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M-511.HD Nanogenauer Hochlast-Versteller

DC / Piezo-Präzisionshybridversteller für hohe Geschwindigkeit mit Auflösung 2 nm

PI M-511.HD
    • Parallele Regelung für Piezoantrieb und DC-Servomotor
    • Stellweg bis 100 mm
    • Höchstgeschwindigkeit 50 mm/s
    • Wiederholgenauigkeit im Nanometerbereich
    • Direktmetrologie: Linearencoder mit Auflösung 2 nm
    • Nanometergenaues Einschwingen auf die Position binnen weniger ms
    • Spielfreie Kugelumlaufspindel und reibungsfreier Piezoantrieb
    • Aktive Kompensation des Umkehrspiels und von Stick- / Slip-Effekten beim Anfahren
    • Hohe Geschwindigkeitskonstanz

Spezifikationen

M-511.HD

Einheit

Toleranz

Aktive Achsen

X

Bewegung und Positionieren

Stellweg

100

mm

Integrierter Sensor

Linearencoder

Sensorauflösung

0,002

µm

Rechnerische Auflösung

0,002

µm

Kleinste Schrittweite

0,004

µm

Hysterese auf Plattformebene

0,01

µm

Unidirektionale Wiederholgenauigkeit

0,01

µm

Genauigkeit

<0,05

µm

Neigen / Gieren

±25

µrad

Geradheit

1

µm

Ebenheit

1

µm

Geschwindigkeit

50

mm/s

max.

Referenzschalter Wiederholgenauigkeit

1

µm

Mechanische Eigenschaften

Spindel

Kugelumlaufspindel

Führung

Präzisionslager, Kugelumlaufschuhe

Spindelsteigung

2

mm/U

Belastbarkeit

200

N

max.

Druck- / Zugkraft

80 / 80

N

max.

Querkraft

200

N

max.

Antriebseigenschaften

Antriebstyp

Hybrid-Antrieb: DC-Motor mit Piezo

Motortyp

DC-Motor

Betriebsspannung Motor

24

V

Motorleistung

30

W

Piezoantrieb

PICMA® Multilayer- Piezo mit Festkörpergelenken

Piezospannung

±36

V

Referenz u. Endschalter

Hall-Effekt

Anschlüsse und Umgebung

Betriebstemperaturbereich

-20 bis 65

°C

Material

Aluminium eloxiert

Masse

5,1

kg

Empfohlene Controller / Treiber

C-702 Hybrid-Motorcontroller

Sonderausführungen auf Anfrage.

Zeichnungen / Bilder

PI M-511.HD Drawing PI M-511.HD Drawing PI M-511.HD Drawing

Bestellinformation

M-511.HDHochpräziser Hybrid-Versteller, 100 mm, 2 nm Auflösung

Sonderausführungen auf Anfrage.

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Controller / Treiber / Verstärker

Verwandte Produkte

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png User Manual MP84E
M-511.HD Ultra-High-Resolution Positioning Stage with Hybrid Drive
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