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P-783
Nanohubtisch mit Piezoantrieb und Direktmetrologie

Diese Produktfamilie wurde durch das folgende Produkt abgelöst:

 P-601 PiezoMove® Linearaktor

 Für Ersatz / Nachbestellungen kontaktieren Sie bitte PI.




P-783 Piezo-Nanohubtisch, Mikroprozessor zum Größenvergleich.
P-783 Piezo-Nanohubtisch, Mikroprozessor zum Größenvergleich.
  • Vertikaler Stellweg bis 300 µm
  • Reibungsfreie Festkörpergelenke für höchste Führungsgenauigkeit und spielfreie Bewegung
  • PICMA® Hochleistungs-Piezoaktoren
  • Direktmetrologie mit LVDT-Sensoren für hohe Genauigkeit
P-783 Abmessungen in mm
 
Beschreibung   Spezifikationen   Downloads   CAD/Video
Zeichnungen & Bilder   Modelle / Preisanfrage   Zusatzinfo   ?? Fragen ??
 
PDF Katalog Datenblatt
 
Anwendungsbeispiele
  • Metrologie / Interferometrie
  • Waferinspektion
  • Platineninspektion
  • Nanopositionierung
  • Schaltanwendungen
  • Biotechnologie
  • Mikromanipulation

Der P-783 Piezohubtisch ist ein kompaktes, dynamisches Nanopositioniersystem mit einem Positionier- und Scanbereich von 300 µm. Es ist für Anwendungen mit Lasten bis zu einigen hundert Gramm ausgelegt.

Großer Hub
Durch die integrierte Wegübersetzung und reibungsfreie Umlenkung wird ein sehr großer Stellweg bei geringen Abmessungen realisiert.

Hohe Genauigkeit durch Direktmetrologie / LVDTSensor
Für den Betrieb im geschlossenen Regelkreis ist ein hochauflösender LVDT- (Linear Variable Differential Transformer) Positionssensor integriert. Er erfasst die Bewegung direkt und ermöglicht dadurch höhere Phasentreue, Stabilität und Wiederholbarkeit als indirekte Systeme.

Funktionsprinzip/Lebensdauer
P-783 Systeme sind mit vorgespannten PICMA® Hochleistungs-Piezoaktoren ausgerüstet, die in ein reibungsfreies Führungssystem mit FEM-optimierten Festkörpergelenken integriert sind. Die vollkeramisch isolierten Aktoren übertreffen die Lebensdauer und Leistungsfähigkeit konventioneller Piezokeramiken in dynamischen und statischen Anwendungen deutlich. Da Aktoren, Führung und Sensoren reibungs-, wartungs- und verschleißfrei sind, besitzen diese Systeme eine außergewöhnliche Zuverlässigkeit.


Hinweise
Produktübersicht Nanopositioniersysteme s. Seite Link ff. Hochauflösende Verstärker und Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik s. Kapitel „Piezoelektronik“, Seite Link ff.
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