Hochdynamische XY- und XYZ-Nanostelltische mit Parallelmetrologie

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Hochdynamische XY- und XYZ-Nanostelltische mit Parallelmetrologie

 

The product You were Looking for was moved Click Here for new Address P-733 Hochdynamische XY- und XYZ-Nanostelltische mit Parallelmetrologie Stellwege von 100 x 100 ?m in X, Y und bis 10 ?m in Z Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren Aufl?sung bis 0,1 nm Parallelkinematik f?r h?here Genauigkeit und Dynamik in mehreren Achsen Parallelmetrologie f?r die aktive Kompensation von F?hrungsfehlern 50 x 50 mm freie Apertur f?r Durchlicht-Anwendungen Die Piezo-Nanopositioniersysteme der Serie P-733 sind hochdynamische und pr?zise XY- und XYZ-Nanostelltische und Scanner. Sie bieten einen Positionier- und Scanbereich von 100 x 100 (x10) ?m mit Sub-Nanometer Aufl?sung. Die 50 x 50 mm gro?e Apertur ist ideal f?r Durchlichtanwendungen wie z.B. Scanning-Mikroskopie geeignet. Die schnelle, aktive Z-Achse der Version P-733.3CD ist ideal geeignet, F?hrungsfehler in Z aktiv zu kompensieren oder kleine Z-Bewegungen auszuregeln. Kapazitive Sensoren f?r Sub-Nanometer Aufl?sung Kapazitive Sensoren messen die Position direkt und ber?hrungslos. Dadurch treten keine Reibungs- und Hystereseeffekte in der Messung auf, wodurch in der Kombination mit der Positionsaufl?sbarkeit von weit unter einem Nanometer sehr hohe Linearit?tswerte erreicht werden. Ein weiterer Vorteil der direkten Positionserfassung mit kapazitiven Sensoren ist die hohe Phasentreue und die hohe Bandbreite von bis zu 10 kHz. Die Aufl?sung im geschlossenen Regelkreis betr?gt 0,3 nm in der X- und Y-Achse sowie 0,2 nm in der optionalen Z-Achse. Parallelkinematik und -Metrologie f?r h?here Bahngenauigkeit In einem Parallelkinematik-Mehrachsensystem wirken alle Aktoren direkt auf dieselbe bewegte Plattform. Dadurch k?nnen die bewegte Masse und damit die dynamischen Eigenschaften der Achsen einer Ebene identisch ausgelegt werden. Gegen?ber seriell gestapelten bzw. verschachtelten mehrachsigen Systemen liegen weitere Vorteile der parallelen Kinematik darin, dass das System kompakter gebaut werden kann, sich die Fehler und Massen der einzelnen Achsen nicht aufaddieren und keine Kabel zu schleppen sind, eine Quelle f?r Reibung, die die Aufl?sung und Linearit?t beeintr?chtigt. Parallel kinematische Systeme k?nnen bis zu 6 Freiheitsgrade bieten und besitzen in allen Achsen eine geringe Massentr?gheit und hohe Dynamik. Der gemeinsame Einsatz von Parallelkinematik und Direktmetrologie bei mehrachsigen Nanopositioniersystemen, erm?glicht jederzeit ein gleichzeitiges Messen aller Freiheitsgrade gegen?ber einer gemeinsamen festen Referenz, die Parallelmetrologie. Ein ungewolltes ?bersprechen der Bewegung in eine andere Achse kann so detektiert und in Echtzeit aktiv ausgeregelt werden. Diese so genannte Aktive F?hrung erm?glicht eine hohe Bahntreue mit ?bersprechen von wenigen Nanometern, auch im dynamischen Betrieb. ?berlegene Lebensdauer Eine h?chstm?gliche Zuverl?ssigkeit ist durch die Verwendung der pr?mierten PICMA? Multilayer Piezoaktoren gesichert. PICMA? Aktoren sind als einzige vollkeramisch isoliert und somit vor Luftfeuchtigkeit und gegen Ausf?lle durch erh?hten Leckstrom gesichert. Sie sind dadurch konventionellen Piezoaktoren in Zuverl?ssigkeit und Lebensdauer weit ?berlegen. Gro?e Variantenvielfalt f?r ein breites Anwendungsspektrum F?r h?chste dynamische Anforderungen stehen die Typen P-733.2DD und P-733.3DD mit Direktantrieb zur Auswahl. F?r Z-Scanning Applikationen steht die Version P-733.ZCD zur Verf?gung mit einem Hub von 100 ?m. F?r Anwendungen im Ultrahochvakuum bis 10-9 hPa sind ebenfalls Nanopositioniersysteme sowie umfangreiches Zubeh?r wie geeignete Vakuumdurchf?hrungen erh?ltlich. Anwendungsbeispiele Bildverarbeitung/ -stabilisierung Scanning Mikroskopie Metrologie/ Interferometrie Biotechnologie Halbleitertest Masken-/Waferpositionierung Mikromanipulation Nanopositionierung P-733.3CD XY-Scantisch mit aktiver Z-Achse. Die P-733 Piezo-Nanopositioniersysteme sind ideal f?r Scanning-Mikroskopie P-733.3 Abmessungen in mm P-733.2 Abmessungen in mm

