Modellübersicht: Vertikal- / Kippachsen
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Piezo-Nanopositioniersysteme mit Flexureführungen, hervorragendes Ansprechverhalten
Alle Versionen sind für besondere Zuverlässigkeit mit PICMA® Piezoaktoren und Präzisions- Festkörperführungen ausgestattet. Modelle mit kapazitiven Positionssensoren bieten beste Leistungsdaten, alternativ sind auch Modelle mit Dehnmessstreifen oder ohne Positionsrückmeldung verfügbar. Mehrachssysteme sind parallelkinematisch aufgebaut mit einer zentralen bewegten Plattform.

Modelle* Beschreibung Stellweg [µm / mrad] Sensor Dynamics* Präzision**
P-611.Z P-611.ZS,
P-611.XZS		 Kompakter, preisgünstiger Piezo-Nanohubtisch 100 DMS ++ooo ++ooo
P-612.Z P-612.Z Kompakter, preisgünstiger Piezo-Nanohubtisch; offene Apertur 100 DMS ++ooo ++ooo
P-601 P-601 Mit Positionssensor und Festkörperführung 110, 300, 400 DMS ++++o ++ooo
P-620.Z - P-620.Z P-620.Z -
P-622.Z -		 PIHera® Nanohubtisch; kompakt, sehr präzise, großer Stellweg 50, 100, 250 Kapazitiv +++oo +++oo
P-732.ZC P-732.ZC Hochdynamischer Scan-Hubtisch Piezostage 15 Kapazitiv ++++o +++oo
P-733 P-733 Piezo-Nanohubtisch; Apertur 50 x 50 mm, Vakuumversionen 100 x 100
(x 10)		 Kapazitiv +++oo +++oo
P-720 P-737 PIFOC® Piezohubtisch für hochaufgelöste Probenpositionierung in der Mikroskopie bis 250 µm DMS ++ooo +++oo
P-720 P-736 Schneller Piezo-Z Scantisch für Objektträger. 5 ms Ansprechzeit, geregelt mit piezoresistiven Sensoren. 100, 200 piezoresistiven +++++ +++oo
P-541.Z P-541.Z Flacher Piezohubtisch; Apertur 80 x 80 mm 100. 1 mrad Kapazitiv / DMS ++ooo +++oo
P-518 - P-558 P-518 -
P-528 -
P-558		 Nanohubtisch/Kipptisch; Apertur; 66 x 66 mm bis 200 in Z,
4 mrad		 Kapazitiv +++oo ++++o
N-510 N-510 Hub- und Kipp-Plattform mit NEXLINE® Antrieben bis 1.3 mm / 10 mrad Linear Encoder +++oo
P-915kvpz P-915KVPZ Vakuumkompatibler Piezo Z-Tisch 45 Kapazitiv ++++o ++++o
N-515k-Hexapod N-515KNPH NEXLINE® Piezo Hexapod; nicht-magnetisch, sechs Bewegungsachsen bis 10 mm /6º Linear Encoder ++ooo +++oo
N-510KHFS N-510KHFS Hochsteifer NEXLINE® Z-Versteller; zusätzliche Piezofeineinstellung 400 plus Kapazitiv
40 µm		 ++ooo ++++o
P-915kklpz P-915KLPZ Flacher Piezo Objektivscanner 75 - ++++o +++oo
P-720 P-720 PIFOC® Objektiv Nanofokussiersystem; sehr kompakt, für kleine Objektive 100 - ++ooo ++ooo
P-721 P-721.CDQ
P-721.SL2		 PIFOC® Objektiv Nanofokussiersystem; sehr schnell und prazise, QuickLock Objektivmontage, Direktmetrologie 100 Kapazitiv / DMS +++oo ++++o
P-725 P-725 Objektiv Nanofokussiersystem; kompakt, leicht, grose Stellwege, QuickLock Objektivmontage, Direktmetrologie 100, 250, 400 Kapazitiv ++ooo +++oo
N-725 N-725 PIFOC® Hochlast Objektiv-Scanner 1 mm Stellweg und Nanometer-Präzision durch PiezoWalk® Antrieb 1 mm (1000 µm) Linearenkoder ++++o +++oo
P-725.XDD P-725.XDD PIFOC® Objektiv Nanofokussiersystem; hochdynamisch, Direktmetrologie 20 Kapazitiv / DMS +++++ +++++
P-726 P-726 PIFOC® Hochlast-Nanofokussiersystem für große Objektive 100 Kapazitiv +++++ +++++
P-721KPTZ P-721.KTPZ PIFOC® Nanopositionierer für Objektivrevolver; hohe Steifigkeit, Direktmetrologie 80 Kapazitiv +++oo ++++o
P-721KTPZ P-721.KPTZ PIFOC® Nanopositionierer für schwere Objektivrevolver; Direktmetrologie 150 Kapazitiv ++++o ++++o

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