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P-290
Nanohubtisch mit Piezoantrieb
P-290 Piezo-Nanohubtisch
P-290 Piezo-Nanohubtisch
  • Vertikaler Stellweg bis 1000 µm
  • Integrierte Doppel-Hebelübersetzung
  • Konstruktion aus unmagnetischem Stahl
  • Vakuumkompatible Versionen
  • Integrierte Festkörpergelenke für höchste Führungsgenauigkeit
P-290 Abmessungen in mm
 
Beschreibung   Spezifikationen   Downloads   CAD/Video
Zeichnungen & Bilder   Modelle / Preisanfrage   Zusatzinfo   ?? Fragen ??
 
PDF Katalog Datenblatt
 
Anwendungsbeispiele
  • Waferinspektion
  • Nanopositionierung
  • Medizintechnik
  • Biologie
  • Optik

P-290 ist ein piezoelektrisch angetriebener Nanohubtisch mit einem Stellweg von 1000 µm. Er ist ideal geeignet für hochauflösende Stellanwendungen mit relativ geringer Dynamik.

Funktionsprinzip
Die Stellplattform des P-290 wird von einem speziellen Doppel-Piezoantrieb bewegt. Dabei wirkt die Kraft von zwei vorgespannten PICA™ Hochleistungs-Piezoaktoren auf jeweils ein drahterodiertes Hebelübersetzungssystem.



Hinweise
Produktübersicht Nanopositioniersysteme s. Seite Link ff. Hochauflösende Verstärker und Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik s. Kapitel "Piezoelektronik", Seite Link ff.
Fachartikel / Technotes
 
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