Technische Daten

	P-733.2CD	P-733.3CD	Einheit	Toleranz
Aktive Achsen	X, Y	X, Y, Z
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor	Kapazitiv	Kapazitiv
Stellweg bei -20 bis +120 V, ungeregelt	115 x 115	115 x 115 x 12	?m	min.
Stellweg, geregelt	100 x 100	100 x 100 x 10	?m
Aufl?sung ungeregelt	0,2	0,2 in X, Y, 0,1 in Z	nm	typ.
Aufl?sung geregelt	0,3	0,3 in X, Y, 0,2 in Z	nm	typ.
Linearit?t	0,01	0,01 in X, Y, 0,03 in Z	%	typ.
Wiederholgenauigkeit	<2	<2 in X, Y, 1 in Z	nm	typ.
Neigen	2	1	?rad	typ.
Gieren	10	10	?rad	typ.
Mechanische Eigenschaften
Steifigkeit in Stellrichtung	1,4	1,4 in X, Y, 9,0 in Z	N/?m	?20%
Resonanzfrequenz unbelastet	460	460 in X, Y, 1400 in Z	Hz	?20%
Resonanzfrequenz belastet bei 120 g	340	340 in X, Y, 1060 in Z	Hz	?20%
Resonanzfrequenz belastet bei 200 g	295	295 in X, Y, 610 in Z	Hz
Druck-/Zugbelastbarkeit in Stellrichtung	300/100	300/100	N	Max.
Belastbarkeit	20	20	N	Max.
Antriebseigenschaften
Keramiktyp	PICMA?	PICMA?
Elektrische Kapazit?t	6,0 je Achse	6,0 in X, Y, 3,3 in Z	?F	?20%
Dynamischer Stromkoeffizient	7,5 je Achse	7,5 in X, Y, 40 in Z	?A/(Hz x ?m)	?20%
Anschl?sse und Umgebung
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 80	-20 bis 80	?C
Material	Al	Al
Masse	580	675	g	?5%
Kabell?nge	1,5	1,5	m	?10 mm
Sensoranschluss	D-Sub Mix (CD-Version); 4x LEMO (CL-Version)	D-Sub Mix (CD-Version); 6x LEMO (CL-Version)
Spannungsanschluss	D-Sub Mix (CD-Version); 2x LEMO (CL-Version)	D-Sub Mix (CD-Version); 3x LEMO (CL-Version)
Empfohlener Controller/Verst?rker	H, F, L	H, F, L

Bestellinformation
F?r eine Preisanfrage bitte {literature} und die Produktnummer / Beschreibung in die entsprechenden Felder am Ende des Formulars kopieren.

<@warenk_hf>P-733.2CD
<@warenk>XY-Piezo-Nanopositionierer/-Scanner, 100 x 100 ?m, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

<@warenk_hf>P-733.2CL
<@warenk>XY-Piezo-Nanopositionierer/-Scanner, 100 x 100 ?m, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

<@warenk_hf>P-733.3CD
<@warenk>XYZ-Piezo-Nanopositionierer/-Scanner, 100 x 100 x 10 ?m, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker

<@warenk_hf>P-733.3CL
<@warenk>XYZ-Piezo-Nanopositionierer/-Scanner, 100 x 100 x 10 ?m, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker

<@warenk_hf>P-733.2VL
<@warenk>XY-Piezo-Nanopositionierer/-Scanner, 100 x 100 ?m, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, LEMO-Stecker, vakuumkompatibel bis 10^-6 hPa

<@warenk_hf>P-733.2VD
<@warenk>XY-Piezo-Nanopositionierer/-Scanner, 100 x 100 ?m, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10^-6 hPa

<@warenk_hf>P-733.2UD
<@warenk>XY-Piezo-Nanopositionierer/-Scanner, 100 x 100 ?m, kapazitive Sensoren, Parallelmetrologie, D-Sub-Stecker, vakuumkompatibel bis 10^-9 hPa

Sonderausf?hrungen auf Anfrage.