Eigenschaften von PI-Sensoren
- Höchste Auflösung (0,01 Nanometer) aller kommerziell verfügbaren Positionssensoren
- Messbereich bis 1 mm
- Ideal für Parallelmetrologie-Anwendungen
- Linearität bis 0,01%
- Sehr gute Langzeitstabilität (< 0,1 nm / 3h)
- Vakuum kompatibel
- Bandbreite bis 10 kHz
- Invar-Versionen für höchste Temperaturstabilität (5 x 10-6 / K)
- Mehrkanal-Digitalelektronik verfügbar
- Kompatibel mit PI-Servocontrollern für Nanopositioniersysteme
- Zweielektroden- und Einelektroden-Sensoren
- Kundenspezifische Ausführungen
Gründe die für PI sprechen
- Über 30 Jahre Erfahrung mit Nanomechaniken
- Eigene Entwicklung und Fertigung von Sensoren und Elektronik
- Moderne Ausrüstung für Test, Simulation und Produktion
- Spezielle Nanometrologie-Labors mit sechsfacher Isolation für aussagekräftige Messungen im Sub-Nanometer-Bereich
- Eigene Contollerentwicklung
- PI beschäftigt die erfahrensten Entwicklungs- und Fertigungsteams für Nanopositioniersysteme
- ISO-9001 zertifiziert seit 1994
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Kapazitive Positionssensoren in einem ultra-präzisen
6D-Nanopositioniersystem für Rastermikroskopie.
Entwickelt für die PTB.
Arbeitsprinzip eines kapazitiven Zweiplattensensors.
Qualitätskontrolle und Langzeittest von kapazitiven Sensoren bei PI.
Kundenspezifische 7-Kanal-Auswerteelektronik für kapazitive Sensoren.
Prinzip eines STM (Scanning, Tunneling Mikroskop) mit
integrierten kapazitiven Positionssensoren.
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