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PI bietet weltweit die größte Auswahl hochauflösender Piezoaktoren, -motoren und -antriebe für industrielle und wissenschaftliche Anwendungen an.
Die folgenden Seiten zeigen einige Beispiele der Sonderentwicklungen, die PI in den letzten Jahren durchgeführt hat. Die abgebildeten Systeme wurden meist für kundenspezifische Applikationen hergestellt und sind nicht unbedingt im Standardprogramm enthalten; viele Sonderentwicklungen können auf Grund von Geheimhaltungsvereinbarungen nicht gezeigt werden. |
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| Mehrachsensysteme für Optik, Metrologie, Mikroskopie und Halbleitertechnik |
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X,Y: 100 µm, Super-Invar, Kapazitiv-
sensoren. Aktive 6-D-Führung Sub-nm
Geradheit / Ebenheit.
Applikation: Metrologie |
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X, Y: 800 µm, Z: 200 µm Kapazitiv-
sensoren, Aktive Führung 6-Achsen Digi-
talcontroller. Applikation: Metrologie |
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X,Y: 50 µm
Invar, 700 Hz Resonanzfrequenz,
Verkippung < 5 Bogensekunden |
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XY: 100 µm; Z: 5 µm, Edelstahl, Abm.: 150 x 150 x 37 mm, Differentielle Sensoren.
Applikation: Nanostrukturierung |
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X, Y: 100 µm Aktive Führung Sub-nm / Sub-µrad Geradheit und Ebenheit, 8 Aktoren, 7 Sensoren.
Applikationen: AFM, STM etc. |
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Optik-Nanopositionierer, Z: 50 µm, Durchm.: 129 x 115 mm; Durchg.: 75 mm, 3 Kapazitivsensoren
Geradheit < 25 nrad |
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X, Y: 100 µm
Durchgang: 75 x 75 mm
Höhe: 20 mm, Kapazitivsensoren.
Applikation: Optische Inspektion |
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X,Y: 100 µm
Kapazitivsensoren,
1 nm Ablaufebenheit.
Applikation: Metrologie |
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X, Y: 100 µm
Freier Durchgang: 50 x 50 mm
Kapazitivsensoren.
Applikation: Mikroskopie |
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XY, 100 x 100 µm, uZ ±1 mrad,
Kapazitivsensoren. |
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X, Y: 100 µm, Kapazitivsensoren,
Höhe: 16 mm. Für Mikroskopie |
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XY-θx, 200 x 200 µm,
± 2 mrad, Kapazitivsensoren. |
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| Systeme für Präzisionsbearbeitung |
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Werkzeug z. konzentrischen Drehen von LWL-Steckern, XY: 60 x 60 µm, Wirbel-
stromsensoren. |
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Feineinsteller: X: 60 µm, LVDT-Sensor. Applikation: Verschleißkompensation |
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Aktives Werkzeug: 400 µm. Applikation: Unrunddrehen von Metall. |
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| Mehrachsensysteme für Vakuumanwendungen |
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Verschiedene piezoelektrische Kipptische, 1 bis 3 mrad, Titan, UHV-kompatibel;
Applikation: Röntgen-Monochromator |
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X: 25, 45, 65 µm
Edelstahl, UHV-kompatibel |
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X,Y: 15 µm, Abm.: 120 x 120 x 30 mm; sehr steif, sehr gute Geradführung, vakuumkompatibel. Applikation: Lithographie |
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X,Y: 100 µm Edelstahl, UHV-kompatibel Kapazitivsensoren
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X,Y: 100 x 100 µm Vakuumkompatibel
Durchgang: 50 x 50 mm Kapazitivsensoren |
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X,Y: 100 µm, uZ : ± 50 µrad, Durchgang: 120 x 120 mm; LVDT-Sensor, vakuumkompatibel. Applikation: Mikrosystemtechnik |
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X,Y: 100 µm, nicht magnetisch. UHV-kompatibel bis 10-9 hPa. Kapazitivsensoren |
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X,Y: 100 x 100 µm, 1 mrad Durchgang: 140 x 160 mm LVDT-Sensor; Röntgen-Lithographie |
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XY-Hybrid-System, 100 µm fein m. Kapaztivsensoren; 25 mm grob. Vakuumkompatibel |
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| Systeme für Nanofokussierung und Mikroskopie |
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Nanopositionierer für Mikroskopre-volver, Z: 150 µm, sehr steif, Durchgang: 50 mm, Kapazitivsensor |
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Nanofokussier- / Scansystem, Z: 90 und 100 µm Kapazitiv- und LVDT-Sensoren |
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Nanofokussier- / Scansystem, Z: 100 µm, LVDT-Sensor. Applikation: Optisches Scanning |
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Nanofokussier- / Scansystem, Z: 350 µm, Abm.: 60 x 60 x 50 mm LVDT-Sensor |
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| Systeme für Massenspeichertest |
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X: 10 µm, Kapazitivsensor, Titan, Applikation: Schreib-/Lesekopftest |
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X: 10 µm, Kapazitivsensor, Titan, Applikation: Schreib-/Lesekopftest |
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X: 6 µm, DMS-Sensor, Applikation: Schreib-/Lesekopftest |
