D-510 PISeca Kapazitive Sensoren

Einelektrodensensoren mit hervorragender Positionsauflösung

Berührungslose Wegmessung
Abstandsmessung auf Absolutwerte
Vibrationsmessung
Hochauflösend im Sub-Nanometer-Bereich
Flexibler Messbereich
Einfach zu integrieren

D-510.021, D-510.051 und D-510.101, Abmessungen in mm; Anschluss LEMO FFC00.650.CLA.543, triaxial

D-510.021: Einfach zu montieren durch LEMO-Steckverbindung

In Kombination mit der Elektronik zur Signalaufbereitung kann für quasi-statische Anwendungen eine Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich erreicht werden. Für hochdynamische Anwendungen kann die Bandbreite auf bis zu 10 kHz erhöht werden, wobei noch immer eine Auflösung im 1 nm-Bereich erreichbar ist. Die Linearitätsabweichung liegt dabei unter 0,1%.

Alle PISeca-Sensorköpfe sind mit einem LEMO-Stecker versehen, so dass sie einfach montiert und ausgetauscht werden können. Die einheitliche Schaftdicke sorgt für Kompatibilität und Flexibilität. Das Kabel für den Anschluss an die Auswerteelektronik steht in mehreren Varianten zur Verfügung und ist deshalb separat mitzubestellen.

Neben den hier aufgeführten Standardsensoren bietet PI eine Reihe von anwendungsspezifischen Sonderausführungen an, die z. B. in Bezug auf Messbereich, Geometrie oder Material an Kundenanforderungen angepasst sind. Auch Sonderausführungen der Elektronik sind verfügbar.

Für allerhöchste Ansprüche an Linearität und Auflösung stehen die Zweielektroden-Sensoren der Serie D-100 zur Verfügung.

Industrie und Forschung. Halbleiterfertigung und -inspektion. Nanometrologie. Aktive Schwingungsdämpfung. Präzisionsbearbeitung.

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Datenblatt

Version / Datum

2019-10-24

pdf - 588 KB

Version / Datum

2019-10-24

pdf - 592 KB

Version / Datum

2021-01-19

pdf - 372 KB

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	D-510.021	D-510.051	D-510.101
Sensortyp	Einelektroden, kapazitiv	Einelektroden, kapazitiv	Einelektroden, kapazitiv

Messgenauigkeit	D-510.021	D-510.051	D-510.101
Nominaler Messbereich*	20 µm	50 µm	100 µm
Kleinster Messabstand im nominalen Messbereich*	10 µm	25 µm	50 µm
Größter Messabstand im 5-fach erweiterten Messbereich*	150 µm	375 µm	750 µm
Statische Auflösung**	<0,001 % des Messbereichs (RMS)	<0,001 % des Messbereichs (RMS)	<0,001 % des Messbereichs (RMS)
Dynamische Auflösung**	<0,002 % des Messbereichs (RMS)	<0,002 % des Messbereichs (RMS)	<0,002 % des Messbereichs (RMS)
Linearitätsabweichung***	<0,2 %	<0,1 %	<0,1 %

Mechanische Eigenschaften	D-510.021	D-510.051	D-510.101
Aktiver Sensordurchmesser	3,8 mm	6 mm	8,4 mm
Aktive Sensorfläche	11,2 mm²	27,9 mm²	56,1 mm²
Sensordurchmesser	8 mm	12 mm	20 mm
Sensorfläche	50,3 mm²	113,1 mm²	314,0 mm²
Durchmesser Befestigungsschaft	8 mm	8 mm	8 mm

Umgebung	D-510.021	D-510.051	D-510.101
Betriebstemperaturbereich	-20 bis 100 °C	-20 bis 100 °C	-20 bis 100 °C
Material	Edelstahl	Edelstahl	Edelstahl
Masse	8 g (±5 %)	10 g (±5 %)	16 g (±5 %)
Geeignetes Anschlusskabel	D-891.01x, D-891.02x	D-891.01x, D-891.02x	D-891.01x, D-891.02x
Empfohlene Elektroniken	E-852.10, E-852.10A1, E-711.SE3, E-509, E-509.E03, E-509.E3	E-852.10, E-852.10A1, E-711.SE3, E-509.E03, E-509.E3	E-852.10, E-852.10A1, E-711.SE3, E-509, E-509.E03, E-509.E3