Test und Qualitätskontrolle

Die Entwicklung und Fertigung von nanometergenauen Produkten erfordert hochqualifizierte Mitarbeiter und eine umfangreiche Testausrüstung.

Blick in eines der sechsfach isolierten Nanometrologielabors.
Video-Inspektionssystem in der Piezoaktorfertigung.

Toleranzmessung
Spezialmikroskope

Test eines 6D-Mikroroboters mit einem Autokollimator.
Interferometer und Präzisionsoptiken für sub-nm- und sub-µrad genaue Messungen.
Nachfolgend eine Auswahl der Technologien und Geräte, die PI einsetzt:

  • Nanometrologie-Messräume mit sechsfacher Isolation (2 x seismisch, 2 x thermisch, akustisch und aerodynamisch) für reproduzierbare Messungen im Sub-nm-Bereich.


  • Laserinterferometer mit einer Vielzahl von Spezialoptiken für 1D- bis 6D-Messungen


  • Laser-Scanning-Vibrometer zur Schwingungsanalyse


  • Kapazitive Positionsmesssysteme mit Sub-Nanometer-Auflösung


  • Oberflächen-Interferometer für Ebenheitsmessungen im Sub-Nanometerbereich


  • Elektronische Autokollimatoren


  • Computergesteuerte Klimaschränke


  • Spektrumanalysatoren


  • Koordinatenmessmaschinen


  • Spezialmikroskope


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