P-871 PICMA® Piezo Biegeaktoren
Multilayer-Piezobiegeaktoren mit Positionssensor
P-871.140, P-871.128, P-871.122 und P-871.112 Piezobiegeaktoren mit Positionssensor (v.l.n.r.)
P-871.140, P-871.128, P-871.122 und P-871.112 Piezobiegeaktoren mit Positionssensor (v.l.n.r.)
  • Positionssensor für hohe Genauigkeit
  • Nanometer-Auflösung
  • Auslenkung bis 1,6 mm
  • Keramische Isolation für hohe Lebensdauer
  • Ideal für Scan-Anwendungen
  • Vakuumkompatible Versionen
  • Geringe Betriebsspannung
  • Montageadapter inklusive
  • Spezielle OEM- und Tischverstärker verfügbar
E-651 Ein- und Zweikanalcontroller mit P-871 Piezobiegeaktoren
 
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Anwendungsbeispiele
  • Wire-Bonder
  • Pneumatische Ventile
  • Faserpositionieren und optische Schalter
  • (Laser)- Strahlsteuerung
  • Mikropositionierung
  • Beschleunigungssensoren
  • Nanotechnologie

Die PICMA® Multilayer-Piezobiegeaktoren der Serie P-871 basieren auf den PL122 bis PL140 Biegern (siehe Link) und bieten geregelte Auslenkungen bis 1,6 mm mit Ansprechzeiten im Millisekundenbereich. Die integrierten Sensoren ermöglichen im positionsgeregelten Betrieb eine wesentlich bessere Linearität und Wiederholbarkeit als bisher erhältliche Biegewandler.

Aufbau
Die monolithischen Aktoren werden aus ca. 50 µm dicken Piezokeramikschichten mit internen Silber-Palladium Elektroden und keramischer Isolation im „Cofiring“ Verfahren hergestellt. Durch die geringe Schichtdicke können sie mit wesentlich niedrigeren Spannungen arbeiten als klassische Parallelbimorph-Biegeelemente. Zur einfachen Installation werden die Aktoren mit Kabeln, Steckern und einem Montageadapter ausgeliefert.

Hohe Genauigkeit im geregelten Betrieb
Die P-871 Aktoren bieten durch die Positionsregelung eine deutlich höhere Genauigkeit als ungeregelte Biegeaktoren und sind auch gut für Scanning und Strahlsteuerungsaufgaben geeignet. Der DMS-Positionssensor wird direkt auf den Biegeaktor aufgebracht. Das ermöglicht schnelleres Ansprechen, höhere Stabilität, Auflösung und geringere Phasenverschiebung des Sensorsignals als für konventionelle Aktoren mit Epoxydharzisolationsschicht. Die typische Linearität liegt bei 0,5%, und die Einschwingzeit beträgt zwischen 10 ms für den P-871.112 und 30 ms für den P-871.140 (Werte für Kleinsignalbetrieb, bis zu 1% Auslenkung, <1% Abweichung).

Keramisch isolierte Piezoaktoren bieten überlegene Lebensdauer
Eine höchstmögliche Zuverlässigkeit ist durch die Verwendung der prämierten PICMA® Multilayer Piezoaktoren gesichert. PICMA® Aktoren sind als einzige vollkeramisch isoliert und somit vor Luftfeuchtigkeit und gegen Ausfälle durch erhöhten Leckstrom geschützt. Sie sind dadurch konventionellen Piezoaktoren in Zuverlässigkeit und Lebensdauer weit überlegen.

Optimale UHV Kompatibilität – minimales Ausgasen
Das monolithische Design ohne Polymerisolation und die hohe Curietemperatur von 320°C (Ausheizbarkeit bis 150 °C) stellen optimale Voraussetzungen für den Einsatz im Hochvakuum dar.

Piezocontroller: Tischgeräte und OEM-Boards
Die Ein- und Zweikanalcontroller E-651.1S und E-651.2S und das OEM-Board E-614.2BS (siehe Link) sind speziell auf die geregelten P-871 Multilayer-Bieger abgestimmt.

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