Modellübersicht: Sensoren für die Nanometrologie
Kapazitive Positionssensoren mit einer und zwei Elektroden

Für Anwendungen mit höchsten Anforderungen an die Genauigkeit bietet PI kapazitive Positionssensoren im Ein- und Zweielektroden-Design an. Die Sensorköpfe sowie die passende Signalauswerteelektronik mit der PI-eigenen ILS (integriertes Linearisierungssystem) Schaltung sind auf höchste Linearität und Auflösung ausgerichtet und kommen seit Jahren auch in den eigenen Nanopositioniersystemen zum Einsatz.
Kapazitive Sensoren
  Modelle Beschreibung Messbereich
[µm]		 Erweiterter
Messbereich [µm]		 Material
D-510.02 D-510.02 PISeca™ Kapazititve Einelektroden-Sensoren für sub-nanometergenaue Messungen 20 bis 100 Stahl
D-510.050 D-510.050 PISeca™ Kapazititve Einelektroden-Sensoren für sub-nanometergenaue Messungen 50 bis 250 Stahl
D-510.100 D-510.100 PISeca™ Kapazititve Einelektroden-Sensoren für sub-nanometergenaue Messungen 100 bis 500 Stahl
D-015 D-015 Zweielektrodensensoren 10 45 Aluminum
D-050 D-050 Zweielektrodensensoren 15 150 Aluminum
D-100 D-100 Zweielektrodensensoren 150 300 Aluminum
Signalaufbereitung Electronik / Controller
  Modelle* Beschreibung Linearität Auflösung Max.
Bandbreite
[kHz]		 Kanal
E-852 E-852 Für kapazitive Einelektroden-Sensoren PISeca™ <0.1 % <0.002 6.6 1
E-509.E03 E-509.E03 3-Kanal Elektronikmodul für kapazitive Sensoren <0.1 % <0.002 10 3
E-509.E3 E-509.E3 3-Kanal Sensormodul mit zusätzlichem Servocontroller für Piezosysteme <0.1 % <0.002 10 3
E-509.CxA E-509.CxA Regelelektronik, kompatibel zum E-500 Piezo-Controllersystem <0.5 % <0.005 3 1 bis 3