Modellübersicht: Lineare Piezoversteller
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Nanometergenau, Stellwege von 15 µm bis 1800 µm
Alle Versionen sind für besondere Zuverlässigkeit mit PICMA® Piezoaktoren und Präzisions- Festkörperführungen ausgestattet. Modelle mit kapazitiven Positionssensoren bieten beste Leistungsdaten, alternativ sind auch Modelle mit Dehnmessstreifen oder ohne Positionsrückmeldung verfügbar.

Lineare Piezoversteller und Actoren Nanopositionierung Systeme
  Modell Beschreibung Stellweg [µm] Sensor Dynamik* Präzision**
P-772 P-772 Ultrakompakter Nanostelltisch 10 kapazitiv +++++ +++++
P-712 P-712 Ultraflacher und schneller X Scanner, 40 x 40 x 6 mm 30 DMS +++++ ++ooo
P-753 P-753 Nanopositioniertisch / Aktor in einem. Sehr kompakt, schnell und genau. 12, 25, 38 kapazitiv +++++ +++++
P-752 P-752 Nanopositioniertisch. Sehr schnell und genau, hervorragende Geradführung. 15, 30 kapazitiv +++++ ++++o
P-750 P-750 Hochlast-Nanopositioniertisch. Sehr gute Geradführung, sehr steif. 75 kapazitiv / LVDT ++++o +++++
P-611.1 P-611.1 Kompakte, günstige X- und XY Piezotische mit DMS Sensor 100 DMS +++oo +++oo
P-631 P-631 Kompakter OEM Piezo-Nanostelltisch mit Direktmetrologie 100, größere auf Anfrage kapazitiv +++oo ++++o
P-620.1 - P-628.1 P-620.1-
P-629.1		 PIHera® Piezo-Nanopositioniertischfamilie. Kompakt, günstig, sehr genau, große Stellwege. 50, 100, 250, 500, 1000, 1800 kapazitiv ++++o to
+oooo		 ++++o to
+++oo
P-725 P-721,
P-725		 PIFOC® Objektiv-Nanofokussiersystem. Kompakt, leicht, große Stellwege, QuickLock Montagesystem, Direktmetrologie. 100, 250, 500 kapazitiv/DMS +++oo ++++o/++ooo
P-601 P-601 Geregelt, mit Flexure-Führungen. 110, 300, 400 - / DMS ++++o ++ooo
S-303 S-303 Phasenschieber, extrem genau, 25 kHz Resonanzfrequenz 3 kapazitiv +++++ +++++
M-511.HD M-511.HD Hybrid Lineartische mit DC-Servo und Piezo Antrieb. Up to 100 nm Linear Enkoder ++++o ++++o

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