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P-541.Z Vertikaler Nanopositionierer

Große Apertur und flache Bauform

PI P-541.ZSL
    • Niedrige Bauhöhe für leichte Integration: 16,5 mm
    • Apertur 80 mm × 80 mm
    • Hub- und Kipptische
    • Stellweg 100 µm
    • Kippwinkel 1 mrad
    • Schnellere Ansprechzeiten und höhere Mehrachsengenauigkeit durch Parallelkinematik
    • Wahl der Sensorik: Hohe Performance oder preisgünstig
    • Überlegene Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
    • Kombination mit Mikroskopietischen möglich

Systemeigenschaften

Systemkonfiguration: P-541.ZCD und modulares E-500 System mit E-503 Verstärker und E-509.C1A Regler; 20 g Last
Kleinsignalbandbreite: 60 Hz
Einschwingzeit (10 % Schrittweite): 9 ms

Spezifikationen

P-541.ZCD

P-541.TCD*

P-541.ZSL

P-541.TSL*

P-541.Z0L

P-541.T0L*

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

Z

Z, θX, θY

Z

Z, θX, θY

Z

Z, θX, θY

Bewegung und
Positionieren

Integrierter
Sensor

Kapazitiv

Kapazitiv

DMS

DMS

Ungeregelt

Ungeregelt

Stellweg Z bei
-20 bis 120 V,
ungeregelt

150

150

150

150

150

150

µm

min. (20 % /
-0 %)

Kippwinkel θX, θY
bei -20 bis 120 V,
ungeregelt

±0,6

±0,6

±0,6

mrad

min. (20 % /
-0 %)

Stellweg Z,
geregelt

100

100

100

100

µm

Kippwinkel θX, θY,
geregelt

±0,4

-

±0,4

mrad

Auflösung Z,
ungeregelt

0,2

0,2

0,2

0,2

0,2

0,2

nm

typ.

Auflösung θX, θY,
ungeregelt

0,02

0,02

0,02

µrad

typ.

Auflösung Z,
geregelt

0,5

0,5

2,5

2,5

nm

typ.

Auflösung θX, θY,
geregelt

0,08

0,25

µrad

typ.

Linearitäts-
abweichung
Z, θX, θY

0,03

0,03

0,2

0,2

%

typ.

Wiederhol-
genauigkeit Z

<2

<2

<10

<10

nm

typ.

Wiederhol-
genauigkeit θX, θY

0,01

0,05

µrad

typ.

Verkippung θX, θY
(Bewegung in Z)

±15

±15

±15

±15

±15

±15

µrad

typ.

Mechanische
Eigenschaften

Steifigkeit Z

0,8

0,8

0,8

0,8

0,8

0,8

N/µm

±20 %

Resonanz-
frequenz Z,
unbelastet

410

410

410

410

410

410

Hz

±20 %

Resonanz-
frequenz θX, θY,
unbelastet

330

330

330

Hz

±20 %

Resonanz-
frequenz Z, 200 g

250

250

250

250

250

250

Hz

±20 %

Resonanz-
frequenz
θX, θY, 200 g

270

270

270

Hz

±20 %

Druck- / Zug-
belastbarkeit

50 / 20

50 / 20

50 / 20

50 / 20

50 / 20

50 / 20

N

max.

Antriebs-
eigenschaften

Keramiktyp

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

Elektrische
Kapazität

6,3

6,3

6,3

6,3

6,3

6,3

µF

±20 %

Dynamischer
Stromkoeffizient

7,9

7,9

7,9

7,9

7,9

7,9

µA /
(Hz ×
µm)

±20 %

Anschlüsse und
Umgebung

Betriebstemperatur-
bereich

20 bis 80

20 bis 80

20 bis 80

20 bis 80

20 bis 80

20 bis 80

°C

Material

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Aluminium

Masse

750

750

730

730

700

700

g

±5 %

Kabellänge

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

1,5

m

±10 mm

Sensoranschluss

D-Sub-Spezial

D-Sub-Spezial

LEMO

3 × LEMO

Spannungs-
anschluss

D-Sub-Spezial

D-Sub-Spezial

LEMO

3 × LEMO

LEMO

3 × LEMO

BestellNr und * checken (Mail SAr 9.1.2012)

* Parallelkinematisches Design; die maximalen Auslenkungen für die translatorische und die Kippbewegungen können nicht gleichzeitig erreicht werden.
Die Auflösung von PI Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angaben als Positionsrauschen mit E-710 bzw. E-503 Controller.

Empfohlene Controller / Verstärker

E-610 Piezoverstärker / Servocontroller, 1 Kanal
E-625 Piezoservocontroller, 1 Kanal
E-621 Piezoservocontroller, 1 Kanal
E-500 Modularer Piezocontroller mit E-503 Piezoverstärkermodul, 3 Kanäle
E-505 Piezoverstärkermodul (1 je Achse, hohe Leistung) mit E-509 Sensorauswertung / Regler
E-753 Digitaler Piezocontroller, 1 Kanal, Tischgerät
E-710 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle wurde abgelöst
E-725 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, Tischgerät
E-712 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, modular
E-761 Digitaler Piezocontroller, 3 Kanäle, PCI-Karte

Zeichnungen / Bilder

PI P-541.Z Drawing PI M-686.D64

Bestellinformation

P-541.ZCDNanopositionier-Hubtisch mit großer Apertur, 100 µm, Direktmetrologie, kapazitive Sensoren

P-541.TCDNanopositionier-Hub- und Kipptisch mit großer Apertur, 100 µm / 1 mrad, Parallelmetrologie, kapazitive Sensoren

P-541.ZSLNanopositionier-Hubtisch mit großer Apertur, 100 µm, DMS-Sensoren

P-541.TSLNanopositionier-Hub- und Kipptisch mit großer Apertur, 100 µm, DMS-Sensoren


Sonderausführungen auf Anfrage.

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fileadmin/images/filelist/pdf.png Kurzanleitung / Short Instructions PZ240EKDK
P-5xx, P-6xx, P-7xx Piezopositioniersysteme / Piezo Positioning Systems
PDF 984 K 3.0.0 DE / EN
fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt P-541.Z
Vertikaler Nanopositionierer große Apertur und flache Bauform
PDF 797 K
fileadmin/images/filelist/zip.png P-541.Z STEP
ZIP 704 K