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Kompakte Mehrachssysteme basierend auf dem Piezo-Schereffekt
PICA™ Shear Scheraktoren sind mit Querschnitten von 3 x 3 mm bis 16 x 16 mm verfügbar, im Bild mit Sonderelektroden
PICA™ Shear Scheraktoren sind mit Querschnitten von 3 x 3 mm bis 16 x 16 mm verfügbar, im Bild mit Sonderelektroden
  • Kompakte Mehrachsen-Aktoren
  • X-, XY-, XZ- und XYZ-Versionen
  • Hohe Resonanzfrequenzen
  • Sehr zuverlässig: >109 Zyklen
  • Pikometer-Auflösung / Sub-ms Ansprechzeit
  • UHV Versionen bis 10-9 hPa
  • Optionen: Unmagnetische Versionen, Apertur

 
Beschreibung   Spezifikationen   Downloads   CAD/Video
Zeichnungen & Bilder   Modelle / Preisanfrage   Zusatzinfo   ?? Fragen ??
 
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Anwendungsbeispiele
  • Nanopositionierung
  • Präzisionsmechanik / -Fertigung
  • Aktive Schwingungsdämpfung
  • Halbleiterfertigung / Testsysteme
  • Lasertuning
  • Rastermikroskopie
  • Schaltanwendungen
  • Scanning-Anwendungen
  • Mikroschritt-Motoren
  • Nanotechnologie

PICA™ Shear Scherpiezoaktoren sind extrem kompakt und erlauben Sub-Nanometer Auflösung, schnellste Ansprechzeiten und hohe Stellkräfte. Ausführungen mit ein, zwei und drei Achsen für Stellwege bis zu 10 µm sind erhältlich. Sie eignen sich u.a. auch für Scananwendungen, z.B. in der Rastermikroskopie, oder als motorische Antriebe.

Hohe Steifigkeit und große Auslenkungen
PICA™ Shear Scherpiezoaktoren sind sehr steif in Bewegungsrichtung und senkrecht dazu. Sie basieren auf dem Scher-Piezoeffekt und ermöglichen etwa den doppelten Stellweg vergleichbarer Axialaktoren. Dadurch sind geringere Baugrößen und höhere Resonanzfrequenzen möglich.

Hohe Zuverlässigkeit und Dynamik
PICA™ Shear Aktoren wurden speziell für den industriellen Dauerbetrieb mit höchsten Anforderungen an die Lebensdauer entwickelt. Dauertests mit PICA™ Shear Aktoren haben gezeigt, dass auch nach mehreren Milliarden Zyklen keine Leistungseinbußen auftreten. Die Kombination aus relativ hoher Auslenkung und geringer elektrischer Kapazität ermöglicht hervorragende dynamische Eigenschaften bei minimiertem elektrischem Leistungsbedarf.

Flexibilität / kurze Lieferzeiten
Alle Fertigungsprozesse bei PI sind auf Flexibilität und kurze Lieferzeiten ausgerichtet. Weil die piezoelektrischen Materialien im Hause entwickelt werden, können auch Sonderausführungen zu einem sehr attraktiven Preis und hervorragender Qualität angeboten werden. Folgende Modifikationen sind möglich:

  • Materialien
  • Spannungsbereich / Auslenkung, Lagendicke
  • Apertur
  • Belastbarkeit / Krafterzeugung
  • Endstücke (flach, sphärisch, Metall, Keramik, Glas, Saphir etc.), optische Endflächenbehandlung
  • verringerte Längentoleranzen
  • integrierte piezoelektrische Scher-Sensorscheiben ohne pyroelektrischen Effekt
  • für Tieftemperaturen bis 4 K
  • vakuumkompatible und unmagnetische Versionen

Sowohl Standard- als auch Sonderaktoren der PICA™ Baureihen werden mit einem eigenen Testprotokoll ausgeliefert.

Piezoelektronik und Verstärker
Hochauflösende Verstärker und Regelelektroniken in digitaler und analoger Technik finden Sie im Kapitel „Piezoverstärker und Controller“.

Fachartikel / Technotes
 
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