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E-852KOEM PISeca OEM Positionssensor

Kapazitiver Einelektrodensensor und Auswerteelektronik im Paket

PI E-852KOEM PISeca
    • Systemlösung für PISeca kapazitive Positionssensoren
    • Preisgünstig für OEM-Anwendung
    • 20 µm Messbereich und 3 kHz Bandbreite
    • Hervorragende Linearität durch integrierte Linearisierungsfunktion (ILS)

PISeca kapazitiver Sensor und Auswerteelektronik

Einelektrodensensor mit hervorragender Positionsauflösung und OEM-Elektronik mit festem Messbereich und Bandbreite. Minimiertes Rauschen, hervorragende Langzeitstabilität. Synchronisierung für Mehrkanalmessung

Messprinzip

Direkte, kontaktlose Messung der Istposition (Direktmetrologie). Messgröße ist die Kapazitätsänderung zwischen der Oberfläche des Sensors und einer leitenden Targetfläche im homogenen elektrischen Feld. Durch diese kontaktlose, reibungsfreie Messung werden Verschleiß und Hystereseeffekte ausgeschlossen und eine hohe Phasentreue erreicht

Kundenspezifische Anpassung von Sensor, Bandbreite und Messbereich

Der E-852KOEM kann in ähnlicher Ausführung mit allen D-510 PISeca Sensoren angeboten werden. Der Messbereich wird auf den gewählten PISeca Sensor abgestimmt und beträgt zwischen 20 und 500 µm. Die Bandbreite liegt zwischen 10 Hz für extrem genaue, besonders rauscharme Messungen mit höchster Auflösung im Sub-Nanometerbereich und 10 kHz für hochdynamische Messungen mit einer Auflösung im 1 nm-Bereich

Höchste Genauigkeit durch integriertes Linearisierungssystem (ILS)

Das ILS kompensiert die Einflüsse von Parallelitätsfehlern zwischen Sensor und Messoberfläche und sorgt für eine hervorragende Linearität mit weniger als 1% Abweichung

Einsatzgebiete

Halbleiterfertigung / Halbleiterindustrie, Datenspeicherung, Automobilindustrie, Metrologie / Messtechnik, Maschinenbau

Spezifikationen

E-852KOEM

Einheit

Funktion

PISeca kapazitiver Einelektrodensensor und Auswerteelektronik, OEM-Modul

Kanäle

1

Sensor

Sensortyp

D-510.021

Messbereich*

20

µm

Min. Messabstand

10

µm

Max. Messabstand

150

µm

Aktiver Sensordurchmesser

3,8

mm

Aktive Sensorfläche

11,2

mm2

Sensorbandbreite

3 10 / 1,1 / 0,3 / 0,1 / 0,01 (optional)

kHz

Externe Synchronisierbarkeit

Master-Slave

Temperaturstabilität

< 2

mV/K

Elektrische Eigenschaften

Ausgangsspannung

-10 bis 10

-5 bis 5 / 0 bis 10 (optional)

V

Ausgangssignal

1 kΩ / 1 nF

Versorgungsspannung

±15 V / 100 mA

Dynamische Auflösung

<0,002 des Messbereichs (RMS)

%

Linearitätsabweichung

<1

%

Schnittstellen und Bedienung

Sensoranschluss

LEMO ECP.00.650.NLL.543 Triaxbuchse

Signalausgang

D-Sub 9-pol.

Linearisierung

ILS

Umgebung

Betriebstemperaturbereich

Sensor : -20 bis 100

Elektronik : 5 bis 40

°C

Masse

Sensor : 8

Elektronik : 111

g

Länge Sensorkabel

2

m

Abmessungen

Sensor : Ø 8 × 30

Elektronik :55 × 102 × 20 inkl. Montagelaschen

mm

Target-Ground-Anschluss

Buchse für 4-mm-Federstecker

* Optional erweiterbar mit Faktor 2 / 2,5 / 5
Sonderausführungen auf Anfrage.

Bestellinformation

E-852KOEMPISeca kapazitiver 1-Elektroden-Sensor, 8 mm Durchmesser, 20 µm nominaler Messbereich, SensorkabelPISeca,
2 m und Auswerteelektronik für Einelektroden-Kapazitivsensoren, 1 Kanal, OEM-Modul


Sonderausführungen auf Anfrage.

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PISeca OEM Positionssensor kapazitiver Einelektrodensensor und Auswerteelektronik im Paket
PDF 667 K
fileadmin/images/filelist/zip.png PI E-852KOEM Press Release
ZIP 1.7 M