Modellübersicht:
Parallelkinematische Piezo Nanopositioniersysteme und schnelle Scantische
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Einführung: Parallel-Kinematik / Metrologie
Für die höchsten Anforderungen im Bezug auf Dynamik und Genauigkeit (Ebenheit, Orthogonalität, Führungseigenschaften) und für Situationen, wo ein beliebiges Rotationszentrum vorgegeben werden muss, bieten parallelkinematische Positioniersysteme klare Vorteile.
Weitere Informationen über den Unterschied von serieller und paralleler Kinematik.

Mehrachsen-Tische mit Parallelkinematik und Parallel Metrologie
Modelle* Beschreibung Achsen Sensor Stellweg [µm]
P-313 P-313 PicoCube® XYZ Präszisionsscanner für Bio-/ Nanomanipulation XY, XYZ - 1 x 1 x 0,8
P-714 P-714 Kompakter XY-Scanner; preisgünstig, schnell XY SGS 15
P-363 P-363 PicoCube® XY und XYZ Präzisionssystem für AFM, SPM, Nanomanipulation; 50 Picometer Auflösung, Parallelmetrologie XY, XYZ kapazitiv 5 / Achsen
P-541 - P-542 P-541
P-542		 Flacher XY Piezo Scantisch; Apertur 80 x 80 mm, Parallelkinematik XY kapazitiv bis 200 in XY
P-733 P-733 XY(Z) Piezo Scantisch; Apertur 50 x 50 mm, Vakuumversionen, Parallelkinematik XY(Z) kapazitiv 100 x 100
(x 10)
P-733.2DD / P-733.3DD P-733.2DD /
P-733.3DD		 Sehr schneller Piezo Scantisch; XY und XYZ Versionen, Parallelkinematik, ideal für Scanning Mikroskopie XY, XYZ kapazitiv 30 x 30 (x10)
P-734 P-734 XY Nanoscantisch; höchste Ablaufgenauigkeit (1 – 2 nm), Parallelkinematik, Apertur 56 x 56 mm. XY kapazitiv 100 x 100
P-915KLVS P-915K Grosser (340 x 340 x 60 mm) XYZ Scanner, Vakuum kompatibel, 200 x 200 mm Apertur. XYZ kapazitiv 100 x 100 x 100
P-517 - P-527 P-517 -
P-527		 PIMars™ XYZ piezostage, Piezotisch; Apertur 66 x 66 mm, Parallelkinematik, 6-Achstisch auf Anfrage XY, XYZ,
XYθz		 kapazitiv bis 200 in XY,
10 in Z,
bis 2 mrad
P-561.3DD P-561.3DD PIMars™ XYZ Scantische, mit schnellem Direktantrieb, hervorragende Führungseigenschaften,66 x 66 mm Apertur XY, XYZ kapazitiv 45 XY, 11 Z
P-561 - P-563 P-561 -
P-563		 PIMars™ XYZ piezostage, Piezotisch; Apertur 66 x 66 mm, Parallelkinematik, 6-Achstisch auf Anfrage XY, XYZ kapazitiv bis
300 x 300 x 300
P-615 P-615 NanoCube® XYZ Piezo Faserpositioniersystem; offene Apertur, Parallelkinematik XYZ kapazitiv bis 350 / Achsen
P-518 - P-558 P-518 -
P-558		 Hub- und Kipptische mit Apertur Z, θxθy kapazitiv bis 200 in Z,
4 mrad
P-587 P-587 6-Achsen Nanopositioniertisch XYZ, θxθyθz kapazitiv bis 800 /
10 mrad

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