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Einachsige PIHera Piezostelltische sind hochgenaue, preisgünstige Positioniersysteme mit sehr großem Stellweg. Bei minimalen Abmessungen kombinieren sie kurze Ansprechzeiten mit hoher Führungsgenauigkeit. Dies und der beeindruckende Stellbereich bis 1800 µm werden durch ein besonders steifes und reibungsfreies System von Festkörperführungen ermöglicht. PIHera Piezo-Nanopositioniersysteme sind auch als Hub- und Kreuztische lieferbar (siehe Link, siehe Link).
Nanometerpräzision in Millisekunden
Einer der Vorteile der PIHera-Tische gegenüber (Linear)-motor getriebenen Positioniertischen ist die extrem schnelle Reaktion auf Positionsvorgaben mit optimalem Einschwingverhalten. Der P-622.1CD z.B. erreicht bereits nach 30 ms ein Genauigkeitsfenster von 10 nm. Höchste Genauigkeit durch Direktmetrologie mit Kapazitivsensoren
Höchste Genauigkeit durch Direktmetrologie mit Kapazitivsensoren
Anwendungen wie z.B. Längenänderungen des optischen Strahlenganges in der Interferometrie, Probenpositionierung in der Mikroskopie, Feinstjustage oder optisches Tracking benötigen die Kombination aus relativ großen Stellwegen und Nanometerpräzision, wie sie die PIHera-Nanopositioniertische bieten.
Kapazitive Sensoren messen die Position direkt und berührungslos. Weder Reibung noch Hysterese beeinträchtigen die Messung, wodurch in der Kombination mit der Positionsauflösbarkeit von weit unter einem Nanometer ausgezeichnete Linearitätswerte erreicht werden. Ein weiterer Vorteil der direkten Positionserfassung mit kapazitiven Sensoren ist die sehr gute Phasentreue und die hohe Bandbreite von bis zu 10 kHz.
Präzision bereits im Design
Zur Verbesserung der Systemsteifigkeit und Führungsgenauigkeit dienen computeroptimierte Festkörpergelenkführungen, die vollkommen spiel- und reibungsfrei sind. Die Ablaufgenauigkeit liegt dadurch im Bereich von wenigen Nanometern.
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