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N-510KHFS Hochsteifer Z-Versteller mit NEXLINE® Piezoantrieb

Hochpräzise vertikale Positionierung, mit kapazitiven Sensoren

PI N-510KHFS
    • Auflösung in Regelung bis 2 nm
    • Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
    • Hybrider Piezoantrieb kombiniert hohe Steifigkeit, lange Stellwege und schnelles Ansprechen
    • Stellweg 400 µm grob, 40 µm fein
    • Direktmetrologie: Ein einziger Regelkreis mit kapazitiven Sensoren
    • Verschleißfreier Piezoschreitantrieb und überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren

Spezifikationen

Stellwege

Max.
Geschwindigkeit

Bidir. Wiederhol-
genauigkeit

Max.
Belastbarkeit

Abmessungen

N-510KHFS
Hybrid-Fokussiersystem

Grob: 400 µm
Fein: 40 µm

1 mm/s

50 nm (voller Stellweg)

2,5 kg

Ø außen: 300 mm
Höhe: 68,5 mm

 

 

Bestellinformation

Dieses Produkt ist eine Sonderentwicklung, die nicht in der Preisliste geführt wird. Wenn das Produkt auf Ihre spezifischen Anforderungen passt, kontaktieren Sie bitte PI. Wir würden gerne mit Ihnen zusammenarbeiten um eine Lösung zu finden.

N-510KHFSHybrid-Hubtisch, NEXLINE® und PICMA® Direktantriebe, 440 µm, 2 nm Auflösung

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Hochsteifer Z-Versteller mit NEXLINE® Piezoantrieb Hochpräzise vertikale Positionierung, mit kapazitiven Sensoren
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