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P-753 LISA (LInear Stage Actuator) Nanomechaniken kombinieren die kompakten Abmessungen eines Piezoaktors mit den Präzisionsführungseigenschaften flexuregeführter Translationstische. Durch die besondere Geometrie wird sowohl die Stirn- als auch die Oberseite bewegt und die Mechaniken können als hochgenaue Linearaktoren oder Präzisionsstelltische mit Stellwegen bis zu 38 µm eingesetzt werden.
Schnellstes Ansprechverhalten durch Direktantrieb
Ein Direktantrieb und ein spezielles Design mit minimaler bewegter Masse optimieren das Einschwingverhalten und die Stabilität des Gesamtsystems. In zeitkritischen und hochgenauen Prozessen führt dies zu einer erheblichen Durchsatzsteigerung.
Kapazitive Sensoren messen die Position direkt und berührungslos. Weder Reibung noch Hysterese beeinträchtigen die Messung, wodurch in der Kombination mit der Positionsauflösbarkeit von weit unter einem Nanometer ausgezeichnete Linearitätswerte erreicht werden. Ein weiterer Vorteil der direkten Positionserfassung mit kapazitiven Sensoren ist die sehr gute Phasentreue und die hohe Bandbreite von bis zu 10 kHz.
Automatische Konfiguration
Die .CD-Versionen sind mit ID-Chips ausgerüstet, die alle Servo- und Linearisierungsparameter enthalten. Die Daten werden durch die AutoCalibration Funktion der Digitalcontroller automatisch ausgelesen und ermöglichen beliebige Kombination und problemlosen Austausch von Piezomechaniken und Controllern.
Hohe Zuverlässigkeit und Lebensdauer
P-753 LISA Systeme sind mit vorgespannten PICMA® Hochleistungspiezoaktoren ausgerüstet, die in ein reibungsfreies Flexure-Führungssystem mit FEM-optimierten Festkörpergelenken integriert sind. Die vollkeramisch isolierten Aktoren übertreffen die Lebensdauer und Leistungsfähigkeit konventioneller Piezokeramiken in dynamischen und statischen Anwendungen deutlich. Da Aktoren, Führung und Sensoren reibungs-, wartungs- und verschleißfrei sind, besitzen diese Systeme eine außergewöhnliche Zuverlässigkeit.
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