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P-562.6CD PIMars 6-Achsen-Piezosystem

Hochpräzises Nanopositioniersystem mit 6 Freiheitsgraden

PI Multi-Axis Piezo Scanner
    • 6 Bewegungsachsen: 3 × linear, 3 × Rotation
    • Stellwege bis 200 µm linear und bis 1 mrad Kippwinkel
    • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
    • Höchste Linearität durch integrierte kapazitive Sensoren
    • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
    • Exzellente Scan-Ebenheit
    • Freie Apertur 66 mm × 66 mm
    • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
    • UHV-kompatibel bis 10-9 hPa

Spezifikationen

P-562.6CD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X, Y, Z, θX, θY, θZ

Bewegung und Positionieren

Integrierter Sensor

Kapazitiv

Stellweg in X, Y, Z, geregelt

200

µm

Kippwinkel in θX, θY, θZ, geregelt

±0,5

mrad

Auflösung in X, Y, Z, geregelt

1

nm

typ.

Auflösung in θX, θY, θZ, geregelt

0,1

µrad

typ.

Linearitätsabweichung in X, Y, Z

0,01

%

typ.

Linearitätsabweichung in θX, θY, θZ

0,1

%

typ.

Wiederholgenauigkeit in X / Y / Z

±2 / ±2 / ±3

nm

typ.

Wiederholgenauigkeit in θX / θY / θZ

±0,1 / ±0,1 / ±0,15

µrad

typ.

Ebenheit

<15

nm

typ.

Resonanzfrequenz unbelastet in X / Y / Z

110 / 110 / 190

Hz

±20 %

Belastbarkeit

50

N

max.

Druck- / Zugbelastbarkeit in Stellrichtung

120 / 30

N

max.

Antriebseigenschaften

Keramiktyp

PICMA®

Elektrische Kapazität in X / Y / Z

7,4 / 7,4 / 14,8

µF

±20 %

Dynamischer Stromkoeffizient (DSK) in X / Y / Z

4,6 / 4,6 / 9,2

µA/(Hz × µm)

±20 %

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Masse

1,45

kg

±5 %

Kabellänge

1,5

m

±10 mm

Sensor- / Spannungsanschluss

2 × D-Sub-Spezial

Andere Stellwege auf Anfrage.

Empfohlene Controller

E-712.6CD Digitalcontroller

Zeichnungen / Bilder

PI P-562.6CD Drawing

Bestellinformation

P-562.6CDPIMars 6-Achsen Nanopositioniersystem, 200 µm, 1 mrad, Parallelmetrologie

Andere Stellwege auf Anfrage.

 

 

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PIMars 6-Achsen-Piezosystem hochpräzises Nanopositioniersystem mit 6 Freiheitsgraden
PDF 252 K
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