Modellübersicht: Mehrachsige Piezotische
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Nanometerpräzise, Stellbereiche von 15 µm bis 1.800 µm, seriell & parallel
Alle Versionen sind für besondere Zuverlässigkeit mit PICMA® Piezoaktoren und Präzisions-Festkörperführungen ausgestattet. Modelle mit kapazitiven Positionssensoren bieten beste Leistungsdaten, alternativ sind auch Modelle mit Dehnmessstreifen oder ohne Positionsrückmeldung verfügbar. Versteller mit Parallelkinematik/ Parallelmetrologie bieten die höchste Präzision und Dynamik.


Modelle* Beschreibung Stellweg [µm] Sensor Dynamiks* Präzision**
P-611.1 P-611.1,
P-611.2		 Kompakter, preisgünstiger X, Z, XY oder XYZ Nanopositioniertisch 100 SGS ++ooo ++ooo
P-620.2 - P-628.2 P-620.2 -
P-629.2		 PIHera® XY Piezo Nanopositionierer; sehr kompakt und präzise (Direktmetrologie), große Stellwege
 50, 100, 250, 500, 1000, 1800 kapazitiv +++oo +++oo
P-714 P-713-
P-714		 Kompakter XY-Scanner; preisgünstig, schnell 15 x 15 SGS +++++ ++ooo
P-612.2 P-612.2 Kompakter, preisgunstiger XY Tisch; Stellweg 100 x 100 µm, offene Apertur 100 x 100 SGS ++ooo ++ooo
P-541 - P-542 P-541
P-542		 Flacher XY Piezo Scantisch; Apertur 80 x 80 mm, Parallelkinematik bis 200 in XY kapazitiv / SGS ++ooo +++oo
P-733.2DD, P-733.3DD P-733.2DD,
P-733.3DD		 Sehr schneller Piezo Scantisch; XY und XYZ Versionen, Parallelkinematik, ideal für Scanning Mikroskopie 30 x 30 (x10) kapazitiv +++++ +++++
P-733 P-733 XY(Z) Piezo Scantisch; Apertur 50 x 50 mm, Vakuumversionen, Parallelkinematik 100 x 100
(x 10)		 kapazitiv +++oo ++++o
P-734 P-734 XY Nanoscantisch; höchste Ablaufgenauigkeit (1 – 2 nm), Parallelkinematik, Apertur 56 x 56 mm 100 x 100 kapazitiv +++oo +++++
P-363 P-363 PicoCube® XY und XYZ Präzisionssystem für AFM, SPM, Nanomanipulation; 50 Picometer Auflösung, Parallelmetrologie 5 / Achsen kapazitiv +++++ +++++
P-313 P-313 PicoCube® XYZ Präszisionsscanner für Bio-/ Nanomanipulation 1 x 1 x 0,8 - +++oo +++oo
P-611.3 P-611.3 NanoCube® XYZ Piezo Faserpositioniersystem; offene Apertur, Parallelkinematik bis 120 x 120 x 120 µm SGS +++oo +++oo
P-615 P-615 NanoCube® XYZ Piezo Faserpositioniersystem; offene Apertur, Parallelkinematik bis 350 / Achsen kapazitiv +++oo +++oo
P-517, P-527 P-517,
P-527		 Mehrachs-Piezotisch; Apertur 66 x 66 mm, Parallelkinematik, 6-Achstisch auf Anfrage bis 200 in XY,
20 in Z,
bis 4 mrad		 kapazitiv +++oo ++++o
P-561 - P-563 P-561 -
P-563		 PIMars™ XYZ piezostage, Piezotisch; Apertur 66 x 66 mm, Parallelkinematik, 6-Achstisch auf Anfrage
 bis 300 x 300 x 300 kapazitiv +++oo ++++o
P-587 P-587 6-Achsen Nanopositioniertisch; , XYZ, θxθyθz bis 800 / 10 mrad kapazitiv +++oo +++++
N-515KK N-515 Non-Magnetic Piezo Hexapod 6-Axis Precision Positioning System with NEXLINE® Linear Drives 10 mm Linear, 6° Rotation Linear Encoder ++ooo +++oo
P-915KPPS P-915KPPS XY-Theta-Z Piezotisch; hohe Steifigkeit 250 x 250; +/- 8 mrad SGS ++++o +++oo
P-628KHFS P-628KHFS XY Piezotisch; großer Stellweg, Ablaufgenauigkeit im Nanometerbereich 800 x 800 kapazitiv ++ooo ++++o
P-915KXYS.gif P-915KXYS Schneller XY OEM Scanner; preisgünstig 4 x 4 - ++++o +++oo
P-915KLVS P-915KLVS Vakuumkompatibler XYZ Piezotisch; große Apertur 100 x 100 x 100 kapazitiv +++oo ++++o

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