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X: 15 µm, Kapazitivsensor; sehr steif, minimale bewegte Masse |
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| Systeme mit großer Apertur |
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X: 100 µm Durchgang: 85 mm Geregelt, LVDT-Sensor |
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Z θx θy Tisch, Z: 200 µm, Kippung: 2 mrad, Durchgang: 100 mm Höhe 20 mm |
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Z: 30 µm Durchgang: 200 x 200 mm Geregelt, für Optische Inspektion |
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X, Y: 100 µm Durchgang: 100 x 100 mm LVDT-Sensoren |
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XY: 150 µm
Durchgang: 200 x 200 mm, Höhe 28 mm, Geregelt, für Maskenpositionierung |
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X, Y: 100 µm
Durchgang: 40 mm, Höhe: 30 mm LVDT- und Kapazitivsensoren |
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| Systeme für die Interferometrie |
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X: 2 µm / 500 V, Edelstahl Abm: 70 x 160 x 20 mm. Sehr steif und präzise. Für Röntgen-Interferometrie |
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X: 5 µm / 1000 V, Edelstahl Abm.: 70 x 70 x 20 mm. Sehr steif und präzise. Für Phasenschieber-Interferometrie |
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X: 15 µm, Al- und Invar-Versionen Abm.: 70 x 70 x 20 mm. Für Phasenschieber-Interferometrie |
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X:15 µm, Edelstahl, hohe Belastbarkeit, 115 x 115 x 25 mm. sehr gute Geradführung Kapazitivsensor |
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| Kompakte Mehrachsensysteme für Optik, Faseroptik, Mikroskopie |
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X,Y: 15 x 15 µm (30 x 30 µm) Edelstahl Applikation: AFM |
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X,Y: 15 x 15 µm, Edelstahl 40 x 40 x 40 mm, DMS-Sensoren Applikation: Optik-Bearbeitung |
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XYZ: 100 µm, DMS-Sensoren Abm.: 44 x 44 x 44 mm Applikation: Faserjustierung |
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XYZ: bis 100 µm, Applikation: Faserjustierung, Life Science |
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X, XY, XYZ-Kombinationen: ±150 µm Applikation: Faserjustierung |
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X, Y: 100 µm; Z: 15 µm Abmessungen: 100 x 100 x 40 mm Kapazitivsensoren |
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X, Y: 100 µm; Z: 15 µm Abmessungen: 100 x 100x 65 mm; Kapazitivsensoren |
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XYZ θx θy: 100 µm, 5 mrad Abm.: 80 x 80 x 55 mm, LVDT-Sensor, Durchgang 20 x 20 mm |
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| (Hybrid)-Systeme mit großem Hub |
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Hybridpiezoantrieb. < 1 nm Auflösung, Stellbereich bis 100 mm, bis 500 N Haltekraft, unmagnetisch |
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Z: 300 µm LVDT-Sensor
Applikation: Wafer-Positionierung |
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X: ±200 µm
Applikation: Mikromontage |
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Z: 700 µm, Stahl / Titan
Applikation: Wafer-Positionierung |
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Z: 1000 µm, Stahl / Titan
Applikation: Wafer-Positionierung |
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X: 2 mm , resonanter Bertrieb bei 30 Hz, Voice-Coil-Antrieb |
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Hybridsystem. Fein: 1 nm Auflösung, 100 x 100 x 100 µm; grob: 15 x 15 x 15 mm, 50 nm Auflösung |
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Mikroskopietisch. Fein: 100 x 100 µm, < 1 nm Auflösung; grob: 25 x 25 mm, sehr flach, Piezolinearmotor |
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| Verschiedene Ein- und Zweiachsensysteme |
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X: 75 µm, Abm.: 115 x 115 x 25 mm Aluminium, sehr steif, sehr gute Geradführung |
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X: 100 µm, Abm.: 80 x 80 x 15 mm Durchgang 20 x 20 mm LVDT-Sensor |
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X: 100 µm, Abm.: 80 x 80 x 20 mm Durchgang 20 x 20 mm Kapazitivsensoren |
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X: 200 µm, Durchgang 40 x 40 mm, LVDT-Sensor |
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XZ: 7 µm, Abmessungen: 25 x 30 x 15 mm |
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Z: 7 µm, Edelstahl, DMS-Sensor Abmessungen: 10 x 15 x 20 mm |
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X: 5 µm Edelstahl |
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X: 50 µm Abmessungen: 20 x 12 x 30 mm |
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X: 12 bis 38 µm, Edelstahl, 16 x 30 x 44 mm, Kapazitivsensor Schnelles Einschwingverhalten |
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X: 30, 50, 100 µm Applikation: Faserjustierung, Life Science |
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X: 80 µm, Edelstahl Abmessungen: 40 x 50 x 12,5 mm LVDT-Sensor |
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Z: 12 µm, Durchgang 25 mm, Kapazitivsensor |
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