Modellübersicht: (Z-) Hub- & Mehrachsentische
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Alle Varianten erreichen eine Auflösung im Sub-Mikrometerbereich. Die (Z-) Hubtische können mit Linearverstellern zu mehrachsigen Positioniersystemen kombiniert werden. Einige Modelle können mit passenden Piezoantrieben ergänztwerden und bieten dann Nanometergenauigkeit.

Linear Aktuatoren Translationstische 2 bis 6-Achsen Tische Rotationstische 6-Achsen Hexapoden Miniatur Lineartische
Modulare und kombinierte Systeme
Modelle Beschreibung Kleinste Schrittweite Belastbarkeit
[kg]		 Stellweg
[mm]
M-686 M-686 Flacher XY Kreuztisch mit Piezolinearmotor, Linearencoder mit 0,1 µm Auflosung, sehr schnell mit eineP-541 piezo tisch. Extrem stabiles system, (siehe Veröffentlichung) 0,1 µm 5 25 x 25
M-545 M-545 M-545 PI nano™ XY Mikroskopie Kreuztisch Probenbewegung über große Stellwege. Option P-545 Piezo-Nanopositioniertisch. 0,1 µm 5 25 x 25
M-900kops M-900.KOPS XY Scan-Positioniertisch , Linearencoder, für hohe Lasten 0,1 µm 66 50 x 50
M-880.PD M-880.PD Hochlast- 3-Achsen-Positioniertisch, XYθz Tripod-Design, für LCD- und Halbleiterinspektion 0,1 µm 20 dynamisch /
150 statisch		 20 x 20 / 8°
M-833 M-833 3-Achsen Versteller: X, Z, und goniometer (θy), Tripod Design 0,1 µm 4 50 mm (X, Z)
60°(θy)
M-663 stack M-663 Kleinster Versteller mit Linearmotor und Linearencoder, Geschwindigkeit bis 400 mm/s, 0,1 µm Auflosung, XY-Kombinationen moglich 0,1 µm 0,5 19 x 19
M-116 and M-111 Combination M-116,
M-111		 M-116 und M-111 Mikrostelltische kombiniert 0,1 µm 1,5 25 x 25 x 360 °
F-130, F-131 F-130,
F-131		 Kompaktes Faserjustiersystem mit Grob- und Feinpositionierung in XYZ, kombinierte Motor- und Piezoantriebe 1 nm / 50 nm 1 bis 15 x 15 x 15
M-105, M-009, F-010 M-105 Manueller Positioniertisch, optional mit Motor- oder Piezoantrieb - 2 18 x 18 x 18
M-041 - M-044 M-041 -
M-044		 Kipp-Positioniertisch mit ein und zwei Kippachsen, hochauflösend, optionaler Piezofeinantrieb bis 0,5 µrad 4, 5 ±9° x ±9°
M-605.2DD M-605.2DD Kompakt, hochgenau, Faltenbalg zum Schutz der Mechanik 0,1 µm 30 bis to 50 x 50 x 50
M-521.DD, M-511.DD, M-501.1PD M-521.DD,
M-511.DD,
M-501.PD		 Antrieb über Kugelumlaufspindel, hohe Belastbarkeit, lange Lebensdauer, optional mit Linearencoder, Motorvarianten 0,1 µm 10 bis to 300 x 300 x 12,5
P-562 and M-451 M-451,
P-562		 XYZ Nanopositionier- und Scansystem, P-562, montiert auf M-451.1PD Hubtisch 0,1 µm 12 Bis 0,3 x 0,3 x 12,5
N-510 N-510 Z-Kipp-Nanopositionierplattform, Tripod-Design 5 nm 20 1,3 / 10 mrad
N-515KK 6-Achsen Hexapod Positioniertische hier klicken
(Z-) Hubtische
Modelle Bescreibung Kleinste Schrittweite Belastbarkeit
[kg]		 stellweg
[mm]
M-451 M-451 Präzisions-Z-Tisch mit Keilantrieb, hohe Steifigkeit, DC Servo- oder Schrittmotor 0,1 µm 12 12,5
M-501 M-501 Präzisions-Z-Tisch, Antrieb über Kugelumlaufspindel, hochauflösend, schnell, DC Servo- oder Schrittmotor <0,1 µm 10 12,5
M-714 M-714 Hybrider Präzisions-Positioniertisch für Z-Anwendungen. Antrieb mit DC-Servomotor und integriertem Piezo. Hohe Geschwindigkeitskonstanz und kleinste Schritte, Linearencoder 2 nm, selbsthemmend 2nm 10 7
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