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A-311 PIglide IS: XY-Planarscanner mit Luftlager

Kompaktes XY-Hochleistungs-Nanopositioniersystem

PI A-311
    • Ideal für Scanning-Aufgaben oder Positionieren mit hoher Auflösung
    • Reinraumtauglich
    • Kundenspezifisch Anpassbar
    • Stellwege bis zu 200 mm x 200 mm
    • Maximale Belastbarkeit bis zu 15 kg
    • Kontaktlose vorgelastete Luftlager
    • Flache Bauform
    • Auflösung bis zu 1 nm
    • Geschwindigkeit bis zu 1m/s
    • Beschleunigung bis zu 1g

Übersicht

Der hochpräzise PIglide IS XY Planarscanner besitzt eine flacher Bauform mit Luftlager und ist eine Alternative zu gestapelten XY-Verstellern. Die vorgelastete Luftlagerscheibe schwebt über einer gemeinsamen Basis in sowohl in der X als auch der Y Richtung und liefert somit eine stufenlose, reibungsfreie Bewegung. Er ist ideal für Anwendungen mit hochpräzisen Anforderungen wie z.B. Inspektionsysteme, Laserbeschriftung, Mikroskopie oder Scanning. Der kompakte Aufbau spart Platz in Maschinen mit begrenzen Bauraum. Eisenlose Linearmotoren bieten einen gleichmäßigen Lauf ohne Cogging oder Anziehungskräfte. Direkt messende Linearencoder bieten Positionsauflösungen bis zu 1nm, abhängig von der Interpolation. Der PIglide IS wird mit Digitalcontrollern und Antrieben führender Hersteller betrieben, die fortschrittliche Regelalgorithmen zur Verbesserung der Dynamik und Führungsfehlerkompensation sowie eine große Auswahl an Werkzeugen für die Softwareentwicklung bieten.

Zubehör und Optionen

  • Luftreglermodule
  • Mehrachsige Motion Controller und Direktantriebe
  • Unterbauten
  • Schwingungsisolierungssysteme
  • Zusätzliches Zubehör und kundenspezifische Anpassungen verfügbar

Spezifikationen

Modell A-311.BA1

X-Achse (untere Achse)

Y-Achse (obere Achse)

Stellweg

150 mm

150 mm

Antriebssystem

Bürstenloser Servo-Linearmotor, 3 Phasen

Rückmeldungssystem

Berührlungslos messender optischer Linearencoder

Motor-Busspannung

Bis zu 80 VDC (48 VDC Nennstrom)

Maximale Geschwindigkeit*

Bis zu 1 m/s

Motor-Kraftkonstante

12,3 N/A

Motor-Gegen-EMK

10,1 V/m/s

Motorwiderstand

(@25°C, Phase zu Phase)

2 Ω

Maximale Beschleunigung*

Bis zu 1 g

Maximale Nutzlast**

15 kg

Genauigkeit***

±5,0 μm

Wiederholgenauigkeit

±0,5 μm

Encoderauflösung#

Bis zu 1,0 nm

Ebenheit##

<0,1μm / 25 mm, 1 μm TIR gesamt

Geradheit

<0,1μm / 25mm, 1 μm TIR gesamt

<0,1μm / 25mm, 1 μm TIR gesamt

Rollen/Nicken

1 Bogensekunden TIR

Gieren

2 Bogensekunden TIR

XY-Orthogonalität

5 Bogensekunden

Verstellermasse

20 kg

Bewegte Masse

5 kg

2,5 kg

Betriebsdruck###

65 (±5) psi (450 ±35 kPa)

Luftdurchsatz

< 2.0 SCFM (56 SLPM)

Luftqualität

Rein (gefiltert bis 1,0μm oder besser) and ölfrei

Trocken (-15 °C Taupunkt)

Aufbau

Hartbeschichtes Aluminum mit SS Befestigungsmaterial

* Maximale Geschwindigkeit und Beschleunigung auf Basis der Verstellerleistung, kann durch die Leistung des Controllers oder Antriebs begrenzt werden.
** Geht davon aus, dass der Lastenschwerpunkt mittig und nicht höher als 50mm über dem Verstellertisch liegt.
*** Kann durch eine Controller-gesteuerte Führungsfehlerkompensation verbessert werden.
# Encoderauflösung abhängig von den ausgewählten Optionen und der verwendeten Interpolation.
## Abhängig von der Grundplatte der Maschine und dem Isolationssystem, auf dem der Versteller montiert ist.
### Zum Schutz des Verstellers gegen Schäden, wird empfohlen, ein unter Druck gesetzter Luftsensor an den E-Stop-Eingang des Controllers zu verbinden.

Zeichnungen / Bilder

PI A-311 Drawing
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Technologie

Downloads

fileadmin/images/filelist/pdf.png PI Datenblatt A-311
Kompaktes XY-Hochleistungs-Nanopositioniersystem
PDF 742 K
fileadmin/images/filelist/pdf.png Whitepaper: Air Bearings: When to Use and When to Avoid in Your Motion Application
All Positioning Stages are not Created Equal. Author: Matt Reck, PI
PDF 2.7 M WP4003 2015-09