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A-110 PIglide LC Linearversteller mit Luftlager

Hochleistungs-Nanopositioniersystem mit günstigem Preis

PI A-110
    • 100 mm bis 400 mm Stellweg
    • Größe der bewegten Plattform: 160 mm x 200 mm
    • Kontaktlose Luftlager
    • Keine außenliegenden Kabel oder Luftströme für Stellwege bis 100 mm
    • Integrierter optischer Linearencoder

PIglide Linearversteller der Referenzklasse

PIglide Positioniersysteme besitzen einen magnetischen Linearmotor, Vakuum-vorgespannte Luftlager und optische Linearencoder: Kontakt- und Reibungsfreie Bewegung für höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit

Zubehör

Luftreglermodul, einschließlich Drucksensor. Ein-- oder mehrachsiger Motion Controller. Gestapelte XY-Systeme auf Anfrage. Weiteres Zubehör auf Anfrage

Einsatzgebiete

PIglide Positioniersysteme sind ideal geeignet für hochpräzise Anwendungen in der Messtechnik, Photonik und Präzisionsscannen in der Halbleiter- oder der Flachbildschirm-Herstellung.
Aufgrund der Reibungsfreiheit entstehen keine Partikel, wodurch PIglide Versteller ideal unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden können

Spezifikationen

Vorläufige Daten

A-110.1

A-110.2

A-110.3

A-110.4

Einheit

Toleranz

Bewegung und Positionieren

Stellweg

100

200

300

400

mm

Integrierter Sensor

Optischer Linearencoder

Optischer Linearencoder

Optischer Linearencoder

Optischer Linearencoder

Sensorauflösung

Bis zu 1 nm

Bis zu 1 nm

Bis zu 1 nm

Bis zu 1 nm

Positioniergenauigkeit

±2

±2

±2,5

±3

µm

Bidirektionale Wiederholgenauigkeit

±1

±1

±1

±1

µm

typ.

Neigen / Gieren

±5

±5

±10

±15

µrad

Geradheit / Ebenheit

0,1 µm je 25 mm Stellweg,
< ±1 über den gesamten Stellweg

0,1 µm je 25 mm Stellweg,
< ±1 über den gesamten Stellweg

0,1 µm je 25 mm Stellweg,
< ±1 über den gesamten Stellweg

0,1 µm je 25 mm Stellweg,
< ±1 über den gesamten Stellweg

µm

Geschwindigkeit

1000

1000

1000

1000

mm/s

max.

Beschleunigung

10

10

10

10

m/s²

max.

Mechanische Eigenschaften

Masse

7,5

11

12

14

kg

±5 %

Bewegte Masse

2,5

2,6

2,6

2,6

kg

±5 %

Führung

Luftlager

Luftlager

Luftlager

Luftlager

Betriebsdruck

4,5 ± 0,3
(65 ± 5)

4,5 ± 0,3
(65 ± 5)

4,5 ± 0,3
(65 ± 5)

4,5 ± 0,3
(65 ± 5)

bar (psi)

Luftdurchsatz

28,3 (1 SCFH)

28,3 (1 SCFH)

28,3 (1 SCFH)

28,3 (1 SCFH)

l/h

Luftqualität

Rein (gefiltert bis 1,0 µm oder besser),
ölfrei, trocken (-15°C Taupunkt)

Rein (gefiltert bis 1,0 µm oder besser),
ölfrei, trocken (-15°C Taupunkt)

Rein (gefiltert bis 1,0 µm oder besser),
ölfrei, trocken (-15°C Taupunkt)

Rein (gefiltert bis 1,0 µm oder besser),
ölfrei, trocken (-15°C Taupunkt)

Belastbarkeit

100

100

100

100

N

max.

Antriebs-
eigenschaften

Motortyp

Bürstenloser Servo-Linearmotor,
3 Phasen

Bürstenloser Servo-Linearmotor,
3 Phasen

Bürstenloser Servo-Linearmotor,
3 Phasen

Bürstenloser Servo-Linearmotor,
3 Phasen

Ω

Motorspannung

80

80

80

80

V

Kraftkonstante

4,2

12

12

12

N/A

Gegen-EMK

4,2

12

12

12

Vs/m

Motorwiderstand, Phase zu Phase

8,2

5,2

5,2

5,2

Endschalter

Ja

Ja

Ja

Ja

Referenzschalter

Am Ende des Stellwegs

Am Ende des Stellwegs

Am Ende des Stellwegs

Am Ende des Stellwegs

Zeichnungen / Bilder

PI A-110.050 A-110.100 Drawing PI A-110.200 A-110.300 A-110.400 Drawing
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Hochleistungs-Nanopositioniersystem mit günstigem Preis
PDF 698 K
fileadmin/images/filelist/pdf.png Whitepaper: Air Bearings: When to Use and When to Avoid in Your Motion Application
All Positioning Stages are not Created Equal. Author: Matt Reck, PI
PDF 2.7 M WP4003 2015-09