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A2 Kippwinkel bei 0 bis 100 V
Typischer Kippwinkel im offenen Regelkreis bei 0 bis 100 V Betriebsspannung. Max. Betriebsspannungsbereich -20 bis +120 V (nur kurzzeitig). Bei differenziell getriebenen Kippsystemen wird die Nullposition bei 50 V Steuerspannung erreicht, der maximale negative Winkel bei 0 V und der maximale positive Winkel bei 100 V.
A3 Kippwinkel (geregelt)
Kippwinkel im geschlossenen Regelkreis. Bei differenziell getriebenen Kippsystemen erfolgt die Auslenkung symmetrisch um die Nullage. PI-LVPZT-Verstärker verfügen über einen Ausgangsspannungsbereich von -20 bis 120 V, um genügend Regelreserve für Lastschwankungen etc. zu bieten.
A5 Linearstellweg bei 0 bis 100 V
Typischer Stellweg im offenen Regelkreis bei 0 bis 100 V Betriebsspannung. Max. Betriebsspannungsbereich -20 bis +120 V (nur kurzzeitig; siehe auch Seite Link im Kapitel "Tutorium: Nano-Positionieren mit Piezos").
A6 Linearstellweg (geregelt)
Typischer Stellweg im geschlossenen Regelkreis. PI-LVPZT-Verstärker verfügen über einen Ausgangsspannungsbereich von -20 bis 120 V, um genügend Regelreserve für Lastschwankungen etc. zu bieten.
B Integrierter Positionssensor
Absolut messende LVDT-Sensoren und DMS-Sensoren werden eingesetzt, um die Positionsinformation an den Regler zurückzumelden (s. a. Seite Link im Kapitel "Tutorium: Nano-Positionieren mit Piezos").
C1 Auflösung (geregelt / ungeregelt)
Die Auflösung von Piezokippsystemen ist praktisch unbegrenzt, weil sie nicht durch Haft- oder Gleitreibung limitiert wird. Statt dessen wird das Positionsrauschen spezifiziert. Die Werte sind typische Messergebnisse (RMS, 1σ), gemessen mit dem E-503 Verstärkermodul im E-500/501 System.
C3 Wiederholbarkeit voller Stellbereich (typ.)
Typische Werte im geschlossenen Regelkreis. Die Wiederholbarkeit ist vom tatsächlich verstellten Weg abhängig. Bei kleinen Stellwegen ist die Wiederholbarkeit bedeutend besser.
D1 Steifigkeit
Statische Großsignalsteifigkeit der Piezokeramik bei Raumtemperatur mit 0 V Betriebsspannung. Die Kleinsignalsteifigkeit und dynamische Steifigkeit können sich, bedingt durch die Kombination verschiedener Materialien im Stellsystem und durch Effekte, die durch die aktive Natur des Piezomaterials hervorgerufen werden, deutlich unterscheiden (s. a. Seite Link im Kapitel "Tutorium: Nano-Positionieren mit Piezos").
F1 Kapazität
Die Kapazitätswerte in den technischen Daten sind Kleinsignalwerte (gemessen bei 1 V, 1000 Hz, 20 °C, lastfrei; Großsignalwerte bei Raumtemperatur liegen 30 - 50% höher). Die Kapazität von Piezokeramik ändert sich mit der Aussteueramplitude, Temperatur und Last bis zu 200% des unbelasteten Kleinsignalwertes bei Raumtemperatur. Weitere Informationen zum elektrischen Leistungsbedarf sind in den Aussteuerkurven der einzelnen Verstärker im Kapitel "Piezoelektronik" enthalten.
F2 Dynamischer Stromkoeffizient (DSK)
Durchschnittlicher elektrischer Strom (vom Verstärker), der benötigt wird, um einen Piezoaktor pro Einheit Frequenz [Hz] und Auslenkung [µrad] zu betreiben (Sinusbetrieb, offener Regelkreis; bis 50% mehr im geschlossenen Regelkreis). Beispiel: Um herauszufinden, ob ein gewählter Verstärker ein Piezokippsystem bei 50 Hz mit 300 µrad Hub betreiben kann, muss der DSK mit 50 und 300 multipliziert werden. Wenn das Resultat kleiner oder gleich dem Dauerstrom des gewählten Verstärkers ist, eignet sich dieser für die Anwendung (s. a. Seite Link ff. im Kapitel "Tutorium: Nano-Positionieren mit Piezos".
G2 Resonanzfrequenz (ohne Last) (f0)
Erste Kipp-Resonanzfrequenz der aktiven Achse ohne Zusatzmasse (Spiegel).
G3 Resonanzfrequenz (ohne Last)
Beispiel wie ein eine Last (Spiegel) auf der Plattform die Dynamik verändert (berechnete Werte). Mehr zum dynamischen Verhalten s. Seite Link.
H2 Betriebstemperaturbereich
Die Leistungsspezifikationen gelten für den Raumtemperaturbereich 22°C ± 5°C. Positionsgeregelte Systeme werden für optimale Genauigkeit in diesem Bereich abgeglichen, Spezifikationen für andere Temperaturbereiche sind auf Anfrage erhältlich. Ein Neuabgleich ist empfehlenswert, wenn der Betrieb bei einer deutlich höheren oder tieferen Temperatur stattfinden soll.
J1 Spannungsanschluss
Standardstecker für die Betriebsspannung sind LEMO-Stecker.
VL (Voltage Low): LEMO FFS.00.250, männlich.
Kabel: Koaxialkabel RG 178, Teflonisolation, 1 m.
Verlängerungskabel und Adapter finden Sie im Abschnitt "Zubehör" am Ende des Kapitels "Piezoelektronik" auf Seite Link ff.
J2 Sensoranschluss
Standardstecker für die Positionssensoren sind LEMO-Stecker.
L: LEMO FFA.0S.304, weiblich.
Kabel: Koaxialkabel, PUR-Isolation, 1 m.
Verlängerungskabel und Adapter finden Sie im Abschnitt "Zubehör" am Ende des Kapitels "Piezoelektronik" auf Seite Link ff.
L Material (Gehäuse / Plattform)
Al: Aluminium
N-S: unmagnetisierbarer Edelstahl
S: ferromagnetischer Stahl
I: Invar
Geringe Anteile anderer Materialien können intern verwendet werden.
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