PD72Z2x/4x PIFOC® Objektivscansystem 400 µm
Hochdynamischer Piezoantrieb für Sub-Nanometer Auflösung

  • Komplettes System mit Digitalcontroller und Software
  • Stellwege bis 400 µm
  • Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-nm-Auflösung
  • Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen
  • Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren
Einschwingzeit von 20 ms des Systems PD72Z4CAQ mit Objektiv (150 g)
 
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PIFOC® Objektivscansystem mit Digitalcontroller und Software
Freie Apertur bis zu 29 mm Ø. QuickLock-Adapter für einfache Installation

Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren, Digitalcontroller
Für höchste Linearität und Stabilität. Digitale Einstellung der Regelparameter über Datenrecorder

Schnittstellen
USB, RS-232 und analog

Bedienersoftware und Funktionen
PIMikroMove®, PI General Command Set (GCS). Treiber für LabVIEW, dynamische Bibliotheken für Windows und Linux. Kompatibel mit µManager, MetaMorph, MATLAB

Einsatzgebiete
Mikroskopie, konfokale Mikroskopie, 3D-Imaging, Screening, Autofokussysteme, Oberflächenanalyse, Waferinspektion, Multiphotonenmikroskopie


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