung in X, Y, Z

0,01

%

typ.

Linearitätsabweichung in θX, θY, θZ

0,1

%

typ.

Wiederholgenauigkeit in X, Y

±3

nm

typ.

Wiederholgenauigkeit in Z

±2

nm

typ.

Wiederholgenauigkeit in θX, θY

±0,1

µrad

typ.

Wiederholgenauigkeit in θZ

±0,15

µrad

typ.

Ebenheit

<15

nm

typ.

Steifigkeit in X / Y / Z

0,55 / 0,55 / 1,35

N / µm

Resonanzfrequenz unbelastet in X / Y / Z

103 / 103 / 235

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 500 g

88 / 88 / 175

Hz

±20 %

Resonanzfrequenz belastet in X / Y / Z, 2000 g

65 / 65 / 118

Hz

±20 %

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

50 / 10

N

max.

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA®

Elektrische Kapazität in X / Y / Z

81 / 81 / 18,4

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient (DSK) in X, Y, θZ

12,6

µA/(Hz × µm)

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient (DSK) in Z, θX, θY

11,5

µA/(Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Abmessungen

240 mm × 240 mm × 50 mm

Masse

7,2

kg

±5 %

Kabellänge

3,0

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

2 × D-Sub-Spezial

Empfohlene Controller / Verstärker

E-712.6CD Digitalcontroller

Der maximale Rotationswinkel in θZ beträgt 8 mrad, die Kippwinkel in X und Y betragen 3 mrad.
Aufgrund der Parallelkinematik ist in der Extremposition der Kippwinkel keine lineare Bewegung in X oder Y gleichzeitig möglich.

Zeichnungen / Bilder

PI P-587 Drawing

Bestellinformation

P-587.6CD6-Achsen Nanopositioniersystem mit großem Stellweg, 800 µm × 800 µm × 200 µm, ±0,5 mrad, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren

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Fachartikel und Links

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png Benutzerhandbuch PZ251D
P-587.6CD 6-Achsen-Nanopositioniersystem mit kapazitiven Sensoren
PDF 740 K 1.0.0 DE
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt P-587
6-Achsen-Piezopräzisionsversteller große Stellwege, mit direkter Positionsmessung
PDF 708 K