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N-510KAWP Kraftvolle NEXLINE® Hub- und Kipp-Plattform

Nanometergenau für die Halbleiterindustrie, zur Waferjustage

PI N-510.00
    • Selbsthemmend im Ruhezustand, keine Wärmeentwicklung
    • Nichtmagnetische und Vakuumversionen möglich
    • Höhere Genauigkeit und Dynamik durch Parallelkinematik
    • Verschleißfreier NEXLINE® Piezoschreitantrieb
    • Belastbarkeit bis 200 N
    • Inkrementeller Sensor mit 5 nm Auflösung, picometergenauer Dithering-Modus

     

     

Spezifikationen

Stellwege

Max. Belastbarkeit

Abmessungen

N-510
NEXLINE® Hub- und Kipptisch

Z: 1,3 mm
θX, θY: 10 mrad

200 N

Ø 360 mm (14,2'')
Apertur: Ø 250 mm

Bestellinformation

Dieses Produkt ist eine Sonderentwicklung, die nicht in der Preisliste geführt wird. Wenn das Produkt auf Ihre spezifischen Anforderungen passt, kontaktieren Sie bitte PI. Wir würden gerne mit Ihnen zusammenarbeiten um eine Lösung zu finden.

N-510KAWPNEXLINE® Hub- und Kipptisch

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Kraftvolle NEXLINE® Hub- und Kipp-Plattform Nanometergenau für die Halbleiterindustrie, zur Waferjustage
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